一种晶体生长炉观察窗的挡板装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，包括：波纹管，连杆机构和挡板；波纹管的一端穿入晶体生长炉的炉壁，波纹管的外壁与晶体生长炉的炉壁密封固定；连杆机构包括驱动杆和传动机构，传动机构与挡板连接；驱动杆插入波纹管，驱动杆的一端与位于晶体生长炉外的波纹管一端密封固定连接，驱动杆的另一端伸出位于晶体生长炉内的波纹管另一端，并与位于晶体生长炉内的传动机构连接。该挡板装置中，波纹管的设置使晶体生长炉外部的动能传到内部的传动机构，波纹管与炉壁的密封部位不会发生相对移动，波纹管与晶体生长炉具有较好的密封效果；并且波纹管具有较好的耐腐蚀、耐高温、耐磨损等特性，使用寿命比较长，增加了挡板装置的可靠性。装置的可靠性。装置的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉观察窗的挡板装置


[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其是一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，其中，观察窗用于观察晶体的生长过程。

技术介绍

[0002]由于晶体生长周期比较长（约2周），在晶体生长过程中，随着生长时间的增加，晶体生长炉内的挥发物就会在观察窗处越聚越多，挥发物的增多会使观察通过观察窗观察到的晶体模糊不清，影响工艺人员对晶体直径的判断，从而影响晶体的质量。
[0003]现有技术中一般在晶体生长炉内设计一个观察孔挡板，来阻挡挥发物挥发到观察窗上。现有的观察窗挡板装置采用的是圆杆a加密封圈b的密封方式，如图1所示，在晶体生长的过程中，挡板c遮挡观察窗f，当需要观察晶体时，通过调节手柄h带动圆杆a将挡板c移开观察窗f。挡板c的这种运动方式具有如下缺点：第一，挡板c运动时，圆杆a与密封圈b有相对运动，平均约40分钟移动一次挡板c，又由于晶体生长过程中禁止油污进入炉体d，因此，圆杆a和密封圈b之间不能涂覆润滑油，这就导致了圆杆a与密封圈b直接磨擦，密封圈b极易损坏而引起炉体d漏气，导致空气进入到炉体d内，由于晶体生长需要在抽真空的炉体d内充入高纯氮气，晶体在高纯氮气的环境下生长，而空气进入炉体d内会使得晶体生长的质量下降；第二，由于晶体生长炉的炉体d内中心温度长期在1600℃左右，热量会随着圆杆a传到密封圈b上，加速密封圈b的老化损坏，增加了炉体d泄漏的风险。综上，现有技术中的挡板机构导致晶体生长炉的可靠性较差，每两到三个月就需要维护一次，维护成本较高。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，以解决现有炉体容易漏气的问题，增加晶体生长炉的可靠性，保证晶体生长质量。
[0005]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0006]一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，包括：波纹管，连杆机构和挡板；
[0007]所述波纹管的一端穿入晶体生长炉的炉壁，所述波纹管的外壁与所述晶体生长炉的炉壁密封固定；
[0008]所述连杆机构包括驱动杆和传动机构，所述传动机构与所述挡板连接；所述驱动杆插入所述波纹管，所述驱动杆的一端与位于所述晶体生长炉外的所述波纹管一端密封固定连接，所述驱动杆的另一端伸出位于所述晶体生长炉内的所述波纹管另一端，并与位于所述晶体生长炉内的传动机构连接。
[0009]进一步，所述连杆机构还包括密封安装在所述波纹管另一端的固定结构，所述固定结构上开设与所述驱动杆配合的杆孔。
[0010]进一步，所述传动机构包括传动轴和轴承，所述传动轴的一端固定到所述晶体生长炉的炉壁上，所述轴承安装到所述传动轴上；
[0011]所述轴承的一侧固定连杆，所述连杆与所述驱动杆活动连接，所述轴承的另一侧与所述挡板连接。
[0012]进一步，所述传动轴的另一端设置用于保护所述轴承的隔热板。
[0013]进一步，所述挡板装置还包括：控制器，汽缸，连接所述控制器和所述汽缸的气管；所述汽缸的活塞杆沿所述驱动杆的轴线连接到所述驱动杆的一端，所述控制器用于控制气路的接通和关闭。
[0014]进一步，所述气管包括与所述汽缸的无杆腔连通的第一气管和与所述汽缸的杆腔连通的第二气管。
[0015]进一步，所述第二气管上设置阀体开关。
[0016]进一步，所述控制器为气动电磁阀控制器。
[0017]进一步，所述挡板装置还包括PLC控制系统，所述PLC控制系统用于控制所述气动电磁阀控制器的开启和关闭。
[0018]进一步，所述挡板装置还包括支架，所述支架用于支撑所述波纹管，从所述波纹管从其另一端向一端倾斜向下设置。
[0019]本技术晶体生长炉观察窗的挡板装置，通过移动驱动杆的一端，使处于晶体生长炉外部的波纹管压缩和伸展，实现对连杆机构的传动机构驱动，从而实现移开和复位观察窗处挡板的目的。波纹管的设置使晶体生长炉外部的动能传到内部的传动机构，波纹管与晶体生长炉炉壁的密封部位不会发生相对移动，波纹管与晶体生长炉具有较好的密封效果；并且波纹管本身具有较好的耐腐蚀、耐高温、耐磨损等特性，使用寿命比较长（可压缩3万次左右），这样就增加了挡板装置的可靠性。
附图说明
[0020]图1为
技术介绍
中晶体生长炉观察窗的挡板装置结构示意图；
[0021]图2为本技术晶体生长炉观察窗的挡板装置结构示意图；
[0022]图中：
[0023]11—驱动杆；12—轴承；13—第一固定球；14—第二固定球；15—传动轴；16—隔热板；17—活动关节；20—波纹管；30—挡板；40—气动电磁阀控制器；50—气管；51—第一气管；52—第二气管；521—阀体开关；60—汽缸；61—无杆腔；62—杆腔；63—活塞杆；70—PLC控制系统；80—支架；90—观察窗；100—晶体生长炉。
具体实施方式
[0024]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的方案，下面结合本技术示例中的附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的示例仅仅是本技术的一部分示例，而不是全部的示例。基于本技术中的示例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下，所获得的所有其他实施方式都应当属于本技术保护的范围。
[0025]在本实施方式的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系均为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能
理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于区别类似的对象，而不能理解为特定的顺序或先后次序，应该理解这样的使用在适当情况下可以互换。
[0026]如图2所示的示例，提供本技术一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，包括：波纹管20，连杆机构和挡板30；
[0027]波纹管20的一端穿入晶体生长炉100的炉壁，波纹管20的外壁与晶体生长炉100的炉壁密封固定；
[0028]连杆机构包括驱动杆11和传动机构，传动机构与挡板30连接；驱动杆11插入波纹管20，驱动杆11的一端与位于晶体生长炉100外的波纹管20一端密封固定连接，驱动杆11的另一端伸出位于晶体生长炉100内的波纹管20另一端，并与位于晶体生长炉100内的传动机构连接。
[0029]本示例晶体生长炉观察窗的挡板装置，通过移动驱动杆11的一端，使处于晶体生长炉100外部的波纹管20压缩和伸展，实现对连杆机构的传动机构驱动，从而实现移开和复位观察窗处挡板30的目的。波纹管20的设置使晶体生长炉100外部的动能传到内部的传动机构，波纹管20与晶体生长炉100炉壁的密封部位不会发生相对移动，波纹管20与晶体生长炉100具有较好的密封效果；并且波纹管20本身具有较好的耐腐蚀、耐高温、耐磨损等特性，使用寿命比较长（可压缩3万次左右），这样就增加了挡板装置的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，其特征在于，包括：波纹管，连杆机构和挡板；所述波纹管的一端穿入晶体生长炉的炉壁，所述波纹管的外壁与所述晶体生长炉的炉壁密封固定；所述连杆机构包括驱动杆和传动机构，所述传动机构与所述挡板连接；所述驱动杆插入所述波纹管，所述驱动杆的一端与位于所述晶体生长炉外的所述波纹管一端密封固定连接，所述驱动杆的另一端伸出位于所述晶体生长炉内的所述波纹管另一端，并与位于所述晶体生长炉内的传动机构连接。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉观察窗的挡板装置，其特征在于，所述连杆机构还包括密封安装在所述波纹管另一端的固定结构，所述固定结构上开设与所述驱动杆配合的杆孔。3.根据权利要求2所述的晶体生长炉观察窗的挡板装置，其特征在于，所述传动机构包括传动轴和轴承，所述传动轴的一端固定到所述晶体生长炉的炉壁上，所述轴承安装到所述传动轴上；所述轴承的一侧固定连杆，所述连杆与所述驱动杆活动连接，所述轴承的另一侧与所述挡板连接。4.根据权利要求3所述的晶体生长炉观察窗的挡板装置，其特征在于，所述传动轴的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘景峰，
申请(专利权)人：北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：