一种晶体生长炉观察窗的挡板装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，包括：波纹管，连杆机构和挡板；波纹管的一端穿入晶体生长炉的炉壁，波纹管的外壁与晶体生长炉的炉壁密封固定；连杆机构包括驱动杆和传动机构，传动机构与挡板连接；驱动杆插入波纹管，驱动杆的一端与位于晶体生长炉外的波纹管一端密封固定连接，驱动杆的另一端伸出位于晶体生长炉内的波纹管另一端，并与位于晶体生长炉内的传动机构连接。该挡板装置中，波纹管的设置使晶体生长炉外部的动能传到内部的传动机构，波纹管与炉壁的密封部位不会发生相对移动，波纹管与晶体生长炉具有较好的密封效果；并且波纹管具有较好的耐腐蚀、耐高温、耐磨损等特性，使用寿命比较长，增加了挡板装置的可靠性。装置的可靠性。装置的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉观察窗的挡板装置


[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其是一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，其中，观察窗用于观察晶体的生长过程。

技术介绍

[0002]由于晶体生长周期比较长（约2周），在晶体生长过程中，随着生长时间的增加，晶体生长炉内的挥发物就会在观察窗处越聚越多，挥发物的增多会使观察通过观察窗观察到的晶体模糊不清，影响工艺人员对晶体直径的判断，从而影响晶体的质量。
[0003]现有技术中一般在晶体生长炉内设计一个观察孔挡板，来阻挡挥发物挥发到观察窗上。现有的观察窗挡板装置采用的是圆杆a加密封圈b的密封方式，如图1所示，在晶体生长的过程中，挡板c遮挡观察窗f，当需要观察晶体时，通过调节手柄h带动圆杆a将挡板c移开观察窗f。挡板c的这种运动方式具有如下缺点：第一，挡板c运动时，圆杆a与密封圈b有相对运动，平均约40分钟移动一次挡板c，又由于晶体生长过程中禁止油污进入炉体d，因此，圆杆a和密封圈b之间不能涂覆润滑油，这就导致了圆杆a与密封圈b直接磨擦，密封圈b极易损坏而引起炉体d漏气，导致空气进入到炉体d内，由于晶体生长本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉观察窗的挡板装置，其特征在于，包括：波纹管，连杆机构和挡板；所述波纹管的一端穿入晶体生长炉的炉壁，所述波纹管的外壁与所述晶体生长炉的炉壁密封固定；所述连杆机构包括驱动杆和传动机构，所述传动机构与所述挡板连接；所述驱动杆插入所述波纹管，所述驱动杆的一端与位于所述晶体生长炉外的所述波纹管一端密封固定连接，所述驱动杆的另一端伸出位于所述晶体生长炉内的所述波纹管另一端，并与位于所述晶体生长炉内的传动机构连接。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉观察窗的挡板装置，其特征在于，所述连杆机构还包括密封安装在所述波纹管另一端的固定结构，所述固定结构上开设与所述驱动杆配合的杆孔。3.根据权利要求2所述的晶体生长炉观察窗的挡板装置，其特征在于，所述传动机构包括传动轴和轴承，所述传动轴的一端固定到所述晶体生长炉的炉壁上，所述轴承安装到所述传动轴上；所述轴承的一侧固定连杆，所述连杆与所述驱动杆活动连接，所述轴承的另一侧与所述挡板连接。4.根据权利要求3所述的晶体生长炉观察窗的挡板装置，其特征在于，所述传动轴的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘景峰，
申请(专利权)人：北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：