【技术实现步骤摘要】
一种机械手臂垂直度调节型的治具
[0001]本技术涉及机械手臂调试
,具体为一种机械手臂垂直度调节型的治具。
技术介绍
[0002]机械手臂适用于半导体设备搬运晶圆上下货,需具备稳定、耐冲击性和承重能力强,使用周期长的特点,传统的调试或者常规的方法比较普遍,加之执行者经验与能力大小各不同,操作手法也略有不同,导致维修后机械手手臂因为盲调产生的不适,造成机械手臂使用周期缩短等不良状况的问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种机械手臂垂直度调节型的治具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种机械手臂垂直度调节型的治具,包括机械手臂本体和治具本体,机械手臂本体包括筒身、安装盘、惰轮、轴杆和皮带,筒身上连接有安装盘,安装盘上连接有多个惰轮,筒身一侧设置有轴杆,筒身和轴杆之间连接有皮带,筒身上连接有治具本体,治具本体上设置有多个凹槽,治具本体内侧设置有多个沟槽,筒身上设置有筋条,筋条与沟槽相匹配嵌套连接。
[0005]优选的,筒 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂垂直度调节型的治具,包括机械手臂本体(1)和治具本体(2),其特征在于:机械手臂本体(1)包括筒身(5)、安装盘(7)、惰轮(8)、轴杆(9)和皮带(10),筒身(5)上连接有安装盘(7),安装盘(7)上连接有多个惰轮(8),筒身(5)一侧设置有轴杆(9),筒身(5)和轴杆(9)之间连接有皮带(10),筒身(5)上连接有治具本体(2),治具本体(2)上设置有多个凹槽(3),治具本体(2)内侧设置有多个沟槽(4),筒身(5)上设置有筋条(6),筋条(6)与沟槽(4)相匹配嵌套连接。2.根据权利要求1所述的一种机械手臂垂直度调节型的治具,其特征在于:筒身(5)上连接有第...
【专利技术属性】
技术研发人员:王坡,
申请(专利权)人:亦亨电子上海有限公司,
类型:新型
国别省市:
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