一种机械臂和机器人制造技术

本实用新型专利技术提供一种机械臂和机器人，涉及集成电路技术领域，包括臂体和导向组件，在臂体上设置有用于承载晶圆的承载面，在承载面的周侧设置有导向组件，可以在承载面的周侧设置有导向组件，如此，可以在晶圆放置发生一定的偏差时，通过导向组件的引导作用，使得晶圆能够顺利的位于承载面，即通过导向组件的导向作用吸收放置晶圆时的偏差，使得晶圆在具有放置偏差的情况下依然能够准确位于承载面，有效提高机械臂在移送晶圆的过程中晶圆放置的稳定性和可靠性。此外，导向组件在引导晶圆位于承载面后，还可以对位于承载面的晶圆提供限位作用，从而形成引导晶圆进入承载面后，能够较好的保持其所处位置。的保持其所处位置。的保持其所处位置。

【技术实现步骤摘要】
一种机械臂和机器人


[0001]本技术涉及集成电路
，具体而言，涉及一种机械臂和机器人。

技术介绍

[0002]随着科技的快速发展，集成电路逐渐渗透各行各业，其在自动化、高效化和智能化方面起着不可或缺的角色。在集成电路领域中，通常需要机器人通过控制机械臂实现电子器件的加工和转移，因此，如何提高放置于机械臂上的电子器件的稳定性较为重要。
[0003]现有机械臂通常在放置有电子器件的面上设置有多个凸起，在多个凸起上放置电子器件，通过凸起和电子器件的接触形成止滑作用，但在实际制造中，往往由于电子器件在放置于机械臂上时存在一定的误差，故，导致电子器件位置偏移，在后续机械臂的转动过程中容易滑落。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种机械臂和机器人，以解决现有电子器件因放置误差使得位置偏移导致容易滑落的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术实施例采用的技术方案如下：
[0006]本技术实施例的一方面，提供一种机械臂，包括臂体和导向组件，在臂体上设置有用于承载晶圆的承载面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械臂，其特征在于，包括臂体和导向组件，在所述臂体上设置有用于承载晶圆的承载面，在所述承载面的周侧设置有导向组件，所述导向组件用于引导所述晶圆位于所述承载面。2.如权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述导向组件为转动组件，所述转动组件转动设置于所述臂体，以通过所述转动组件的转动引导所述晶圆位于所述承载面。3.如权利要求2所述的机械臂，其特征在于，在所述臂体上开设有容置槽，所述承载面位于所述容置槽的底壁；所述转动组件包括导向轮以及转轴，所述导向轮通过所述转轴与所述臂体转动连接。4.如权利要求3所述的机械臂，其特征在于，所述容置槽相对的两侧壁之间的间距沿槽底至槽口的方向逐渐增大，所述导向轮位于所述容置槽的侧壁。5.如权利要求2所述的机械臂，其特征在于，所述转动组件包括作用件、限位件和位于所述承载面周侧的转动轮；所述转动轮转动设置于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志平，黄德昇，杨志坚，亓文丽，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：新型
国别省市：