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本实用新型提供一种机械臂和机器人，涉及集成电路技术领域，包括臂体和导向组件，在臂体上设置有用于承载晶圆的承载面，在承载面的周侧设置有导向组件，可以在承载面的周侧设置有导向组件，如此，可以在晶圆放置发生一定的偏差时，通过导向组件的引导作用，使...
该专利属于泉芯集成电路制造(济南)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泉芯集成电路制造(济南)有限公司授权不得商用。

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