具有精确定位致动器的磁头万向架组件,具有该组件的磁盘驱动装置及制造该组件的方法制造方法及图纸

ＨＧＡ包括：具有至少一个磁头元件的磁头滑动件；固定于该磁头滑动件的用于准确定位该至少一个磁头元件的准确定位传动器；用于支承该传动器的支承件。该传动器具有一对活动臂，该活动臂可以响应加在该传动器上的驱动信号而发生位移。该磁头滑动件装在该一对活动臂之间。可采用至少一种粘接膜将磁头滑动件和该传动器粘接起来。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有精确定位传动器的磁头元件的磁头万向架组件(HGA)，该磁头元件例如为薄膜磁头元件或者光盘头元件，本专利技术还涉及具有这种HGA的磁盘驱动装置和HGA的制造方法。
技术介绍
在磁盘驱动装置中，用于将磁信息写入磁盘和/或从磁盘上读出磁信息的薄膜磁头元件一般形成在磁头滑动件上，该滑动件工作时在旋转磁盘的上面飞行。该滑动件分别支承在HGA的悬挂件的顶端部分。近年来，在现代磁盘驱动装置中，沿磁盘的径向方向或者沿磁盘磁道宽度方向的记录和重现密度(磁道密度)急剧增加，以满足不断提高数据储存容量和密度的要求。对于磁道密度的提高，相对于磁盘中磁道仅用音圈马达(VCM)对磁头元件进行位置控制决不会得到足够的准确度。为了解决这一问题，在比VCM更靠近磁头滑动件的位置装上额外的传动机构，以达到只用VCM不能达到的准确的精密定位。在例如美国专利NO.5745319和日本专利公告NO.08180623A中已说明达到磁头精确定位的方法。作为这种额外传动器的例子，有背负式结构的传动器。这种背负式结构传动器由PZT压电材料形成，其形状为I字形，其一端固定于悬挂件，另一端固定于磁头滑动件，而柱形活动臂连接在这两端部分之间。传动器和磁头滑动件台阶式重叠在悬挂件上，即传动器夹在悬挂件和滑动件之间，形成重叠的悬臂结构。然而，具有这种背负式结构传动器的HGA具有以下各种问题(1)因为是台阶式的重叠结构，所以在磁头滑动件附近的HGA总厚度增加，加上了传动器的厚度；(2)传动器作为一个整体由压电材料构成，例如由PZT脆性材料构成，而且传动器和磁头滑动件是重叠的，形成悬臂结构。因此容易受到转矩的冲击，抗振性也很差；(3)取决于磁头滑动件的尺寸，在准确定位操作期间，磁头元件的行程发生变化。因此很难得到充分大的行程；(4)因为传动器具有三维结构，而且具有复杂的安装结构，所以在组装HGA时，操作很困难，而且不可能采用常规的HGA组装设备进行组装，造成生产率很差；(5)为了不干扰传动器的运动，必须在在传动器和磁头滑动件之间以及在传动器和悬挂件之间保持一个间隙，以便组装。然而形成这种间隙将进一步降低抗振性，而且很难准确地使该间隙保持不变。特别是，因为很难使悬挂件、传动器和磁头滑动件保持准确平行，所以磁头的特性降低。为了解决上述问题，本申请专利技术人已经提出一种结构的传动器，在这种传动器中，磁头滑动件夹在一对活动臂之间的空间中，该活动臂可以响应加在上面的驱动信号而发生位移。按照这种结构的传动器，即使装上传动器，在磁头滑动件附近的HGA厚度也不会增加。另外，因为传动器和磁头滑动件不是重叠形成悬臂结构，所以提高了抗振性。另外，因为磁头滑动件夹在活动臂的中间，所以即使磁头滑动件的尺寸变化也能够向滑动件提供恒定的行程。然而，在用这种结构的传动器实际组装HGA时，困难在于将传动器活动臂的顶端部分固定在磁头滑动件的侧表面上。尤其是，当这些部件通过图上液态粘接剂进行彼此粘接时，不仅需要很长时间进行粘接，而且还很难均匀地控制粘接区域以及粘接剂的厚度。后者造成冲程和传动器共振特性的变化。专利技术概要因此本专利技术的目的是提供一种具有准确定位传动器的磁头元件的HGA，提供一种具有这种HGA的磁盘传动器以及提供一种HGA的制造方法，由此缩短组装时间。本专利技术的另一目的是提供一种具有准确定位传动器的磁头元件的HGA，提供一种具有这种HGA磁盘驱动装置以及提供一种HGA的制造方法，由此可以使传动器得到稳定的冲程和稳定的共振特性。本专利技术的再一目的是提供一种具有准确定位传动器的磁头元件的HGA，提供一种具有这种HGA的磁盘驱动装置，以及提供一种HGA的制造方法，由此可以容易采取防ESD(静电菏)破坏的防范措施。按照本专利技术，HGA包括具有至少一个磁头元件的磁头滑动件，一对活动臂可以响应加在传动器上的驱动信号而产生位移。该磁头滑动件装在一对活动臂之间。该磁头滑动件和驱动件用至少一种粘接膜进行粘接。另外，按照本专利技术，磁盘驱动装置包括至少一个上述HGA。因为HGA采用粘接膜将磁头滑动件粘接在传动器上，所以可以容易进行粘接操作，由此可以大大缩短粘接操作所需的时间。而且由于应用粘接膜，所以可以准确控制粘接区域和均匀控制粘接区域的厚度。另外，因为传动器固定磁头滑动件，使得该滑动件位于该一对活动臂之间的空间中，所以即使装上传动器，在磁头滑动件附近的HGA的厚度也不增加。因此不会由于装上驱动件而改变磁盘驱动装置的尺寸。另外，因为磁头滑动件装在活动臂之间，所以实际上将位移传送给滑动件的活动臂端部分总是定位在滑动件的顶端部分。因此即使磁头滑动件的尺寸改变，也能向滑动件提供恒定的冲程，因而在准确定位操作时，磁头总可以得到足够大的冲程。该一对活动臂的顶端部分和磁头滑动件的侧表面最好分别用粘接膜粘接。由于采用粘接膜粘接，所以可以准确控制粘接区域和均匀控制粘接区域的厚度。结果，传动器可以期望获得十分稳定的冲程和极端稳定的共振特性。一对活动臂的各个活动臂最好包括弹性臂部件和形成在该臂部件侧表面上的压电元件。该传动器最好还包括固定在支承件上的底座，该臂部件最好从该底座伸出。该臂部件和底座最好用烧结的弹性陶瓷制作。烧结的弹性陶瓷最好是ZrO2。该臂部件从其根部到其顶端最好还具有基本上相同的横截面形状，或者，该臂部分在其顶端部分最好还具有伸向磁头滑动件的滑动件固定部分。该传动器最好具有大体U形的平面形状。该至少一种粘接膜最好是各项异性的导电膜(ACF)。该传动器最好还包括在一对活动臂表面上形成的连接导线，以便使ACF接地。因此，可以容易采取防止ESD破坏磁头元件的防范措施。臂部件和底座最好用弹性的金属板部件制作。该金属板部件最好用不锈钢板制作。该臂部件在其顶端部分最好具有伸向磁头滑动件的滑动件固定部分。该传动器最好还包括用金属板部件作的连接部件，以便在该一对活动臂的顶端部分将该一对活动臂彼此连接起来，磁头滑动件的空气支承表面(ABS)的相反表面和连接部件最好用至少一种粘接膜粘接。因为磁头滑动件固定在这种连接部件上，所以磁头滑动件和传动器具有充分大的粘接强度，因而可以大大提高HGA的垂直抗振性。另外，即使滑动件的尺寸改变，也容易安装磁头滑动件。一对活动臂中的各个活动臂最好还包括由弹性金属板部件作的臂部分和形成在该臂部件侧表面上的压电元件。在这种情况下，该传动器最好还包括用金属板部件作的底座，该底座平行于该连接部件，并固定于支承件，该传动器最好还包括一对从该底座伸出的活动臂。该金属板部件最好用不锈钢板制作。该至少一种粘接膜最好是ACF。因为滑动件只用粘接在滑动件和传动器之间的ACF接地，所以可以很容易采取防止磁头元件受ESD破坏的防范措施。该至少一个磁头元件最好是至少一种薄膜磁头元件。按照本专利技术，具有准确定位传动器的磁头万向架组件其制造方法包括以下步骤制造具有至少一个磁头元件的磁头滑动件，制造具有一对活动臂的传动器，该活动臂可以响应加在传动器上的驱动信号而产生位移，该传动器用于将磁头滑动件夹在该一对活动臂之间的空间中，制造支承该传动器的支承件；分别用粘接膜将一对活动臂的顶端部分和磁头滑动件的侧表面粘接起来；将该传动器固定在该支承件上。因为采用粘接膜将磁头滑动件的侧表面粘接在传动器活动臂的顶端部分上，所以很容易进行粘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁头万向架组件，包括：具有至少一个磁头元件的磁头滑动件；固定于上述磁头滑动件的用于准确定位上述至少一个磁头元件的准确定位传动器；用于支承上述传动器的支承件，上述传动器包括一对活动臂，该活动臂可以响应加在上述传动器上的驱动信号而发生位移，上述磁头滑动件装在上述一对活动臂之间，上述磁头滑动件和上述传动器利用至少一种粘接膜粘接。

【技术特征摘要】
1.一种磁头万向架组件，包括具有至少一个磁头元件的磁头滑动件；固定于上述磁头滑动件的用于准确定位上述至少一个磁头元件的准确定位传动器；用于支承上述传动器的支承件，上述传动器包括一对活动臂，该活动臂可以响应加在上述传动器上的驱动信号而发生位移，上述磁头滑动件装在上述一对活动臂之间，上述磁头滑动件和上述传动器利用至少一种粘接膜粘接。2.如权利要求1所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述一对驱动臂的顶端部分和上述磁头滑动件的侧表面分别用粘接膜粘接。3.如权利要求1所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述一对活动臂中的各个臂包括弹性臂部件和形成在上述臂部件侧表面上的压电元件。4.如权利要求3所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述传动器还包括固定于上述支承件的底座，上述臂部件从上述底座伸出。5.如权利要求4所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述臂部件和上述底座用烧结的弹性陶瓷形成。6.如权利要求5所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述烧结的弹性陶瓷是ZrO2。7.如权利要求3所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述臂部件从其根部到其顶端部分具有大体相同的横截面形状。8.如权利要求3所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述臂部件在其顶端部分具有伸向上述磁头滑动件的滑动件固定部分。9.如权利要求1所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述传动器具有大体U形的平面形状。10.如权利要求1所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述至少一种粘接膜是各向异性的导电膜。11.如权利要求10所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述传动器还包括形成在上述一对活动臂表面上的连接导线，该导线用于使上述各向异性导电膜接地。12.如权利要求4所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述臂部件和上述底座用弹性的金属板部件形成。13.如权利要求12所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述金属板部件由不锈钢板形成。14.如权利要求12所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述臂部件在其顶端部分具有伸向上述磁头滑动件的滑动件固定部分。15.如权利要求1所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述传动器还包括用金属板部件作的用于在上述一对活动臂的顶端部分使上述一对活动臂彼此连接的连接部件，上述磁头滑动件空气支承表面的相对表面和上述连接部件用上述至少一种粘接膜粘接。16.如权利要求15所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述一对活动臂中各个臂包括用弹性金属板部件作的臂部件和形成在上述臂部件侧表面上的压电元件。17.如权利要求15所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述传动器还包括由金属板部件作的底座，该底座平行于上述连接部件，并固定于上述支承件，上述一对活动臂从上述底座伸出。18.如权利要求17所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述金属板部件用不锈钢板制作。19.如权利要求12所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述至少一种粘接膜是各向异性导电膜。20.如权利要求1所述的磁头万向架组件，其特征在于，上述至少一个磁头元件是至少一个薄膜磁头元件。21.一种磁盘驱动装置，该装置具有至少一个磁头万向架组件，该组件包括具有至少一个磁头元件的磁头滑动件；固定于上述磁头滑动件的用于准确定位上述至少一个磁头元件的准确定位传动器；用于支承上述传动器的支承件，上述传动器包括一对活动臂，该活动臂可以响应加在上述传动器上的驱动信号而产生位移，上述磁头滑动件装在上述一对活动臂之间，上述磁头滑动件和上述传动器采用至少一种粘接膜粘接。22.如权利要求21所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述一对活动臂的顶端部分和上述磁头滑动件的侧表面分别用粘接膜粘接。23.如权利要求21所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述一对活动臂中的各个臂包括弹性臂部件和形成在上述臂部件侧表面上的压电元件。24.如权利要求23所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述传动器还包括固定于上述支承件的底座，上述臂部件从上述底座伸出。25.如权利要求24所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述臂部件和上述底座由烧结的弹性陶瓷形成。26.如权利要求25所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述烧结的弹性陶瓷是ZrO2。27.如权利要求23所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述臂部件从其根部到其顶端部基本上具有相同的横截面形状。28.如权利要求23所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述臂部件在其顶端部分具有伸向上述磁头滑动件的滑动件固定部分。29.如权利要求21所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述传动器具有大体U形的平面形状。30.如权利要求21所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述至少一种粘接膜是各向异性的导电膜。31.如权利要求30所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述传动器还包括形成在上述一对活动臂表面上的用于使上述各向异性粘接膜接地的连接导线，以便使上述各向异性导电膜接地。32.如权利要求24所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述臂部件和上述底座用弹性的金属板部件形成。33.如权利要求32所述的磁盘驱动装置，其特征在于，上述金属板部件用不锈钢板形成。34.如权利要求32所述的磁盘驱动装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚明高，白石一雅，笠岛多闻，
申请(专利权)人：新科实业有限公司，
类型：发明
国别省市：HK[中国|香港]