悬浮型磁头装置的修正方法制造方法及图纸

提供了一种悬浮型磁头装置的修正方法，该悬浮型磁头装置具有：负载梁，由金属材料构成，并在记录媒体上延伸；挠曲件，具备位于该负载梁的记录媒体侧的可弹性变位的舌片，由金属材料构成并结合在该负载梁上；以及磁头本体，固定在上述舌片的记录媒体侧的面上，在记录媒体的回转驱动状态下，上述磁头本体悬浮在该记录媒体上方。该修正方法具有：模拟安装步骤。制作上述悬浮型磁头装置的模拟安装状态，并将磁头本体从磁盘相当面悬浮；在该模拟安装状态中，检测出上述负载梁前端部的偏转角相当量的步骤；以及修正步骤，根据该负载梁的前端部的偏转角相当量，将该负载梁向使该前端部的偏转角接近零的方向弯曲。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种装备在硬盘装置等中的。
技术介绍
悬浮型磁头装置为，将固定了磁头本体(滑块)的具有可弹性变位的舌片的挠曲件(flexure)结合在于被回转驱动的硬盘(记录媒体)上延伸且摇摆运动的负载梁(load beam)上，该挠曲件的舌片在记录媒体侧的面上固定着磁头本体。在磁盘停止时，由于负载梁的弹性力使磁头本体的下面与磁盘的记录面接触，当磁盘开始运动时，空气流沿磁盘的移动方向，在磁头本体与磁盘表面之间被引导，磁头本体的下面受到空气流的悬浮力，磁头本体从磁盘表面悬浮。以往在该悬浮型磁头装置中，提出了一种使磁头本体姿态端正地与磁盘成水平，并为了施加预定的负载而施加各种修正的方法。例如提出了一种为了修正磁头本体姿态而修正挠曲件的形状(俯仰(pitch)角或偏转(roll)角相当量)(专利文献2、3、4)，或为了调整负载的大小而使负载梁变形的技术(专利文献1、5、6、7)。专利文献1日本特开平1-227279号公报专利文献2日本特开2000-339894号公报专利文献3日本特开2001-357644号公报专利文献4日本特开2002-15410号公报专利文献5日本特开2002-170351号公报专利文献6日本特开2002-260358号公报专利文献7USP2004 0317011但是，即使使用这些修正方法，在实际安装状态下，也不能避免磁头本体相对于磁盘的悬浮量会产生偏差的现象。极端地说，悬浮型磁头装置的修正的目的就是在实际安装的状态下、将磁头本体悬浮量的偏差(每个装置的偏差和各装置的磁头本体的磁道(track)宽度方向的偏差)抑制为最小，在以往的修正方法中，难以进行充分的修正。
技术实现思路
本专利技术者着眼于负载梁的实际安装状态的变形，特别是偏转角方向的变形，基于下述发现完成了本专利技术测定该变形的大小以将负载梁向偏转角接近零的方向弯曲修正时，则能够修正悬浮量的偏差(或负载的偏差)。也就是说，以往的修正方法未着眼于负载梁的实际安装状态下的变形，假定负载梁自身相对于磁盘平行来修正，这是悬浮量产生偏差的一个原因。本专利技术提供了一种，该悬浮型磁头装置具有负载梁，由金属材料构成、在记录媒体上方延伸；挠曲件，具备位于该负载梁的记录媒体侧的可弹性变形的舌片，由金属材料构成并结合在该负载梁上；以及磁头本体，固定在上述舌片的在记录媒体侧的面上，在记录媒体的回转驱动状态下，上述磁头本体悬浮在该记录媒体上方。本专利技术的修正方法具有制作该悬浮型磁头装置的模拟安装状态，使磁头本体离开磁盘相当面而悬浮的模拟安装步骤；在该模拟安装状态中，检测出上述负载梁前端部的偏转角相当量的步骤；以及根据该负载梁的前端部的偏转角相当量，将该负载梁向使该前端部的偏转角接近零的方向弯曲的步骤。所谓偏转角相当量意味着不需要将偏转角作为角度检测出，而能够通过检测出负载梁前端部的磁道宽度方向的高度差来检测出偏转角的相当量。修正步骤中的负载梁的弯曲，在一实施方式中，可沿相对于与该负载梁的长度方向垂直的方向倾斜的线执行。此外，该负载梁的弯曲实际上通过向该负载梁照射激光来执行。此外，该弯曲优选施加在比负载梁与挠曲件的最前端侧的结合部分还靠该负载梁的摆动支点侧。为了使负载梁前端的偏转角接近零，可根据检测出的偏转角相当量，使激光的强度在倾斜线上不同，使激光照射在磁道宽度方向上的照射强度不同，或者仅在负载梁的磁道宽度的方向的一半照射激光。最好在上述负载梁上形成有至少一个位于激光的照射线上的贯通孔。专利技术的效果根据本专利技术的，能够在相对于磁盘的实际安装状态中，抑制磁头本体的悬浮量的偏差。附图说明图1为使用本专利技术的修正方法的悬浮型磁头装置的一例的分解立体图。图2为负载梁前端与挠曲件部分的放大的俯视图。图3为沿图2的III-III线的、磁头本体的悬浮状态的示意的剖面图。图4为示意地示出图1至图3的悬浮型磁头装置的模拟安装状态的侧视图。图5为本专利技术的修正方法的说明图。图6为示出实施本专利技术的修正方法前后的负载梁的偏转角的测定结果的图表。图7为示出实施本专利技术的修正方法前的挠曲件的高度分布的图表。图8为示出实施本专利技术的修正方法后的挠曲件的高度分布的图表。图9为示出实施本专利技术的修正方法前后的挠曲件的高度分布的图表。图10为示出实施本专利技术的修正方法前后的挠曲件的高度分布的图表。图11为示出实施本专利技术的修正方法前后的挠曲件的高度分布的图表。图12为示出实施本专利技术的修正方法前后的挠曲件的高度分布的图表。图13为示出使用本专利技术的修正方法的悬浮型磁头装置的控制系统的框图。具体实施例方式图1至图3为使用本专利技术方法进行修正的悬浮型磁头装置的一例，由磁头本体1与将其支承的支承部件2构成。磁头本体1具有与硬盘等记录磁盘(记录媒体)D(图3)相对置的滑块3，在该滑块3的尾侧端面上设有薄膜元件4。滑块3由陶瓷材料等形成。薄膜元件4具有利用磁阻效应来检测来自磁盘D的漏磁并读取磁信号的MR头(读出头)、和形成线圈等图案(pattern)的感应头(写入头，inductive head)。支承部件2众所周知地，由在被回转驱动的磁盘D外具有摆动支点、在磁盘D上方延伸的负载梁5、以及结合在该负载梁5上的挠曲件6构成。负载梁5和挠曲件6均由板簧材料(金属材料，一般为不锈钢)形成。负载梁5大致为前端窄的平板状，在其前端部附近形成有向图示下方向(磁盘D侧)突出的半球状接触部(半球状突起)7。挠曲件6具有固定部6a、从该固定部6a向前方(负载梁5的自由端方向)延伸的左右一对悬臂支架(outrigger)6b、从该一对悬臂支架6b的前端向内方延伸的连接部6c、以及与该一对连接部6c连接的舌片6d。在舌片6d、悬臂支架6b及连接部6d之间形成コ字形的切口(silt)6e，舌片6d能够以连接部6c为中心相对于悬臂支架6b弹性变形。如图1所示，在固定部6a上形成有定位孔9，在该定位孔9与形成于负载梁5上的定位孔8位置吻合后，固定部6a通过激光焊接等方法固定在负载梁5的下面(磁盘D侧的面)。固定点(机械的结合部分)10在图1中示出了一处，但在摆动支点侧还有未图示的多个固定点。舌片6d的上面与朝向下方突出形成在负载梁5上的半球状接触部7相碰，粘接固定在舌片6d下面的磁头本体1能够以半球状接触部7的顶点为支点自由地改变姿态。负载梁5具有使磁头本体1与磁盘D接触方向的弹性力。在负载梁5及挠曲件6的内侧(磁盘D侧的面)上设置有连接磁头本体1(薄膜元件4)的配线图案，但省略其图示。图4为将以上的磁头装置设置在模拟盘D’上的模拟安装状态。模拟盘D’固定在以回转中心13为中心回转的模拟盘驱动部16(图13)上。该模拟盘驱动部16与模拟盘驱动电路20相连接，模拟盘驱动电路20与控制部17相连接。模拟盘驱动电路20从控制部17接受回转驱动的指示信号时，对模拟盘驱动部16供给用于回转的驱动信号(电流)，模拟盘驱动部16以根据输入的驱动信号的预定的转数与模拟盘D’共同回转。实际安装状态与模拟安装状态的差为是否实际地进行记录再生，在使磁盘D(模拟盘D’)回转、并形成磁头本体1的悬浮状态这一点上是相同的。负载梁5的基部与基板(base plate)12的基准面12r推压接触，并在向模拟盘D’上方延伸。在模拟盘D’以回转中心13为中心被回转驱动时，如图3所示意地，磁头本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种悬浮型磁头装置的修正方法，该悬浮型磁头装置具有：负载梁，由金属材料构成并在记录媒体上延伸；挠曲件，具备位于该负载梁的记录媒体侧的可弹性变形的舌片，由被结合在该负载梁上的金属材料构成；以及磁头本体，被固定在所述舌片的记录媒体侧的面上，在记录媒体的回转驱动状态下，所述磁头本体悬浮在该记录媒体上方，该悬浮型磁头装置的修正方法的特征为，具有：模拟安装步骤，制作所述悬浮型磁头装置的模拟安装状态，并使磁头本体从磁盘相当面悬浮；检测步骤，在该模拟安装状态中，检测所述负载梁前端部 的偏转角相当量；以及修正步骤，根据该负载梁的前端部的偏转角相当量，将该负载梁向着使该前端部的偏转角接近零的方向弯曲。

【技术特征摘要】
JP 2005-3-25 088959/20051.一种悬浮型磁头装置的修正方法，该悬浮型磁头装置具有负载梁，由金属材料构成并在记录媒体上延伸；挠曲件，具备位于该负载梁的记录媒体侧的可弹性变形的舌片，由被结合在该负载梁上的金属材料构成；以及磁头本体，被固定在所述舌片的记录媒体侧的面上，在记录媒体的回转驱动状态下，所述磁头本体悬浮在该记录媒体上方，该悬浮型磁头装置的修正方法的特征为，具有模拟安装步骤，制作所述悬浮型磁头装置的模拟安装状态，并使磁头本体从磁盘相当面悬浮；检测步骤，在该模拟安装状态中，检测所述负载梁前端部的偏转角相当量；以及修正步骤，根据该负载梁的...

【专利技术属性】
技术研发人员：本西道治，高桥一博，坂诘真穗，舂井克敏，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]