电子束描绘方法、用该电子束描绘方法制作的磁记录媒体及其制造方法技术

本发明专利技术其课题在于可降低电子束描绘装置的旋转系统对描绘带来的不稳定因素，同时能够稳定地获得所需的图案。本发明专利技术的电子束描绘方法，采用电子束描绘装置对感光性树脂膜照射电子束来描绘由多个位所组成的图案，该电子束描绘装置包括：使载置有形成了感光性树脂膜的基片的工作台以一固定角速度旋转的旋转机构；使所述工作台在１个水平方向上移动的移动机构；以及对所述感光性树脂膜照射电子束的电子束照射部，其中，以所述电子束对所述基片其中距离旋转中心为半径ｒ处与位图相当的区域进行曝光时，在与所述位图相当的区域的曝光中设置所述电子束的ＯＦＦ状态，以便其曝光量为对作为基准的描绘范围其最外圆周半径ｒ↓［ｏｕｔ］处进行曝光时的ｒ／ｒ↓［ｏｕｔ］倍。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
提高磁盘(下面也称为硬盘)存储密度的技术潮流中，提出了一种利用非磁性部分区 分磁信号的磁性部区域的所谓离散型媒体结构的方案。专利文献l中记载了具有数据区和 伺服区的离散型媒体的记录再生系统，但未披露用何种方法制作该离散型媒体。而专利文献2中则记载有称为纳米压印(于乂 < > 7° 'J >卜)蚀刻法的、将200nm 或以下的模制图案转印到膜上的技术。另外，专利文献3中记载有利用压印法转印离散型 磁盘图案的技术。该专利文献3中，示出利用由电子束蚀刻技术制作的母盘所形成的压模 形成媒体图案，但对于该电子束蚀刻法的描绘方法、压模的图案未作说明。一般来说，磁盘装置在壳体内部具有面饼圈型圆盘形状的磁盘；包含磁头的磁头滑 动件；支持磁头滑动件的磁头悬浮组件；音圈(*、 ^ - O)电动机(VCM);以及电 路板。磁盘内部可按形成年轮呈同心圆形状的记录轨分区，并具有每隔一定角度分断该记录 轨的扇区，磁盘装配到主轴电动机上旋转，并利用磁头记录 再生各种数字形式的数据。 因此， 一方面在圆周方向上配置用户数据轨，另一方面在跨各条记录轨的方向上配置位置 控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子束描绘方法，利用电子束描绘装置对感光性树脂膜照射电子束来描绘由多个位点所组成的图案，该电子束描绘装置包括：使载置有形成了感光性树脂膜的基片的工作台以一固定角速度旋转的旋转机构；使所述工作台在１个水平方向上移动的移动机构；以及对所述感光性树脂膜照射电子束的电子束照射部，其特征在于，在以所述电子束对与距离所述基片的旋转中心半径ｒ处的位图相当的区域进行曝光时，在与所述位图相当的区域的曝光中设置所述电子束的ＯＦＦ状态，使得曝光量为对作为基准的描绘范围的最外圆周半径ｒ↓ ［ｏｕｔ］处进行曝光时的ｒ／ｒ↓［ｏｕｔ］倍。

【技术特征摘要】
JP 2006-7-28 2006-2058351.一种电子束描绘方法，利用电子束描绘装置对感光性树脂膜照射电子束来描绘由多个位点所组成的图案，该电子束描绘装置包括使载置有形成了感光性树脂膜的基片的工作台以一固定角速度旋转的旋转机构；使所述工作台在1个水平方向上移动的移动机构；以及对所述感光性树脂膜照射电子束的电子束照射部，其特征在于，在以所述电子束对与距离所述基片的旋转中心半径r处的位图相当的区域进行曝光时，在与所述位图相当的区域的曝光中设置所述电子束的OFF状态，使得曝光量为对作为基准的描绘范围的最外圆周半径rout处进行曝光时的r/rout倍。2. 如权利要求l所述的电子束描绘方法，其特征在于，所述曝光中，由所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冲野刚史，樱井正敏，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]