温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明其课题在于可降低电子束描绘装置的旋转系统对描绘带来的不稳定因素，同时能够稳定地获得所需的图案。本发明的电子束描绘方法，采用电子束描绘装置对感光性树脂膜照射电子束来描绘由多个位所组成的图案，该电子束描绘装置包括：使载置有形成了感光性树脂...
该专利属于株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。