上料模组与真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种上料模组与真空镀膜设备，上料模组用于将靶材补入容器，包括基座、密封装置与推动装置，基座具有第一腔体与第二腔体，第一腔体在基座上形成第一开口，第一开口用于连通容器的内腔，第二腔体在基座上形成第二开口，第二开口用于靶材进入第二腔体；密封装置连接于基座，并能够相对基座移动，以打开或者封闭第一腔体与第二腔体的连接处；推动装置连接于基座，并能够相对基座移动，以在第一腔体与第二腔体的连接处处于打开状态时，推动第二腔体内的靶材向第一开口的方向移动。上述的上料模组结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
上料模组与真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其是涉及上料模组与真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]靶材是镀膜工艺中不可或缺的的溅射源，在进行真空镀膜的过程中需要持续的添加靶材，同时还需要保证上料处的密封，相关技术中的靶材上料模组结构复杂，生产成本较高，难以满足实际需求。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种上料模组，能够简化结构，降低成本。
[0004]本技术还公开了应用上述上料模组的真空镀膜设备。
[0005]根据本技术第一实施例的上料模组，用于将靶材补入容器，包括：
[0006]基座，具有第一腔体与第二腔体，所述第一腔体在所述基座上形成第一开口，所述第一开口用于连通所述容器的内腔，所述第二腔体在所述基座上形成第二开口，所述第二开口用于所述靶材进入所述第二腔体；
[0007]密封装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以打开或者封闭所述第一腔体与所述第二腔体的连接处；
[0008]推动装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以在所述第一腔体与所述第二腔体的连接处处于打开状态时，推动所述第二腔体内的所述靶材向所述第一开口的方向移动。
[0009]根据本技术实施例的上料模组，至少具有如下有益效果：
[0010]在上述的上料模组中，基座开设有第一开口与第二开口，第一开口用于与容器的内腔连通，第二开口用于靶材进入基座的内部，密封装置可以相对基座移动，从而打开或者封闭第一腔体与第二腔体的连接处，如此，当二者的连接处处于打开状态时，推动装置可以推动靶材进入与上料模组连接的容器，当二者的连接处处于封闭状态时，可以使容器上与上料模组相连接的部位处于密封状态，且上述上料模组的结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述基座包括：
[0012]第一连接件，具有所述第一腔体与所述第一开口；
[0013]第二连接件，具有所述第二腔体与所述第二开口；
[0014]其中，所述密封装置位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述第二连接件能够相对所述第一连接件沿所述靶材的上料方向移动，且能够在移动至设定位置时将所述密封装置压紧在所述第一连接件上。
[0015]根据本技术的一些实施例，还包括锁止装置，所述锁止装置用于将所述第二连接件保持在所述设定位置。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述锁止装置包括导向件，所述导向件与所述第一连接件连接，所述第二连接件具有导向孔，所述导向件插接在所述导向孔内，且从所述第二连接件上远离所述第一连接件的端部伸出；
[0017]所述锁止装置还包括锁止件，所述锁止件可分离地连接于所述导向件的伸出部分，以将所述第二连接件保持在所述设定位置。
[0018]根据本技术的一些实施例，所述导向件的伸出部分具有支撑部，所述支撑部与所述第二连接件之间具有间隙；
[0019]所述锁止件与所述第二连接件转动连接，转动至所述间隙内的所述锁止件由所述支撑部进行支撑。
[0020]根据本技术的一些实施例，所述锁止件具有凹槽，当所述锁止件转动至所述间隙内时，所述导向件容纳于所述凹槽内。
[0021]根据本技术的一些实施例，所述第二腔体在所述基座上形成第三开口，沿所述靶材的进样方向，所述第二开口、所述第三开口与所述第一开口依次设置，所述密封装置能够通过所述第三开口脱离所述基座。
[0022]根据本技术的一些实施例，沿所述进样方向，所述第三开口与所述第二开口连通。
[0023]根据本技术的一些实施例，所述推动装置的外周面具有第一台阶面，所述第二腔体的腔壁具有第二台阶面，当所述第一台阶面与所述第二台阶面相互接触时，由所述第二开口进入所述第二腔体的所述靶材能够移动至所述推动装置上。
[0024]根据本技术第二实施例的真空镀膜设备，包括所述的上料模组。
[0025]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0026]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0027]图1为本技术实施例的上料模组处于密封状态的立体示意图；
[0028]图2为图1中上料模组的剖视图；
[0029]图3为图1中上料模组的第一连接件与第二连接件处于分离状态的立体示意图；
[0030]图4为图4中上料模组的正视图；
[0031]图5为图1中上料模组的锁止装置处于锁止状态的立体示意图；
[0032]图6为图1中上料模组的锁止装置处于解锁状态的立体示意图。
具体实施方式
[0033]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0034]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用
新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0035]在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0036]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0037]本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0038]参照图1、图2，本技术实施例的上料模组用于将物料补入容器，物料可以是真空镀膜工艺所需的靶材。上料模组包括基座110、密封装置120与推动装置130。基座110作为承载结构，用于安装上述的密封装置120与推动装置130，且基座110上开设有第一开口 113与第二开口114，靶材可以通过第二开口114进入基座110内部，并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.上料模组，用于将靶材补入容器，其特征在于，包括：基座，具有第一腔体与第二腔体，所述第一腔体在所述基座上形成第一开口，所述第一开口用于连通所述容器的内腔，所述第二腔体在所述基座上形成第二开口，所述第二开口用于所述靶材进入所述第二腔体；密封装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以打开或者封闭所述第一腔体与所述第二腔体的连接处；推动装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以在所述第一腔体与所述第二腔体的连接处处于打开状态时，推动所述第二腔体内的所述靶材向所述第一开口的方向移动。2.根据权利要求1所述的上料模组，其特征在于，所述基座包括：第一连接件，具有所述第一腔体与所述第一开口；第二连接件，具有所述第二腔体与所述第二开口；其中，所述密封装置位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述第二连接件能够相对所述第一连接件沿所述靶材的上料方向移动，且能够在移动至设定位置时将所述密封装置压紧在所述第一连接件上。3.根据权利要求2所述的上料模组，其特征在于，还包括锁止装置，所述锁止装置用于将所述第二连接件保持在所述设定位置。4.根据权利要求3所述的上料模组，其特征在于，所述锁止装置包括导向件，所述导向件与所述第一连接件连接，所述第二连接件具有导向孔，所述导向件插接在所述导向孔内，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，李时俊，王志民，谢进学，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：