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本实用新型公开了一种上料模组与真空镀膜设备，上料模组用于将靶材补入容器，包括基座、密封装置与推动装置，基座具有第一腔体与第二腔体，第一腔体在基座上形成第一开口，第一开口用于连通容器的内腔，第二腔体在基座上形成第二开口，第二开口用于靶材进入第...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

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