本公开提供静电放电缓解装置及一种流体回路。在一或多个实施例中，所述静电放电缓解装置是用以将静电荷从导电聚合物管道转移到导电聚合物操作组件的导电插入件。导电聚合物操作组件的导电插入件。导电聚合物操作组件的导电插入件。
【技术实现步骤摘要】
静电放电缓解装置及流体回路
[0001]本公开涉及可用于(举例来说)流体处置系统中的静电放电(ESD)缓解装置，且更具体来说涉及供在受益于静电放电缓解的超纯流体处置系统中使用的静电放电(ESD)缓解装置。
技术介绍
[0002]静电放电(ESD)对于半导体工业中及其它技术应用中的流体处置系统来说是重要的技术问题。流体系统中的流体与各种操作组件(例如，管道或管路、阀、配件、过滤器等)的表面之间的摩擦接触可导致静态电荷的产生及积聚。电荷产生的程度取决于各种因素，包含但不限于组件及流体的本质、流体速度、流体粘度、流体的电导率、通往接地的路径、液体中的扰动及切变、流体中存在空气及表面积。在NFPA 77的“Recommended Practice on Static Electricity(关于静电的推荐做法)”(第77
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1页至第77
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67页，2014年)中论述且报告这些性质及用以缓解这些性质所导致的非所要静态电荷的方式。
[0003]进一步地，当流体流动穿过系统时，可在称作流式传输电荷的现象中向下游载送电荷，其中电荷可在电荷起源的地方以外积聚。在各个工艺步骤处，充足电荷积累可导致在管道或管壁、组件表面处或甚至在衬底或晶片上发生ESD。
[0004]在某些应用中，半导体衬底或晶片对静态电荷高度敏感且此ESD可导致对衬底或晶片的损坏或破坏。举例来说，由于ESD不受控制，因此衬底上的电路可能被破坏且光敏化合物可在定期曝光之前被活化。另外，所积聚静电荷可从流体处置系统内排放到外部环境，从而可能损坏流体处置系统中的组件(例如，管道或管路、配件、组件、容器、过滤器等)，此可导致泄漏、系统中的流体溢出及组件性能降低。在这些情景中，当在受损的流体处置系统中使用易燃、有毒及/或腐蚀性流体时此放电可导致潜在火灾或爆炸。
[0005]通常，电气系统薄弱环节是接地的完整性。在一些流体处置系统中，为了减少静电荷积聚，流体处置系统中的特定金属或导电组件经接地以缓解系统中的静电荷积聚，因为静电荷不断地从所述金属或导电组件分散到接地。在一些系统中，由导电聚合物构成的导电线缆扎带或“束线带”有时用于将组件连接到接地。此类聚合缆线扎带易受潜变、移动、破坏、环境效应或敏感度、劣化、磨损等影响，且在实践中具有许多缺点。
[0006]将期望改进供在超纯流体处置系统中使用的ESD缓解与接地装置，此赋予经改进组件可靠性、稳定性、性能及可能损坏ESD事件的减少。
技术实现思路
[0007]本公开的一或多个实施例涉及静电放电(ESD)缓解装置。特定来说，实施例针对于一种静电放电缓解装置，其包括导电插入件以将静电荷从导电聚合物管道转移到导电聚合物操作组件以促进流体回路的接地。
[0008]本公开的一些实施例包括用以连接流体回路中的两个或多于两个导电管道分段的管道连接器，所述管道连接器包括：导电聚合物连接器主体，其具有两个或多于两个附接
部分；两个或多于两个附接配件；导电聚合物插入件，其电接触所述导电连接器主体；及导电托架，其经配置以与所述连接器主体附接并介接以将所述连接器主体电连接到接地。
[0009]在所述管道连接器的各个实施例中，所述管道连接器包含笔直连接器、T形连接器或肘形连接器。在所述管道连接器的特定实施例中，所述管道连接器是具有流体通路以连接两个管道分段的笔直连接器。在所述管道连接器的特定实施例中，所述管道连接器是具有流体通路以连接两个管道分段的肘形连接器。在所述管道连接器的特定实施例中，所述管道连接器是具有流体通路以连接三个管道分段的T形连接器。在所述管道连接器的特定实施例中，所述连接器主体附接部分包含螺纹区域及接头区域以接纳管道分段。在所述管道连接器的特定实施例中，所述附接配件包含压紧螺母以将管道分段附接到所述管道连接器的所述螺纹及接头区域。
[0010]在本公开的一些实施例中包括用于具有至少一个入口及至少一个出口的预定流体流动通路的流体回路，所述流体回路包含：
[0011]a.多个导电聚合物管道分段；
[0012]b.多个导电聚合物管道连接器，每一管道连接器包括具有内部流体流动通路的连接器主体以及多个管道连接器配件及导电插入件，所述管道连接器在选定管道连接器配件及导电插入件处连接所述多个管道分段，所述多个管道分段及管道连接器通过所述流体回路提供所述流体流动通路；及
[0013]c.至少一个导电托架，其经配置以固持所述连接器主体并与所述连接器主体介接以将所述管道连接器电连接到接地。
[0014]本公开的另一实施例是静电放电缓解流体路径，其包括导电聚合物插入件以将静电荷从导电聚合物管道转移到导电聚合物操作组件。
[0015]本公开的又一实施例是导电流体回路，其包括将静电荷驱散到接地的导电聚合物管道、导电聚合物操作组件、导电聚合物插入件及导电托架。
[0016]本公开进一步描述制成具有至少一个入口及至少一个出口的静电放电缓解流体路径的方法的实施例，所述方法包含：a)将多个导电聚合物管道分段连接到多个操作组件，每一操作组件包括具有内部流体流动通路的导电聚合物主体部分及多个管道连接器配件及导电聚合物插入件，所述操作组件在选定管道连接器配件处连接所述多个导电管道分段，所述多个管道分段及操作组件通过所述流体回路提供所述流体流动通路；其中每一导电插入件及导电主体部分包括导电含氟聚合物，且其中所述管道连接器配件中的每一者将所述主体部分的相应导体导电连接到所述导电插入件；及b)将所述静电放电缓解流体回路连接到接地。
[0017]上述
技术实现思路
并不打算描述本公开的每一所图解说明实施例或每个实施方案。
附图说明
[0018]本公开中所包含的图式图解说明本公开的实施例，且连同说明一起用于阐释本公开的原理。图式仅图解说明特定实施例且不限制本公开。
[0019]图1是根据本公开的各个实施例的导电插入件的等距视图。
[0020]图2是根据本公开的各个实施例的导电插入件的侧视图。
[0021]图3a是根据本公开的各个实施例的具有导电管道及导电插入件的导电连接器的
横截面视图。
[0022]图3b是根据本公开的各个实施例的具有导电管道及导电插入件的导电连接器的横截面视图。
[0023]图4是根据本公开的各个实施例的具有导电管道及导电插入件的导电连接器的部分横截面视图。
[0024]图5是根据本公开的各个实施例的具有导电插入件(未展示)及用于将聚合导电主体接地的导电托架的ESD缓解管道连接器的等距视图。
[0025]图6是根据本公开的各个实施例的图4的替代ESD缓解管道连接器的分解图。
[0026]图7是可与本公开的各个实施例的导电插入件一起使用的不同ESD缓解管道连接器及导电管道的数字图像。
[0027]图8是根据各个实施例的可与本公开的各个实施例的导电插入件一起使用的替代ESD缓解管道连接器。
[0028]图9是根据各个实施例的可与本公开的各个实施例本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种静电放电缓解装置，其包括：导电插入件，其经配置以耦合到导电管道分段且耦合到导电操作组件以便将静电荷从所述导电管道分段转移到所述导电操作组件，所述导电插入件包括轴环，所述轴环具有长度、内表面、外表面及外接在所述轴环的所述外表面上的脊状件，其中所述脊状件具有比所述导电插入件将耦合到的所述导电管道分段的内径大的外径，以便在所述导电插入件与所述导电管道分段耦合时提供所述导电插入件与所述导电管道分段之间的摩擦配合。2.根据权利要求1所述的静电放电缓解装置，其进一步包括围绕所述轴环的外圆周分布的多个肋状件。3.根据权利要求1所述的静电放电缓解装置，其中所述轴环进一步界定外接在所述轴环的所述外表面上的唇形件，所述唇形件界定经设定大小以接纳并保持所述导电管道分段的将与所述导电插入件耦合的端的空间。4.根据权利要求1所述的静电放电缓解装置，其中所述轴环包括包含第一前缘及第二前缘的远端，其中所述第一前缘经设定大小且经塑形以接纳于导电连接器的凹部内且所述第二前缘经配置以邻接所述导电连接器的近端以形成榫舌嵌入凹槽密封件。5.根据权利要求1所述的静电放电缓解装置，其中所述轴环的内径等于所述轴环所耦合的导电管道分段的内径。6.根据权利要求3至5中任一权利要求所述的静电放电缓解装置，其中所述轴环包括导电聚合物。7.根据权利要求3至5中任一权利要求所述的静电放电缓解装置，其中所述轴环包括导电填充型含氟聚合物。8.根据权利要求7所述的静电放电缓解装置，其中所述导电填充型含氟聚合物包括填充有碳材料的全氟烷氧基烷烃或聚三氟氯乙烯。9.根据权利要求7所述的静电放电缓解装置，其中所述轴环包括填充有碳纤维的全氟烷氧基烷烃。10.一种流...
【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：
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