静电放电缓解装置及流体回路制造方法及图纸

技术编号:30426744 阅读:26 留言:0更新日期:2021-10-24 17:12
本公开提供静电放电缓解装置及一种流体回路。在一或多个实施例中,所述静电放电缓解装置是用以将静电荷从导电聚合物管道转移到导电聚合物操作组件的导电插入件。导电聚合物操作组件的导电插入件。导电聚合物操作组件的导电插入件。

【技术实现步骤摘要】
静电放电缓解装置及流体回路


[0001]本公开涉及可用于(举例来说)流体处置系统中的静电放电(ESD)缓解装置,且更具体来说涉及供在受益于静电放电缓解的超纯流体处置系统中使用的静电放电(ESD)缓解装置。

技术介绍

[0002]静电放电(ESD)对于半导体工业中及其它技术应用中的流体处置系统来说是重要的技术问题。流体系统中的流体与各种操作组件(例如,管道或管路、阀、配件、过滤器等)的表面之间的摩擦接触可导致静态电荷的产生及积聚。电荷产生的程度取决于各种因素,包含但不限于组件及流体的本质、流体速度、流体粘度、流体的电导率、通往接地的路径、液体中的扰动及切变、流体中存在空气及表面积。在NFPA 77的“Recommended Practice on Static Electricity(关于静电的推荐做法)”(第77

1页至第77

67页,2014年)中论述且报告这些性质及用以缓解这些性质所导致的非所要静态电荷的方式。
[0003]进一步地,当流体流动穿过系统时,可在称作流式传输电荷的现象中向下游载送本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电放电缓解装置,其包括:导电插入件,其经配置以耦合到导电管道分段且耦合到导电操作组件以便将静电荷从所述导电管道分段转移到所述导电操作组件,所述导电插入件包括轴环,所述轴环具有长度、内表面、外表面及外接在所述轴环的所述外表面上的脊状件,其中所述脊状件具有比所述导电插入件将耦合到的所述导电管道分段的内径大的外径,以便在所述导电插入件与所述导电管道分段耦合时提供所述导电插入件与所述导电管道分段之间的摩擦配合。2.根据权利要求1所述的静电放电缓解装置,其进一步包括围绕所述轴环的外圆周分布的多个肋状件。3.根据权利要求1所述的静电放电缓解装置,其中所述轴环进一步界定外接在所述轴环的所述外表面上的唇形件,所述唇形件界定经设定大小以接纳并保持所述导电管道分段的将与所述导电插入件耦合的端的空间。4.根据权利要求1所述的静电放电缓解装置,其中所述轴环包括包含第一前缘及第二前缘的远端,其中所述第一前缘经设定大小且经塑形以接纳于导电连接器的凹部内且所述第二前缘经配置以邻接所述导电连接器的近端以形成榫舌嵌入凹槽密封件。5.根据权利要求1所述的静电放电缓解装置,其中所述轴环的内径等于所述轴环所耦合的导电管道分段的内径。6.根据权利要求3至5中任一权利要求所述的静电放电缓解装置,其中所述轴环包括导电聚合物。7.根据权利要求3至5中任一权利要求所述的静电放电缓解装置,其中所述轴环包括导电填充型含氟聚合物。8.根据权利要求7所述的静电放电缓解装置,其中所述导电填充型含氟聚合物包括填充有碳材料的全氟烷氧基烷烃或聚三氟氯乙烯。9.根据权利要求7所述的静电放电缓解装置,其中所述轴环包括填充有碳纤维的全氟烷氧基烷烃。10.一种流...

【专利技术属性】
技术研发人员:J
申请(专利权)人:恩特格里斯公司
类型:发明
国别省市:

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