一种运动装置及工作平台制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种运动装置及工作平台，涉及集成电路制造技术领域。该运动装置包括座体、垂向运动机构和旋转运动机构，垂向运动机构设置于座体内，且能够沿座体的高度方向上下运动；旋转运动机构设置于垂向运动机构内，旋转运动机构能够相对垂向运动机构旋转，且能够在垂向运动机构的带动下沿座体的高度方向上下运动。本实用新型专利技术提供的运动装置，将垂向运动机构设置于座体内，并沿座体的高度方向上下运动，垂向运动机构的垂向行程可根据需求设置，满足了垂向运动的长行程需求。将旋转运动机构设置于垂向运动机构内，使得旋转运动机构不占用运动装置的垂向空间，满足运动装置的扁平化设计。的扁平化设计。的扁平化设计。

【技术实现步骤摘要】
一种运动装置及工作平台


[0001]本技术涉及集成电路制造
，尤其涉及一种运动装置及工作平台。

技术介绍

[0002]在集成电路的制造过程中，需要完成半导体硅片之间的键合，随着对产率要求的不断提高，硅片键合的速度要求也越来越高。
[0003]运动装置是完成硅片键合的核心部件。运动装置包括垂向运动机构和旋转运动机构，现有技术中的垂向运动机构的行程短，使得工作平台与硅片传输系统之间的传输距离受限。如果将垂向运动机构的行程加长，旋转运动机构固定于垂向运动机构上，又增加了运动装置的垂向尺寸，无法满足扁平化设计。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种运动装置及工作平台，该运动装置既能满足垂向运动的长行程需求，又能满足扁平化设计。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种运动装置，其包括座体、垂向运动机构和旋转运动机构，所述垂向运动机构设置于所述座体内，且能够沿所述座体的高度方向上下运动；所述旋转运动机构设置于所述垂向运动机构内，所述旋转运动机构能够相对所述垂向运动机构旋转，且能够在所述垂向运动机构的带动下沿所述座体的高度方向上下运动。
[0007]可选地，所述垂向运动机构包括垂向支撑座和垂向驱动组件，所述垂向驱动组件包括第一电机动子和第一电机定子，所述第一电机定子与所述座体的内壁固定连接，所述第一电机动子与所述垂向支撑座的外壁固定连接，以驱动所述垂向支撑座相对所述座体上下运动。
[0008]可选地，所述垂向支撑座的外壁和所述座体的内壁二者中的一个沿所述垂向运动机构的运动方向设置有滑块，另一个设置有滑轨，所述滑块与所述滑轨配合。
[0009]可选地，所述垂向支撑座的外壁和所述座体的内壁之间设置有气浮导轨，用于为所述垂向支撑座的垂向运动提供导向。
[0010]可选地，所述运动装置还包括重力补偿机构，所述重力补偿机构设置于所述旋转运动机构的下方，用于对所述旋转运动机构进行重力补偿。
[0011]可选地，所述重力补偿机构包括磁浮重力补偿、气浮重力补偿或弹性重力补偿。
[0012]可选地，所述重力补偿机构设置有多个，多个所述重力补偿机构间隔均布于所述旋转运动机构的下方。
[0013]可选地，所述垂向支撑座包括第一容纳腔和第二容纳腔，所述第一容纳腔和所述第二容纳腔相互远离的一端均设置为开口，所述旋转运动机构设置于所述第一容纳腔内，所述旋转运动机构能够相对所述第一容纳腔旋转；所述重力补偿机构设置于所述第二容纳腔内，所述重力补偿机构一端与所述垂向支撑座固定连接，另一端与所述座体的底部固定
连接。
[0014]可选地，所述运动装置还包括第一测量件和第二测量件，所述第一测量件用于测量所述旋转运动机构的旋转角度；所述第二测量件设置于所述座体的内壁，用于测量所述垂向运动机构的升降高度。
[0015]一种工作平台，其包括托盘和以上任一项所述的运动装置，所述托盘固定于所述旋转运动机构的上方，用于承载物料。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]本技术提供的运动装置，将垂向运动机构设置于座体内，并沿座体的高度方向上下运动，垂向运动机构的垂向行程可根据需求设置，满足了垂向运动的长行程需求。将旋转运动机构设置于垂向运动机构内，使得旋转运动机构不占用运动装置的垂向空间，满足运动装置的扁平化设计。
[0018]本技术提供的运动装置，通过滑轨和滑块配合或通过气浮导轨为垂向运动机构的垂向运动提供导向，可解决现有技术中运动装置运动精度偏低的问题。
[0019]本技术提供的工作平台，应用上述的运动装置，在交接物料的过程中，工作平台占用空间小，且能够在有限的空间内实现长距离的传输，提高了传输效率。
附图说明
[0020]图1是本技术实施例二提供的运动装置的结构示意图；
[0021]图2是本技术实施例二提供的运动装置的剖视图；
[0022]图3是本技术实施例二提供的运动装置的俯视图；
[0023]图4是本技术实施例三提供的运动装置的结构示意图；
[0024]图5是本技术实施例三提供的运动装置的俯视图。
[0025]图中：
[0026]1、座体；2、垂向运动机构；3、旋转运动机构；4、重力补偿机构；5、第一测量件；
[0027]21、垂向支撑座；22、第一电机动子；23、第一电机定子；24、滑块；25、滑轨；31、底座；32、上止推板；33、下止推板；34、气浮轴；35、气浮套；36、第二电机动子；37、第二电机定子；
[0028]211、第一容纳腔；212、第二容纳腔。
具体实施方式
[0029]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0030]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通
过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0032]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0033]实施例一
[0034]本实施例提供了一种工作平台，包括托盘和运动装置，运动装置包括垂向运动机构和旋转运动机构，托盘固定于旋转运动机构的上方，用于承载物料。旋转运动机构固定于垂向运动机构，垂向运动机构能够带动物料沿垂向运动，旋转运动机构能够通过托盘带动物料旋转。在本实施例中，工作平台用于完成半导体硅片之间的键合，半导体硅片之间的键合系统包括机架、工作平台和片状体交接装置。工作平台可动地连接于机架上，片状体交接装置包括上片手和下片手，工作平台设置在上片手和下片手之间，工作平台能够将完成键合的半导体硅片传递至下片手所在位置，并能够上升至上片手所在位置接收待键合的半导体硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动装置，其特征在于，包括座体(1)、垂向运动机构(2)和旋转运动机构(3)，所述垂向运动机构(2)设置于所述座体(1)内，且能够沿所述座体(1)的高度方向上下运动；所述旋转运动机构(3)设置于所述垂向运动机构(2)内，所述旋转运动机构(3)能够相对所述垂向运动机构(2)旋转，且能够在所述垂向运动机构(2)的带动下沿所述座体(1)的高度方向上下运动。2.根据权利要求1所述的运动装置，其特征在于，所述垂向运动机构(2)包括垂向支撑座(21)和垂向驱动组件，所述垂向驱动组件包括第一电机动子(22)和第一电机定子(23)，所述第一电机定子(23)与所述座体(1)的内壁固定连接，所述第一电机动子(22)与所述垂向支撑座(21)的外壁固定连接，以驱动所述垂向支撑座(21)相对所述座体(1)上下运动。3.根据权利要求2所述的运动装置，其特征在于，所述垂向支撑座(21)的外壁和所述座体(1)的内壁二者中的一个沿所述垂向运动机构(2)的运动方向设置有滑块(24)，另一个设置有滑轨(25)，所述滑块(24)与所述滑轨(25)配合。4.根据权利要求2所述的运动装置，其特征在于，所述垂向支撑座(21)的外壁和所述座体(1)的内壁之间设置有气浮导轨，用于为所述垂向支撑座(21)的垂向运动提供导向。5.根据权利要求2所述的运动装置，其特征在于，所述运动装置还包括重力补偿机构(4)，所述重力补偿机构(4)设置于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈啸虎，江旭初，吴火亮，袁嘉欣，唐艳文，董亚聪，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：