一种光栅尺安装结构及气浮台制造技术

本技术涉及集成电路制备技术领域，具体地，涉及一种光栅尺安装结构及气浮台，包括底座、X轴气浮横梁、X轴导向结构，所述X轴气浮横梁分别安装在底座两端的凸起部间，所述X轴导向结构与所述X轴气浮横梁间安装有X轴驱动装置；还包括光栅尺安装结构，所述X轴导向结构内侧壁上还设有光栅尺读头。与现有技术相比，本申请提出的技术方案具有如下的有益效果：本技术提供的光栅尺安装结构能够使得光栅尺在检测过程中与检测末端在高度上的距离尽量重合，降低了检测过程中的误差，同时光栅尺竖直安装，可以避免在使用过程中光栅尺表面的积灰问题，既降低了测量的阿贝误差，又同时兼顾了高模态的结构特性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路制备，具体地，涉及一种光栅尺安装结构及气浮台。

技术介绍

1、在半导体晶圆精密运动设备中，待检测的晶圆吸附在晶圆吸盘上，由气浮台承载晶圆吸盘实时运动。气浮台一般包括x轴气浮台和xy轴气浮台两种，两种气浮台包括主体基座，还包括设置在主体基座长度方向的x轴横梁和套接在x向横梁外的x轴导向结构，xy轴气浮台在x轴气浮台的基础上还包括了两个y轴导向机构，以实现y向运动。

2、通常晶圆位置的检测，是依靠高精度的光栅尺来实现，因此选择合适的光栅尺的安装位置和安装方式就成了影响精密运动设备性能指标的重要内容。传统的x轴光栅尺安装方式是将光栅尺直接平贴在x轴横梁上，这种安装形式与晶圆距离远，一是会带来较大的测量阿贝误差，二也会因尺带平放而容易在表面产生积灰，需要经常进行光栅尺表面清洁的维护。

3、基于此，亟需一种光栅尺安装结构及气浮台，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于解决现有技术的不足，提供一种光栅尺安装结构及气浮台，使得光栅尺在安装位置上尽量靠近被检测物(本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光栅尺安装结构，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于所述连接件(7)包括第一连接部(71)和第二连接部(72)，所述第一连接部(71)一端与所述X轴气浮横梁(2)固定连接，另一端与第二连接部(72)固定连接，所述第二连接部(72)与所述避让空间配合，所述光栅尺(9)与所述第二连接部(72)外侧固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于所述第一连接部(71)上设有减重孔(711)。

4.一种光栅尺安装结构，其特征在于，包括：

5.根据权利要求4所述的一种光栅尺安装结构，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种光栅尺安装结构，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于所述连接件(7)包括第一连接部(71)和第二连接部(72)，所述第一连接部(71)一端与所述x轴气浮横梁(2)固定连接，另一端与第二连接部(72)固定连接，所述第二连接部(72)与所述避让空间配合，所述光栅尺(9)与所述第二连接部(72)外侧固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于所述第一连接部(71)上设有减重孔(711)。

4.一种光栅尺安装结构，其特征在于，包括：

5.根据权利要求4所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于，还包括加强梁(12)，所述加强梁(12)的两端分别固定在两所述支架(11)靠近所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁冰，袁嘉欣，唐艳文，谢怡仁，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：