【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路制备，具体地，涉及一种光栅尺安装结构及气浮台。
技术介绍
1、在半导体晶圆精密运动设备中，待检测的晶圆吸附在晶圆吸盘上，由气浮台承载晶圆吸盘实时运动。气浮台一般包括x轴气浮台和xy轴气浮台两种，两种气浮台包括主体基座，还包括设置在主体基座长度方向的x轴横梁和套接在x向横梁外的x轴导向结构，xy轴气浮台在x轴气浮台的基础上还包括了两个y轴导向机构，以实现y向运动。
2、通常晶圆位置的检测，是依靠高精度的光栅尺来实现，因此选择合适的光栅尺的安装位置和安装方式就成了影响精密运动设备性能指标的重要内容。传统的x轴光栅尺安装方式是将光栅尺直接平贴在x轴横梁上，这种安装形式与晶圆距离远，一是会带来较大的测量阿贝误差，二也会因尺带平放而容易在表面产生积灰，需要经常进行光栅尺表面清洁的维护。
3、基于此，亟需一种光栅尺安装结构及气浮台，以解决上述存在的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于解决现有技术的不足，提供一种光栅尺安装结构及气浮台，使得光栅尺在安装位置上尽量靠近被检测物(晶圆)从而减小测量阿贝误差，且光栅尺为竖直安装，避免了光栅尺平放安装易积灰需要经常清洁维护的缺点。
2、为实现上述目的，本技术提供一种光栅尺安装结构，包括：安装板，所述安装板的第一端部底部形成避让空间；连接件，所述连接件一端与x轴气浮横梁固定连接，所述连接件另一端靠近所述第一端部并与所述第一端部配合，且用于安装光栅尺。
3、优选的：所述连接件包括第一连接
4、优选的：所述第一连接部上设有减重孔。
5、本技术还提供第二种光栅尺安装结构，包括：第一安装面，所述第一安装面平行于x轴气浮横梁，光栅尺安装在所述第一安装面上；支架，两所述支架分别固定在所述第一安装面沿长度方向的两端，且所述支架远离所述第一安装面的一端与所述x轴气浮横梁连接。
6、优选的：还包括加强梁，所述加强梁的两端分别固定在两所述支架靠近所述x轴气浮横梁的一端。
7、优选的：所述加强梁底面固定在所述x轴气浮横梁上。
8、本技术还提供一种气浮台，包括底座、x轴气浮横梁、x轴导向结构，所述底座两端设有凸起部，所述x轴气浮横梁沿长度方向的两端分别安装在两所述凸起部间，所述x轴导向结构呈口字型，套接在所述x轴气浮横梁上，与所述x轴气浮横梁滑动连接，且所述x轴导向结构与所述x轴气浮横梁间安装有x轴驱动装置；还包括第一种光栅尺安装结构，所述安装板设在所述x轴导向结构顶端，所述连接件一端安装在所述x轴气浮横梁上，另一端安装有光栅尺，且与所述第一端部配合；所述x轴导向结构内侧壁上还设有光栅尺读头，所述光栅尺读头与所述连接件上的光栅尺配合。
9、本技术还提供第二种气浮台，包括底座、x轴气浮横梁、x轴导向结构，所述底座两端设有凸起部，所述x轴气浮横梁沿长度方向的两端分别安装在两所述凸起部间，所述x轴导向结构呈口字型，套接在所述x轴气浮横梁上，与所述x轴气浮横梁滑动连接，且所述x轴导向结构与所述x轴气浮横梁间安装有x轴驱动装置；还包括第二种光栅尺安装结构，两所述支架远离所述第一安装面的一端与所述x轴气浮横梁连接，且所述x轴导向结构在两所述支架间运动；所述第一安装面上安装有光栅尺，所述x轴导向结构外侧壁上安装有与所述光栅尺相匹配的光栅尺读头。
10、优选的：还包括y轴导向机构，y轴驱动结构；所述y轴导向机构沿y向分别设置在两所述凸起部内侧，所述x轴气浮横梁的x向两端分别安装在所述y轴导向机构上，所述y轴驱动结构安装在所述x轴气浮横梁与所述凸起部间，且所述x轴气浮横梁沿y向滑动。
11、优选的：所述凸起部内侧沿y向安装有y轴光栅尺，所述x轴气浮横梁上安装有y轴光栅尺读头，所述y轴光栅尺与所述y轴光栅尺读头相匹配。
12、与现有技术相比，本申请提出的技术方案具有如下的有益效果：本技术提供的光栅尺安装结构及气浮台能够使得光栅尺在检测过程中与检测末端在高度上的距离尽量重合，降低了检测过程中的误差，同时光栅尺竖直安装，可以避免在使用过程中光栅尺表面的积灰问题，既降低了测量的阿贝误差，又同时兼顾了高模态的结构特性。
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1.一种光栅尺安装结构，其特征在于，包括
2.根据权利要求1所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于所述连接件(7)包括第一连接部(71)和第二连接部(72)，所述第一连接部(71)一端与所述X轴气浮横梁(2)固定连接，另一端与第二连接部(72)固定连接，所述第二连接部(72)与所述避让空间配合，所述光栅尺(9)与所述第二连接部(72)外侧固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于所述第一连接部(71)上设有减重孔(711)。
4.一种光栅尺安装结构，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于，还包括加强梁(12)，所述加强梁(12)的两端分别固定在两所述支架(11)靠近所述X轴气浮横梁(2)的一端。
6.根据权利要求5所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于，所述加强梁(12)底面固定在所述X轴气浮横梁(2)上。
7.一种气浮台，其特征在于，包括底座(1)、X轴气浮横梁(2)、X轴导向结构(3)，
8.一种气浮台，其特征在于，包括底座(1)、X轴气
9.根据权利要求7或8所述的一种气浮台，其特征在于，还包括Y轴导向机构(5)和Y轴驱动结构(6)；
10.根据权利要求9所述的一种气浮台，其特征在于，所述凸起部内侧沿Y向安装有Y轴光栅尺(13)，所述X轴气浮横梁(2)上安装有Y轴光栅尺读头(21)，所述Y轴光栅尺(13)与所述Y轴光栅尺读头(21)相匹配。
...【技术特征摘要】
1.一种光栅尺安装结构，其特征在于，包括
2.根据权利要求1所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于所述连接件(7)包括第一连接部(71)和第二连接部(72)，所述第一连接部(71)一端与所述x轴气浮横梁(2)固定连接，另一端与第二连接部(72)固定连接，所述第二连接部(72)与所述避让空间配合，所述光栅尺(9)与所述第二连接部(72)外侧固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于所述第一连接部(71)上设有减重孔(711)。
4.一种光栅尺安装结构，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的一种光栅尺安装结构，其特征在于，还包括加强梁(12)，所述加强梁(12)的两端分别固定在两所述支架(11)靠近所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁冰，袁嘉欣，唐艳文，谢怡仁，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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