本实用新型专利技术涉及芯片测试技术领域,公开了一种用于晶圆芯片测试的tr im熔丝装置，包括探针卡、转接板、转接头和转接座，探针卡上焊接有多个熔丝，转接头焊接在探针卡上，熔丝分别通过导线接到转接头上，转接座焊接在转接板上，转接头插入到转接座中；转接板上设有多个熔丝单元，熔丝单元包括隔离继电器和电容，电容一端通过导线接到转接座上，电容另一端与隔离继电器的常开触点A电连接，隔离继电器的常开触点B通过导线接到转接座上，与熔丝电连接，隔离继电器的控制线圈的两端分别接到转接座上，由于隔离继电器与探针卡分体设置，在使用时隔离继电器不会占用探针卡上的其余测试通道的面积，而且不会有电气干扰，确保测试稳定。确保测试稳定。确保测试稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆芯片测试的trim熔丝装置
[0001]本技术涉及芯片测试
，具体涉及一种用于晶圆芯片测试的trim熔丝装置。
技术介绍
[0002]在晶圆芯片测试过程中，常常需要trim芯片熔丝来改变芯片的电气特性，进而满足相应的芯片功能需求。目前，常通过如图1所示的trim熔丝结构探针卡来实现熔丝，然而图1中的trim熔丝结构探针卡在使用时存在以下缺陷：首先探针卡上集成了若干隔离继电器，隔离继电器的数目根据实际测试需求而定，导致每个trim熔丝结构探针卡只能进行某一种芯片的熔丝测试，兼容性差；其次隔离继电器的占用面积大，会挤压探针卡上的其它测试通道，因此在实际使用时不得不制造多层板来缓解测试通道缺少的压力，而这种测试方式会增加测试成本；另外隔离继电器的控制线路与探针卡上的其它测试通道距离过近或者存在线路交叉，存在不可预期的电气干扰；最后当探针卡上集成很多隔离继电器时识别度较低，如果出现继电器失灵，不能及时高效的排除异常，增加维护时间和成本。
技术实现思路
[0003]鉴于
技术介绍
的不足，本技术是提供了一种用于晶圆芯片测试的trim熔丝装置，来解决现有trim熔丝结构探针卡在实际使用时存在的问题。
[0004]为解决以上技术问题，本技术提供了如下技术方案：一种用于晶圆芯片测试的trim熔丝装置，包括探针卡、转接板、转接头和转接座，探针卡上焊接有多个熔丝，转接头焊接在探针卡上，熔丝分别通过导线接到转接头上，转接座焊接在转接板上，转接头插入到转接座中；转接板上设有多个熔丝单元，熔丝单元包括隔离继电器和电容，电容一端通过导线接到转接座上，电容另一端与隔离继电器的常开触点A电连接，隔离继电器的常开触点B通过导线接到转接座上，与熔丝电连接，隔离继电器的常开触点A和常开触点B为一对常开触点，隔离继电器的控制线圈的两端分别接到转接座上。
[0005]作为进一步的技术方案，探针卡上的熔丝的数量和转接板上的熔丝单元的数量相同，每个熔丝单元的隔离继电器的常开触点A与一个熔丝电连接。
[0006]作为进一步的技术方案，转接板上设有十二个熔丝单元。
[0007]作为进一步的技术方案，转接头是包括四十八pin的羊角接头。
[0008]作为进一步的技术方案，转接座焊接在转接板的左端上，转接板的左端是等腰梯形形状。
[0009]本技术与现有技术相比所具有的有益效果是：首先所有的隔离继电器设置在转接板上，然后通过转接头和转接座与熔丝电连接，与熔丝是分体设置的，不仅不占用探针卡上的其它测试通道的面积，而且不会存在电气干扰，另外在隔离继电器出现故障时，直接把转接板从探针卡上拔下即可，方便检修，不用担心线路复杂的问题。
附图说明
[0010]本技术有如下附图：
[0011]图1为现有探针卡的示意图；
[0012]图2为本技术的探针卡的俯视图；
[0013]图3为本技术的转接板的俯视图；
[0014]图4为转接座的左视图；
[0015]图5为转接板与探针卡的连接示意图；
[0016]图6为一组熔丝单元的电路连接示意图。
具体实施方式
[0017]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0018]如图2
‑
3所示，一种用于晶圆芯片测试的trim熔丝装置，包括探针卡1、转接板3、转接头2和转接座3。
[0019]参照图2，探针卡1上焊接有多个熔丝，本实施例中，熔丝焊接在图2中的圆形区域中，转接头2焊接在探针卡1上，转接头2上设有继电器控制端子20、电源端子21和熔丝端子22，继电器控制端子 20、电源端子21和熔丝端子22在转接头2上的分布示意图如图2所示，熔丝分别通过导线与熔丝端子22电连接。
[0020]参照图3
‑
6，转接座4焊接在转接板的左端，转接座4内设有熔丝插口40、继电器控制插口41和电源插口42，熔丝插口40、继电器控制插口41和电源插口42在转接座4上的分布示意图如图4所示，当转接头2插入到转接座4后，熔丝插口40插入到熔丝端子22上，继电器控制插口41插入到继电器控制端子20上，电源插口42插入到电源端子21上；转接板3上设有多个熔丝单元，熔丝单元包括隔离继电器6和电容5即电容C1，电容C1一端通过导线接到转接座4 上的电源插口42上，电容C1另一端与隔离继电器6的常开触点A电连接，隔离继电器6的常开触点B通过导线接到转接座4上的熔丝插口40上，与转接头2上的熔丝端子22电连接，隔离继电器6的常开触点A和常开触点B为一对常开触点，隔离继电器6的控制线圈KM1 的两端分别接到转接座4上的继电器控制插口41上。
[0021]在实际使用时，在转接板4插入到探针卡1上口，电源通过电源端子21和电源插口42向每个熔丝单元的电容C1充电，当需要进行芯片熔丝时，通过继电器控制端子20和继电器控制插口41先对应的隔离继电器6的控制线圈KM1输入驱动信号，使隔离继电器6的常开触点闭合，即电容C1开始向对应的熔丝放电，当芯片熔丝结束后，断开相应的隔离继电器6。
[0022]可选地，在某种实施方式中，探针卡1上的熔丝的数量和转接板 4上的熔丝单元的数量相同，每个熔丝单元的隔离继电器6的常开触点A与一个熔丝电连接。
[0023]可选地，在某种实施方式中，转接板4上设有十二个熔丝单元，十二个熔丝单元在转接板4上分为两排，没排各有六个熔丝单元。
[0024]可选地，在某种实施方式中，转接头2是包括四十八pin的羊角接头。
[0025]可选地，在某种实施方式中，转接板4的左端是等腰梯形形状。通过将转接板4的左端设置为等腰梯形形状，在将转接板4插入到探针卡1或者将转接板4从探针卡1上拔出时，只需握住转接板4的左端的两个侧腰即可，方便插拔。
[0026]综上，本技术的所有隔离继电器6设置在转接板3上，然后通过转接头2和转接座4与熔丝电连接，与熔丝是分体设置的，不仅不占用探针卡1上的其它测试通道的面积，而且不会存在电气干扰，另外在隔离继电器6出现故障时，直接把转接板4从探针卡1上拔下即可，方便检修，不用担心线路复杂的问题。
[0027]上述依据本技术为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆芯片测试的trim熔丝装置，包括探针卡，所述探针卡上焊接有多个熔丝，其特征在于：还包括转接板、转接头和转接座；所述转接头焊接在所述探针卡上，所述熔丝分别通过导线接到所述转接头上，所述转接座焊接在所述转接板上，所述转接头插入到所述转接座中；所述转接板上设有多个熔丝单元，所述熔丝单元包括隔离继电器和电容，所述电容一端通过导线接到所述转接座上，所述电容另一端与隔离继电器的常开触点A电连接，所述隔离继电器的常开触点B通过导线接到所述转接座上，与所述熔丝电连接，所述隔离继电器的常开触点A和常开触点B为一对常开触点，所述隔离继电器的控制线圈的两端分别接到所述转接座...
【专利技术属性】
技术研发人员：周国成，
申请(专利权)人：无锡矽鹏半导体检测有限公司，
类型：新型
国别省市：
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