玻璃粉滚磨装置及采用该装置的混合加工设备制造方法及图纸

技术编号:30077307 阅读:16 留言:0更新日期:2021-09-18 08:33
本发明专利技术公开了一种玻璃粉滚磨装置,涉及半导体器件加工领域技术领域。本发明专利技术中:包括动力装置、支撑架以及混合玻璃粉用的陶瓷罐,支撑架上侧转动配置有一组转轴杆,动力装置通过传动结构与转轴杆连接。一组转轴杆的内侧相对端共同固定连接有一固定卡套结构,固定卡套结构内设有开放式的卡套内槽,陶瓷罐放置在固定卡套结构的卡套内槽中。固定卡套结构上活动安装有位于卡套内槽开口侧的活动卡套结构。本发明专利技术避免了陶瓷罐与设备的其他部位发生摩擦,可实现基本无磨损,大幅度增加了陶瓷罐以及设备的使用寿命,实现了静音作业,改良了作业环境。改良了作业环境。

【技术实现步骤摘要】
玻璃粉滚磨装置及采用该装置的混合加工设备


[0001]本专利技术属于半导体器件加工领域
,特别是涉及一种玻璃粉滚磨装置,一种混合加工设备,用于玻璃粉和光刻胶的混合加工。

技术介绍

[0002]二极管芯片加工过程中,需要用到玻璃粉将PN结钝化,玻璃需要用到光刻胶和玻璃粉进行长时间的混合后才能将其均匀覆盖到晶圆的表面,这需要用到滚磨装置,即将玻璃粉和光刻胶混合装到陶瓷管中,盖上盖子,再将陶瓷管放到滚磨装置中进行滚磨。
[0003]现有的技术中,将电动机通过皮带带动主动轮,再将圆形的陶瓷罐放到主动轮和从动轮之间,当电机开启时,主动轮转动,管体和从动轮一起被带动而转动。这样可以实现罐体的滚动,但是由于主动轮和从动轮都是一根圆形的棒子,陶瓷罐在滚动的同时位置无法固定,容易掉落。一般的处理方式是,将两头用固定的金属片固定,但是由于长期的摩擦,罐体、金属片都会受到磨损,最终影响使用寿命,另外在实际作业过程中的噪音很大。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种玻璃粉滚磨装置,避免了陶瓷罐与设备的其他部位发生摩擦,可实现基本无磨损,大幅度增加了陶瓷罐以及设备的使用寿命,实现了静音作业,改良了作业环境。
[0005]为解决上述技术问题,本专利技术是通过以下技术方案实现的:
[0006]本专利技术为一种玻璃粉滚磨装置,包括动力装置、支撑架以及混合玻璃粉用的陶瓷罐,支撑架上侧转动配置有一组转轴杆,动力装置通过传动结构与转轴杆连接。一组转轴杆的内侧相对端共同固定连接有一固定卡套结构,固定卡套结构内设有开放式的卡套内槽,陶瓷罐放置在固定卡套结构的卡套内槽中。固定卡套结构上活动安装有位于卡套内槽开口侧的活动卡套结构。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案,转轴杆采用金属棒结构,金属棒的一端通过轴承安装在支撑架的上侧端。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案,动力装置采用电机装置,电机装置的输出轴上配置有主动轮,转轴杆上配置有从动轮,从动轮与主动轮之间通过传导皮带驱动连接。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案,活动卡套结构与固定卡套结构之间通过外部的卡扣结构加固配合。
[0010]作为本专利技术的一种优选技术方案,陶瓷罐的外部形状为圆柱形、长方体、球体或任意一种多面体形状;固定卡套结构内的卡套内槽的槽体形状与陶瓷罐的外部形状相配合。
[0011]作为本专利技术的一种优选技术方案,活动卡套结构设有与固定卡套结构内的卡套内槽开口侧位置相配合的限位加固结构。
[0012]作为本专利技术的一种优选技术方案,固定卡套结构内的卡套内槽表层、活动卡套结构的限位加固结构表层都设置有一层防滑垫。防滑垫采用橡胶垫,卡套内槽表层与卡套内
槽的橡胶垫之间、限位加固结构表层与限位加固结构上的橡胶垫之间通过粘合剂粘接。
[0013]作为本专利技术的一种优选技术方案,固定卡套结构、活动卡套结构组合体的截面形状为圆形结构或方形结构
[0014]作为本专利技术的一种优选技术方案,卡套内槽内设置有定位结构,定位结构上设置有用于卡合陶瓷罐的放置口。
[0015]一种半导体材料用的玻璃粉和光刻胶混合加工设备,可采用上述
技术实现思路
中的玻璃粉滚磨装置中的结构配置。
[0016]本专利技术具有以下有益效果:
[0017]1、本专利技术通过简单设计的固定卡套结构,在固定卡套结构两侧设置金属棒及支撑架,通过电机装置、皮带和齿轮进行简单有效的驱动转动动作;
[0018]2、本专利技术通过将陶瓷罐放入固定卡套结构中,再盖上另外一半的活动卡套结构,用卡扣扣上即可,操作简单便捷。
[0019]3、本专利技术避免了陶瓷罐与设备的其他部位发生摩擦,可实现基本无磨损,大幅度增加了陶瓷罐以及设备的使用寿命。
[0020]4、本专利技术在运作过程中,陶瓷罐与设备无相对运动,可以实现静音作业,改良了作业环境。
[0021]当然,实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术中整体结构配置的结构示意图;
[0024]图2为本专利技术中固定卡套结构、活动卡套结构的配合结构示意图;
[0025]图3为本专利技术中固定卡套结构、活动卡套结构的另一种配合结构示意图;
[0026]附图中,各标号所代表的部件列表如下:
[0027]1‑
支撑架;2

转轴杆;3

固定卡套结构;4

动力装置;5

活动卡套结构;6

卡套内槽;7

限位加固结构;8

防滑垫;9

定位结构;10

放置口。
具体实施方式
[0028]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0029]实施例一
[0030]本专利技术为解决使用寿命不足,噪音大的缺点,可采用如下实施方案:
[0031]㈠电机装置带动主动轮,主动轮通过皮带或链条带动金属棒上的从动轮转动。
[0032]㈡金属棒中间为一个大的固定卡套结构3,另外还有一个活动卡套结构,活动卡套
结构5与固定卡套结构3相互配合,固定卡套结构3可以为截面为优弧的圆形结构,活动卡套结构5可以为截面为劣弧的圆形结构。
[0033]㈢使用时,将配置好的陶瓷罐放入圆形的固定卡套结构3中,再将活动卡套结构5盖在上面,并在两侧用卡扣扣好。
[0034]㈣启动电机装置,陶瓷罐即可静音旋转,内部玻璃粉可实现滚磨动作。
[0035]实施例二
[0036]在本专利技术的结构配置中:
[0037]陶瓷罐的外部形状为圆柱形、长方体、球体或任意一种多面体形状。与陶瓷罐的外部形状相配合,固定卡套结构3内的卡套内槽6的槽体形状也同样为圆柱形、长方体、球体或任意一种多面体形状。
[0038]活动卡套结构5设有限位加固结构7,限位加固结构7与固定卡套结构3内的卡套内槽6开口侧位置相配合。
[0039]卡套内槽6表层、限位加固结构7表层都设置有一层防滑垫8,防滑垫8可以采用橡胶垫,橡胶垫与卡套内槽6表层、限位加固结构7表层之间采用粘合剂粘接。
[0040]卡套内槽6内设置有定位结构9,定位结构9上设置有用于卡合陶瓷罐的放置口10,可以将陶瓷罐卡合放置在放置口10内,上方的活动卡套结构5可以对放置好本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种玻璃粉滚磨装置,包括、其特征在于:支撑架(1),所述支撑架(1)上侧转动配置有一组转轴杆(2);动力装置(4),所述动力装置(4)通过传动结构与转轴杆(2)连接;其中,一组转轴杆(2)的内侧相对端共同固定连接有一固定卡套结构(3),所述固定卡套结构(3)内设有开放式的卡套内槽(6),所述固定卡套结构(3)上活动安装有位于卡套内槽(6)开口侧的活动卡套结构(5);以及混合玻璃粉用的陶瓷罐,所述陶瓷罐放置在固定卡套结构(3)的卡套内槽(6)中。2.根据权利要求1所述的一种玻璃粉滚磨装置,其特征在于:所述转轴杆(2)采用金属棒结构,金属棒的一端通过轴承安装在支撑架(1)的上侧端。3.根据权利要求1所述的一种玻璃粉滚磨装置,其特征在于:所述动力装置(4)采用电机装置,电机装置的输出轴上配置有主动轮,转轴杆(2)上配置有从动轮,从动轮与主动轮之间通过传导皮带驱动连接。4.根据权利要求1所述的一种玻璃粉滚磨装置,其特征在于:所述活动卡套结构(5)与固定卡套结构(3)之间通过外部的卡扣结构加固配合。5.根据权利要求1所述的一种玻璃粉滚磨装置,其特征在于:陶瓷罐的外部形状为圆柱形、长方体、球体或任意一种多面...

【专利技术属性】
技术研发人员:汪良恩李建利汪曦凌
申请(专利权)人:安徽芯旭半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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