一种简易晶圆脱水机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种简易晶圆脱水机，包括带有脱水筒的脱水机，所述脱水筒内对称固定设置有多个用于放置花篮的脱水篮，所述花篮用于承载晶圆。本实用新型专利技术通过在普通的带有脱水功能的脱水机的脱水筒内设置脱水篮，将盛装晶圆的花篮放入脱水篮内，调整几个脱水篮之间的配重，即可实现对晶圆的脱水，其制作成本低，使用成本低，脱水效果好，使用方便，操作简单。操作简单。操作简单。

【技术实现步骤摘要】
一种简易晶圆脱水机


[0001]本技术涉及家纺设计制造
，具体涉及一种简易晶圆脱水机。

技术介绍

[0002]目前的半导体晶圆脱水一般都采用酒精脱水或者专用的晶圆脱水机来实现，前者需要酒精浸泡，废液涉及排放等环保问题且常伴随水渍残留，后者专用设备采购成本较高，目前市场上基本是10万起步。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种简易晶圆脱水机，经过简单的改造后即可达到为晶圆脱水的目的，节省成本。
[0004]本技术的技术方案：
[0005]一种简易晶圆脱水机，包括带有脱水筒的脱水机，所述脱水筒内对称固定设置有多个用于放置花篮的脱水篮，所述花篮用于承载晶圆。
[0006]进一步地，所述脱水篮的数量为2个、3个、4个、5个或6个。
[0007]进一步地，所述多个花篮以脱水筒的轴心为中心对称设置。
[0008]进一步地，所述脱水篮为不锈钢板制成的方形脱水篮，所述脱水篮的侧板和底板上设有脱水孔。
[0009]进一步地，所述脱水机为家用波轮洗衣机或波轮脱水机。
[0010]进一步地，所述脱水篮焊接固定在所述脱水筒的内壁上，所述脱水篮设置于脱水筒内的筒底上。
[0011]进一步地，所述花篮嵌入式安放在所述脱水篮内，所述花篮的开口指向脱水筒的轴心。
[0012]进一步地，所述脱水篮与脱水筒的内壁的焊接处涂布有防锈涂层。
[0013]进一步地，所述脱水篮的轴线向脱水筒的轴线偏转0-5
°
，所述脱水篮的开口斜向内指向脱水筒的轴线方向。
[0014]进一步地，所述脱水机的外部设有配重台和配重块，所述配重块为片状。
[0015]与现有技术相比，本技术通过在普通的带有脱水功能的脱水机的脱水筒内设置脱水篮，将盛装晶圆的花篮放入脱水篮内，调整几个脱水篮之间的配重，即可实现对晶圆的脱水，其制作成本低，使用成本低，脱水效果好，使用方便，操作简单。
附图说明
[0016]图1是本技术结构俯视示意图；
[0017]图2是本技术脱水篮俯视结构示意图；
[0018]图3是本技术配重块结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。
[0020]实施例1：
[0021]一种简易晶圆脱水机，包括带有脱水筒11的脱水机1，所述脱水筒11内对称固定设置有多个用于放置花篮3的脱水篮2，所述花篮3用于承载晶圆，本实施例在脱水筒中设置四个脱水篮（可以根据脱水筒的大小，中心对称设置2个、3个、5个或6个，甚至更多个脱水篮，考虑到花篮和晶圆的大小一般较为固定，脱水筒越大的脱水机和洗衣机的价格更高，综合考虑以2-6个为宜，两个脱水篮按左右对称设置，三个脱水篮按正三角形的三个顶点对称设置，四个脱水篮按上下左右对称设置，五个脱水篮按正五边形的五个顶点对称设置，六个脱水篮按正六边形的六个顶点对称设置），所述4个花篮以脱水筒的轴心为中心对称设置，即“十”字型设置。
[0022]进一步地，所述脱水篮2为不锈钢板制成的方形脱水篮，所述脱水篮的侧板和底板上设有脱水孔21。不锈钢板在有水的条件下使用，不会锈蚀，保证使用寿命和质量稳定性，脱水孔用于脱水。
[0023]进一步地，所述脱水机1为家用波轮洗衣机或波轮脱水机，此种家用的脱水机或洗衣机的价格较为低廉，使用方法也较为简单，功能较少，脱水效率高。
[0024]进一步地，所述脱水篮2焊接固定在所述脱水筒11的内壁上，所述脱水篮设置于脱水筒11内的筒底上。焊接固定的方式最为牢固。脱水篮设置于脱水筒底部，有效降低重心，提高脱水筒脱水过程中的稳定性。
[0025]进一步地，所述花篮3嵌入式安放在所述脱水篮2内，所述花篮2的开口指向脱水筒的轴心。脱水过程中，晶圆受到花篮向内的向心力，如此设置，花篮给晶圆最好的支撑和保护。
[0026]进一步地，所述脱水篮2与脱水筒11的内壁的焊接处涂布有防锈涂层。焊接点的防锈涂层，防止焊点锈蚀，保证质量的稳定性。
[0027]进一步地，所述脱水篮2的轴线向脱水筒的轴线偏转0-5
°
，所述脱水篮的开口斜向内指向脱水筒的轴线方向。0
°
即脱水篮竖直设置，有极小的偏角，利于脱水篮底部对花篮进行支撑，防止花篮在脱水过程中向外移动。
[0028]进一步地，所述脱水机1的外部设有配重台4和配重块41，所述配重块为片状。片状的配重块适合脱水篮的形状，与脱水篮配合使用更加紧密，防止配重块移动，造成晶圆损坏。片状配重块放置在花篮与脱水篮底板之间，片状也更为稳定。为了便于拿去配重块，片状配重块的中心处可设计便于拿取的圆孔。
[0029]花篮是半导体行业常用的用于承载半导体和晶圆的承载设备，其结构不再赘述。
[0030]与现有技术相比，本技术通过在普通的带有脱水功能的脱水机的脱水筒内设置脱水篮，将盛装晶圆的花篮放入脱水篮内，调整几个脱水篮之间的配重，即可实现对晶圆的脱水，其制作成本低，使用成本低，脱水效果好，使用方便，操作简单。
[0031]以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术的范围内。本技术要求保护范围由所附的权利
要求书及其等同物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种简易晶圆脱水机，其特征在于：包括带有脱水筒的脱水机，所述脱水筒内对称固定设置有多个用于放置花篮的脱水篮，所述花篮用于承载晶圆。2.如权利要求1所述的一种简易晶圆脱水机，其特征在于：所述脱水篮的数量为2个、3个、4个、5个或6个。3.如权利要求2所述的一种简易晶圆脱水机，其特征在于：所述多个花篮以脱水筒的轴心为中心对称设置。4.如权利要求3所述的一种简易晶圆脱水机，其特征在于：所述脱水篮为不锈钢板制成的方形脱水篮，所述脱水篮的侧板和底板上设有脱水孔。5.如权利要求4所述的一种简易晶圆脱水机，其特征在于：所述脱水机为家用波轮洗衣机或波轮脱水机。6.如权利要求5所述的一种简易晶圆脱水机，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪良恩，汪曦凌，李建利，
申请(专利权)人：安徽芯旭半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：