一种晶圆载具的检测工装制造技术

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，具体为一种晶圆载具的检测工装，其能够提高检测精度和检测效率，其包括机架，其特征在于，所述机架包括左支架和右支架，所述左支架与所述右支架一端连接、另一端不连接形成检测通道，所述左支架与所述右支架连接的一端安装有刻度背板，所述刻度背板上设有水平刻度线和垂直刻度线，所述左支架与所述右支架上安装有对称布置的下导轨，所述下导轨上端面安装有上导轨，所述上导轨上设置有支撑板，所述支撑板上安装有销轴，载具两侧通过滚轮支撑于所述下导轨或所述销轴插入所述载具上的销孔内实现所述载具的悬挂。悬挂。悬挂。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆载具的检测工装


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体为一种晶圆载具的检测工装。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，为满足晶圆生产加工的工艺需求，晶圆载具需要满足一定的精度，否则会影响晶圆的成品率；且在晶圆的生产过程中，晶圆载具使用数量很大。
[0003]目前是将晶圆载具放置在检测平台上，通过等高尺或者卡尺等检具检测，间接检测出实际晶圆载具的水平精度以及垂直精度，检测结果不准确，而且效率很低。

技术实现思路

[0004]为了解决现有晶圆载具检测精度差，效率低的问题，本专利技术提供了一种晶圆载具的检测工装，其能够提高检测精度和检测效率。
[0005]其技术方案是这样的：一种晶圆载具的检测工装，其包括机架，其特征在于，所述机架包括左支架和右支架，所述左支架与所述右支架一端连接、另一端不连接形成检测通道，所述左支架与所述右支架连接的一端安装有刻度背板，所述刻度背板上设有水平刻度线和垂直刻度线，所述左支架与所述右支架上安装有对称布置的下导轨，所述下导轨上端面安装有上导轨，所述上导轨上设置有支撑板，所述支撑板上安装有销轴，载具两侧通过滚轮支撑于所述下导轨或所述销轴插入所述载具上的销孔内实现所述载具的悬挂。
[0006]其进一步特征在于，所述左支架和所述右支架之间设置有位于所述载具下方的等高块；所述下导轨与所述左支架、右支架通过腰型孔和固定螺栓配合实现宽度方向可调；所述水平刻度线和所述垂直刻度线均设置有配合的至少两条；一个所述载具对应两个所述支撑板，每个所述支撑板上安装有两个所述销轴。
[0007]采用本专利技术后，载具两侧通过滚轮支撑于下导轨或者销轴插入载具上的小孔内完成悬挂，通过支撑和悬挂对两种方式下载具尺寸的检测，第一个载具靠近刻度背板，通过水平刻度线和垂直刻度线可以方便的确定水平精度以及垂直精度，第二个载具通过与第一个载具贴合的边线情况，可快速判断是否满足水平和垂直设计要求，操作简单方便，提高了检测精度和检测效率。
附图说明
[0008]图1为本专利技术结构主视图；图2为图1中A
‑
A向剖面图；图3为刻度背板正面示意图。
具体实施方式
[0009]见图1至图3所示，一种晶圆载具的检测工装，其包括机架1，机架1包括左支架和2右支架3，左支架2与右支架3一端连接、另一端不连接形成检测通道，左支架2与右支架3连接的一端安装有刻度背板4，刻度背板4上设有水平刻度线5和垂直刻度线6，左支架2与右支架3上安装有对称布置的下导轨7，下导轨7与左支架2、右支架3通过腰型孔和固定螺栓配合实现宽度方向可调，以适应不同宽度载具8的检测要求，同样的，水平刻度线5和垂直刻度线6均设置有配合的至少两条，满足不同宽度的检测要求。
[0010]下导轨7上端面安装有上导轨9，上导轨9上设置有支撑板10，支撑板10可以取下，支撑板10上安装有销轴11，载具8两侧通过滚轮12支撑于下导轨7或者销轴11插入载具8上的销孔13内实现载具8的悬挂。
[0011]为了保证悬挂稳定性，一个载具8对应两个支撑板10，每个支撑板10上安装有两个销轴11。
[0012]检测时，分两种情况进行检测，第一种：先将载具8通过销轴11和销孔13配合悬挂于支撑板10上，支撑板10支撑于上导轨9上，然后进入检测通道，此时滚轮12不起作用，并移动第一个载具与刻度背板4靠紧，通过刻度背板4上的水平刻度线5以及垂直刻度线6检测载具8的水平精度以及垂直精度；同样，第二个载具悬挂后进入检测通道，并靠紧第一个载具，通过两个载具8贴合的边线情况，可快速判断第二个载具适合满足设计要求；第二种：不需要支撑板10，载具8两侧直接通过滚轮12支撑于下导轨上，并移动第一个载具与刻度背板4靠紧，通过刻度背板4上的水平刻度线5以及垂直刻度线6检测载具8的水平精度以及垂直精度；同样，第二个载具悬挂后进入检测通道，并靠紧第一个载具，通过两个载具8贴合的边线情况，可快速判断第二个载具适合满足设计要求。
[0013]左支架2和右支架3之间设置有位于载具8下方的等高块14，用塞尺在等高块14和两个载具8之间进行操作，检测两个载具的水平精度。
[0014]本专利技术可以模拟实际使用工况，同时可以满足晶圆载具在滚轮定位和孔轴定位两种工况下检测精度的优点，使检测结果更加真实有效，解决了现有检测方式不能真实反映实际工况下的精度以及效率低下的问题。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆载具的检测工装，其包括机架，其特征在于，所述机架包括左支架和右支架，所述左支架与所述右支架一端连接、另一端不连接形成检测通道，所述左支架与所述右支架连接的一端安装有刻度背板，所述刻度背板上设有水平刻度线和垂直刻度线，所述左支架与所述右支架上安装有对称布置的下导轨，所述下导轨上端面安装有上导轨，所述上导轨上设置有支撑板，所述支撑板上安装有销轴，载具两侧通过滚轮支撑于所述下导轨或所述销轴插入所述载具上...

【专利技术属性】
技术研发人员：宣荣卫，陈娟，
申请(专利权)人：艾华无锡半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：