一种避免多运动机构碰撞的方法、设备及可读存储介质技术

本发明专利技术涉及ALD设备控制技术领域，具体为一种避免多运动机构碰撞的方法，本该避免多运动机构碰撞的方法在手、自动状态下均能有效提供干涉保护，应用场景更加全面；干涉区的设置只与轴坐标有关，而与自动运行逻辑无关，所以在自动运行逻辑变更时，不影响本发明专利技术提供的干涉保护，并且，由于本发明专利技术提供的相关干涉逻辑固定后，干涉区的设置调整只需更改轴坐标，因此任何操作人员都可以根据现场需求调整干涉区的设置，以满足不同的现场需求；本发明专利技术可以设置多个干涉区，来完成多轴的、多干涉逻辑的、相对复杂的干涉保护。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ald设备控制，特别涉及一种避免多运动机构碰撞的方法、设备及可读存储介质。

技术介绍

1、当ald设备具备多个运动机构，经常出现运动机构之间有交叉工作区，或者有位置互锁要求，这种时候需要设置干涉保护，以保证相干的运动机构不会发生碰撞或损坏。在以往的自动化设置中，通常使用各组件之间的步序（自动运行逻辑）互锁，来保证相干组件不会发生碰撞。如：组件a和组件b都有工作步序进入干涉区，分别为[xa，ya]和[xb，yb]。当组件a进入步序[xa，ya]时，即发出锁定信号ca，相应的组件b在检测到ca后不能进入步序[xb，yb]。同理，组件a在进入步序[xa，ya]之前，如果检测到组件b的锁定信号cb，则不能进入步序[xa，ya]。但这种步序互锁的方式有几个缺点：1、只对自动运行逻辑有效，手动操作无效；2、组件自动运行逻辑调整时，相应的互锁步序也要调整；3、对互锁步序的调整，需要非常了解相干各组件的自动运行逻辑。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种避免多运动机构碰撞的方法、系统及可读存储介质，以本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种避免多运动机构碰撞的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.一种避免多运动机构碰撞的设备，其特征在于，所述设备包括存储器、处理器以及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的防干涉程序，所述防干涉程序被所述处理器执行时实现如权利要求1所述的避免多运动机构碰撞的方法的步骤。

3.计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有防干涉程序，所述防干涉程序被处理器执行时实现如权利要求1所述的避免多运动机构碰撞的方法的步骤。

【技术特征摘要】

1.一种避免多运动机构碰撞的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.一种避免多运动机构碰撞的设备，其特征在于，所述设备包括存储器、处理器以及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的防干涉程序，所述防干涉程序被所述处理器执...

【专利技术属性】
技术研发人员：田京波，
申请(专利权)人：艾华无锡半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：