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本发明涉及ALD设备控制技术领域，具体为一种避免多运动机构碰撞的方法，本该避免多运动机构碰撞的方法在手、自动状态下均能有效提供干涉保护，应用场景更加全面；干涉区的设置只与轴坐标有关，而与自动运行逻辑无关，所以在自动运行逻辑变更时，不影响本发...
该专利属于艾华（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾华（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

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