一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统技术方案

本申请公开的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，与现有技术相比，包括：用以监控镀膜工艺设备并且收发控制信号的上位机；与上位机连接的PLC主控模块；与PLC主控模块连接的控制管理模块；连接控制管理模块的第一控制模块以及第二控制模块；与第一控制模块连接的旋转驱动执行模块、转架安装执行模块以及水冷循环执行模块；与第二控制模块连接的温度调控检测模块、气体调控检测模块以及膜厚调控检测模块；与第一控制模块以及第二控制模块通信连接的通讯会话系统；设于镀膜工艺设备上，与通讯会话系统连接的镀膜执行终端以及镀膜检测终端。相较于现有技术而言，其能够集成控制多功能传动装置以及执行终端进行镀膜作业，提高镀膜控制精度。膜控制精度。膜控制精度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统


[0001]本申请涉及真空镀膜旋转控制系统
，更具体地说，尤其涉及一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统。

技术介绍

[0002]近年来，真空技术在高技术产业化发展中展现出诱人的市场前景。真空镀膜机是现如今非常常见的镀膜工艺设备，在半导体器件、金属以及其他功能性材料的薄膜制备当中得到了广泛的应用。真空镀膜机一般包括镀膜室、工件转架以及传动装置。镀膜机在镀膜过程中需要将工件安装在工件转架上，并将之放置于镀膜室中，传动装置带动工件转架转动，这样工件通过靶前区时能从多角度接受靶发射的等离子体并沉积成膜，从而完成镀膜工作。
[0003]目前，对于镀膜工件转架的旋转以及镀膜作业，镀膜机一般都配置传动装置、执行终端以及相应的控制系统来进行正常的旋转镀膜工作。随着技术进步，传动装置以及执行终端在不断更新换代，传动装置由只具备单一旋转驱动功能的电动机扩充发展到了集旋转驱动、膜厚监测、温度冷却以及转架匹配安装功能于一体的整体传动装置，执行终端的功能也在不断复杂化，功能结构的增加必然需要配置相应的控制系统对相应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，其特征在于，包括：用以监控镀膜工艺设备并且收发控制信号的上位机；与所述上位机连接的主控系统；所述主控系统包括：与所述上位机连接的PLC主控模块；与所述PLC主控模块连接的控制管理模块；所述控制管理模块用以对镀膜工艺设备的镀膜功能、检测功能以及温控功能进行集成控制管理；与所述控制管理模块连接的分级控制系统；所述分级控制系统包括：第一控制模块以及与所述第一控制模块并联设置的第二控制模块；与所述第一控制模块连接的旋转驱动执行模块、转架安装执行模块以及水冷循环执行模块；与所述第二控制模块连接的温度调控检测模块、气体调控检测模块以及膜厚调控检测模块；与所述分级控制系统连接的通讯会话系统；设于镀膜工艺设备上，与所述通讯会话系统连接的镀膜执行终端以及镀膜检测终端。2.根据权利要求1所述的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，其特征在于，所述控制管理模块包括：与所述第一控制模块连接的镀膜执行管理单元；与所述第二控制模块连接的检测调控管理单元。3.根据权利要求1所述的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，其特征在于，所述旋转驱动执行模块包括：与所述通讯会话系统连接的驱动启闭控制单元以及转速调节控制单元。4.根据权利要求3所述的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，其特征在于，所述水冷循环执行模块包括：与所述通讯会话系统连接的，用以控制水循环设备启闭的水源输入控制单元；与所述水源输入控制单元并联设置的水源流速调节单元以及管路...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡国，龚涛，谢俊，
申请(专利权)人：湖南宇诚精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：