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本申请公开的基于真空镀膜的晶控旋转集成控制系统，与现有技术相比，包括：用以监控镀膜工艺设备并且收发控制信号的上位机；与上位机连接的PLC主控模块；与PLC主控模块连接的控制管理模块；连接控制管理模块的第一控制模块以及第二控制模块；与第一控制...
该专利属于湖南宇诚精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南宇诚精密科技有限公司授权不得商用。

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