【技术实现步骤摘要】
镀膜用蒸发装置
本技术涉及一种镀膜用蒸发装置。
技术介绍
普通蒸发装置用于大功率蒸发需求设备时导热零部件发热严重,对设备密封件的使用寿命影响严重,同时对多工位坩埚同时加热时热量不均匀引起镀膜厚度的不均一。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是,提供一种可以有效的实现导热零部件的冷却,可以实现多工均匀加热的镀膜用蒸发装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种镀膜用蒸发装置,包括2根横梁Ⅰ、2根横梁Ⅱ、2个压块Ⅰ、4个锁紧块、4个压块Ⅱ、4个电阻片、2个坩埚支撑组件、3根导电柱、3个密封装置和2个坩埚;所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱内均设有冷却水通道,所述导电柱的进水冷却水通道与横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道进水端相连通,所述横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道出水端与导电柱的出水冷却水通道相连通;1根横梁Ⅰ通过压块与1根导电柱相连,连接位置密封,1根横梁Ⅰ、1根横梁Ⅱ与1根导电柱相连,连接位置密封,1根横梁Ⅱ通过压块与1根导电柱相连,连接位置密封,依次排列布置;所述导电柱通过密封装置与镀膜机腔体连接,实现连接口的密封;1组电阻片一端通过压块和锁紧块与横梁Ⅰ相连,另一端通过压块和锁紧块与横梁Ⅱ相连,连接时需要保证压紧,共两组;所述电阻片与坩埚支撑组件安装连接,所述坩埚与坩埚支撑组件安装连接,所述坩埚支撑组件与镀膜机腔体连接。进一步,所述坩埚支撑组件包括支撑柱、螺钉、绝缘柱、螺柱;所述支撑柱上设有两个通气孔,避免工作过程中形成局部空腔影响镀膜腔内的真空度;所述支撑柱底部与绝 ...
【技术保护点】
1.镀膜用蒸发装置,其特征在于:包括2根横梁Ⅰ、2根横梁Ⅱ、2个压块Ⅰ、4个锁紧块、4个压块Ⅱ、4个电阻片、2个坩埚支撑组件、3根导电柱、3个密封装置和2个坩埚;/n所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱内均设有冷却水通道,所述导电柱的进水冷却水通道与横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道进水端相连通,所述横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道出水端与导电柱的出水冷却水通道相连通;/n1根横梁Ⅰ通过压块Ⅰ与1根导电柱相连,连接位置密封,1根横梁Ⅰ、1根横梁Ⅱ与1根导电柱相连,连接位置密封,1根横梁Ⅱ通过压块Ⅰ与1根导电柱相连,连接位置密封,依次排列布置;所述导电柱通过密封装置与镀膜机腔体连接,实现连接口的密封;/n1组电阻片一端通过压块Ⅱ和锁紧块与横梁Ⅰ相连,另一端通过压块Ⅱ和锁紧块与横梁Ⅱ相连,连接时需要保证压紧,共两组;所述电阻片与坩埚支撑组件安装连接,所述坩埚与坩埚支撑组件安装连接,所述坩埚支撑组件与镀膜机腔体连接。/n
【技术特征摘要】
1.镀膜用蒸发装置,其特征在于:包括2根横梁Ⅰ、2根横梁Ⅱ、2个压块Ⅰ、4个锁紧块、4个压块Ⅱ、4个电阻片、2个坩埚支撑组件、3根导电柱、3个密封装置和2个坩埚;
所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱内均设有冷却水通道,所述导电柱的进水冷却水通道与横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道进水端相连通,所述横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道出水端与导电柱的出水冷却水通道相连通;
1根横梁Ⅰ通过压块Ⅰ与1根导电柱相连,连接位置密封,1根横梁Ⅰ、1根横梁Ⅱ与1根导电柱相连,连接位置密封,1根横梁Ⅱ通过压块Ⅰ与1根导电柱相连,连接位置密封,依次排列布置;所述导电柱通过密封装置与镀膜机腔体连接,实现连接口的密封;
1组电阻片一端通过压块Ⅱ和锁紧块与横梁Ⅰ相连,另一端通过压块Ⅱ和锁紧块与横梁Ⅱ相连,连接时需要保证压紧,共两组;所述电阻片与坩埚支撑组件安装连接,所述坩埚与坩埚支撑组件安装连接,所述坩埚支撑组件与镀膜...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡国,龚涛,杨佳葳,谢俊,龚平,
申请(专利权)人:湖南宇诚精密科技有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
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