电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置制造方法及图纸

电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上，所述4个卤素灯分为两组，沿中心位置两侧对称；蒸发源位于炉体中心对称位置；离子源位于炉体左侧；电子枪位于炉体右侧；固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置，安装在炉体内壁上；固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置，并安装在炉体内壁上；固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安装高度一致；活动修正装置位于炉体右侧，位于电子枪上方。本实用新型专利技术具有结构简单，修正装置数量少、效果好等优点。

Coating correction device of electron beam evaporation coating machine

The coating correction device of electron beam evaporation coater includes fixed correction device I, fixed correction device II, movable correction device, 1 evaporation source, 4 halogen lamps, 1 ion source and 1 electron gun; the 1 evaporation source, 4 halogen lamps and 1 ion source are on the same graduation circle, and the 4 halogen lamps are divided into two groups, symmetrical along the central position on both sides; the evaporation source is located in the furnace body The center is symmetrical; the ion source is located on the left side of the furnace body; the electron gun is located on the right side of the furnace body; the fixed correction device I is located in the middle of the two halogen lamps on the left side and installed on the inner wall of the furnace body; the fixed correction device II is located in the middle of the halogen lamp and the electron gun on the right side and installed on the inner wall of the furnace body; the installation height of the fixed correction device I and the fixed correction device II is the same; the movable correction The device is located on the right side of the furnace body and above the electron gun. The utility model has the advantages of simple structure, small number of correction devices, good effect, etc.

【技术实现步骤摘要】
电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置
本技术涉及一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置。
技术介绍
现有镀膜机修正装置通常采用四个固定修正装置和一个垂直活动修正装置，固定修正方式未考虑腔体抽气对镀膜均匀性的影响，且垂直活动修正装置既要保证修正板与蒸发源的相对高度又要保证垂直运动空间在结构上往往很难同时满足。
技术实现思路
本技术所要解决的计算问题是，提供一种结构简单，修正装置数量少、效果好，适应范围更广的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上，所述4个卤素灯分为两组，沿中心位置两侧对称；所述蒸发源位于炉体中心对称位置；所述离子源位于炉体左侧；所述电子枪位于炉体右侧；所述固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置，安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；/n所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上，所述4个卤素灯分为两组，沿中心位置两侧对称；所述蒸发源位于炉体中心对称位置；所述离子源位于炉体左侧；所述电子枪位于炉体右侧；/n所述固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置，安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置，并安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安装高度一致；所述活动修正装置位于炉体右...

【技术特征摘要】
1.电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；
所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上，所述4个卤素灯分为两组，沿中心位置两侧对称；所述蒸发源位于炉体中心对称位置；所述离子源位于炉体左侧；所述电子枪位于炉体右侧；
所述固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置，安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置，并安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨佳葳，龚涛，蔡国，龚平，谢俊，
申请(专利权)人：湖南宇诚精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43