一种基于数值计算的蒸发镀膜膜厚智能控制方法技术

本发明专利技术公开了一种基于数值计算的蒸发镀膜膜厚智能控制方法，主要包括：在蒸发舟底部布置多列温度传感器，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部构成温度传感阵列；在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上设置柔性边框，沿柔性边框横向方向上均布多组驱动单元，每组驱动单元均与柔性边框的不同分段相连接；蒸发区域的边界由蒸发舟的固定边框和柔性边框构成，以温度传感器列为界线将蒸发舟的蒸发区域在镀膜幅宽方向上划分为多个分区域；在蒸发镀膜过程中，设置在蒸发镀膜机中的中央智能控制模块始终对蒸发舟的蒸发区域的边界进行实时地智能柔性闭环调控，从而实现对镀膜幅宽方向上的膜厚分布进行实时智能控制。能控制。能控制。

【技术实现步骤摘要】
一种基于数值计算的蒸发镀膜膜厚智能控制方法


[0001]本专利技术属于真空镀膜
，特别涉及在真空蒸发镀膜中采用的一种基于数值计算的蒸发镀膜膜厚智能控制方法。

技术介绍

[0002]近年来，光学技术、储能技术、平板显示技术的高速发展对薄膜产品性能的均匀性和稳定性提出了更高的要求。作为薄膜制备的重要工艺技术之一，真空蒸发镀膜在上述领域的薄膜产品的工业生产中得到了广泛的应用。由于受到蒸发源余弦定律的影响，如果不加以干涉，真空蒸发过程中沉积到基片上的膜层分布会呈现不均匀的状态。
[0003]目前在镀膜工业中，一般采用修正挡板控制方法来解决这一问题。通过对修正挡板姿态及形状的调整来控制修正基片上的膜层分布，但这种做法存在一定问题。一方面，修正挡板的使用是以牺牲镀膜效率和膜材使用效率为代价的；另一方面，修正挡板一旦设定，在镀膜过程中就会相对固定，而蒸发物质在蒸发过程中会随其所处阶段不同而发生蒸发特性的改变，在这种情况下，即使使用修正挡板，在长时间镀膜的不同阶段，产品上的膜厚分布也会出现逐渐的变化，这显然无法满足光学、储能及平板显示等对产品性能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于数值计算的蒸发镀膜膜厚智能控制方法，主要包括：（1）在蒸发舟底部布置多列温度传感器，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部构成温度传感阵列；（2）在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上设置柔性边框；沿柔性边框横向方向上均布多组驱动单元，每组驱动单元均与柔性边框的不同分段相连接；多组驱动单元构成柔性边界驱动系统；（3）温度传感器排布的列数与驱动单元的组数一致，且各列的位置与各组驱动单元所处位置对应；以温度传感器列为界线将蒸发舟的蒸发区域在镀膜幅宽方向上划分为多个分区域；蒸发区域的边界由蒸发舟的固定边框和柔性边框构成；（4）在蒸发镀膜过程中，设置在蒸发镀膜机中的中央智能控制模块始终对蒸发舟的蒸发区域的边界进行实时地智能柔性闭环调控；在智能柔性闭环调控过程中，通过对蒸发区域的各分区域的有效面积的实时调控，来在线调节各分区域在镀膜幅宽方向上的各部位沉积膜层的膜厚累加值，从而实现对镀膜幅宽方向上的膜厚分布进行实时智能控制。2.根据权利要求1所述的基于数值计算的蒸发镀膜膜厚智能控制方法，其特征在于：温度传感阵列实时获得蒸发舟底部的温度阵列信号，并将温度阵列信号传输给中央智能控制模块；同时，柔性边界驱动系统将各分段柔性边框与驱动单元连接部位的位置信号也传输给中央智能控制模块。3.根据权利要求1所述的基于数值计算的蒸发镀膜膜厚智能控制方法，其特征在于：中央智能控制模块内预设有膜厚的目标分布数据和蒸发材料数据库；中央智能控制模块根据蒸发材料物性参数、某一分区域的有效面积S
i
以及该分区域的平均温度T
i
与膜层沉积速率的对应关系，采用数值计算获得该分区域在镀膜幅宽方向上某部位上沉积的膜厚h
i
，然后将h
i
累加起来获得整个蒸发区域在该部...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成林，杜雪峰，郝明，
申请(专利权)人：辽宁分子流科技有限公司，
类型：发明
国别省市：