分光器制造技术

本发明专利技术的分光器具备：支承体，其具有底壁部和在底壁部的一侧包围分光空间的侧壁部；盖体，其配置于由侧壁部构成的开口部，并设置有光透过部；接合部件，其配置于盖体与开口部之间；光检测元件，其在分光空间与盖体之间，以与底壁部的一侧的表面相对的方式，由侧壁部支承；以及光学功能部，其设置于底壁部的一侧的表面。在支承体、盖体和接合部件中的至少一者设置有通气口。通气口在由支承体、盖体和光检测元件划定的空间和外部开口。由支承体、盖体和光检测元件划定的空间，与分光空间连通。与分光空间连通。与分光空间连通。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分光器


[0001]本专利技术涉及一种分光器。

技术介绍

[0002]已知有一种分光器，其包括：支承体；设置于支承体的底壁部的表面的分光部；和以面向分光部的方式由支承体的侧壁部支承的光检测元件(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2004
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354176号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]在如上述那样的分光器中，为了抑制水分进入分光空间，考虑采用将分光空间气密地密封的结构。但是，当将分光空间气密地密封时，由于根据分光器的使用环境的温度变化而内压变化，因此，存在设置有分光部并且支承光检测元件的支承体变形，分光精度降低的可能性。特别是，分光器越小型化，则支承体的变形给予分光精度的影响就越大。
[0008]因此，本专利技术的目的在于提供可靠性高的分光器。
[0009]用于解决技术问题的技术手段
[0010]本公开的一方面的分光器具备：支承体，其具有底壁部和在底壁部的一侧包围分光空间的侧壁部；盖体，其配置于由侧壁部构成的开口部，并设置有光透过部；接合部件，其配置于盖体与开口部之间；光检测元件，其在分光空间与盖体之间，以与底壁部的一侧的表面相对的方式，由侧壁部支承；以及光学功能部，其设置于底壁部的一侧的表面，在支承体、盖体和接合部件中的至少一者设置有通气口，通气口在由支承体、盖体和光检测元件划定的空间和外部开口，由支承体、盖体和光检测元件划定的空间，与分光空间连通。
[0011]在该分光器中，利用设置于支承体、盖体和接合部件中的至少一者的通气口，分光空间与外部连通。因此，即使分光器的使用环境的温度变化，也能够抑制由内压的变化而导致的支承体的变形。因此，在光学功能部和光检测元件等的位置关系不容易发生偏差。而且，通气口在由支承体、盖体和光检测元件划定的空间和外部开口，并且该空间与分光空间连通。由此，即使杂散光从外部入射于通气口，该杂散光也难以进入分光空间。因此，根据该分光器，能够确保高可靠性。
[0012]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，通气口开口的方向，与光经由盖体入射到分光空间的方向交叉。由此，即使杂散光从外部入射于通气口，也能够更可靠地抑制该杂散光进入分光空间。
[0013]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，盖体具有光透过部件以及形成有光通过开口的遮光层。由此，能够抑制颗粒向分光空间的进入，并且使光以适当的状态入射于分光空间。
[0014]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，在支承体设置有：在分光空间的一侧相比于分光空间加宽的第1加宽部；和在第1加宽部的一侧相比于第1加宽部加宽的第2加宽部，光检测元件配置于第1加宽部，盖体配置于作为开口部的第2加宽部。由此，能够稳定地支承光检测元件和盖体，并且通过支承体、盖体和光检测元件可靠地划定通气口开口的空间。
[0015]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，第1加宽部和第2加宽部呈将与光经由盖体入射到分光空间的方向交叉的方向作为长边方向的形状，通气口以位于长边方向上的第2加宽部的端部的方式设置于接合部件。由此，通气口的位置处于从分光空间内的光路分离的位置，因此即使杂散光从外部入射于通气口，也能够更可靠地抑制该杂散光进入分光空间。
[0016]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，第1加宽部和第2加宽部呈将与光经由盖体入射到分光空间的方向交叉的方向作为长边方向的形状，通气口以在长边方向上的第1加宽部的端部开口的方式设置于支承体。由此，通气口的位置处于从分光空间内的光路分离的位置，因此即使杂散光从外部入射于通气口，也能够更可靠地抑制该杂散光进入分光空间。
[0017]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，在第1加宽部配置有配线的端部，光检测元件的端子和配线的端部由连接部件电连接，在光检测元件与第1加宽部之间，以覆盖连接部件的方式配置有加强部件。由此，加强部件作为遮光部件发挥作用，因此即使杂散光从外部入射于通气口，也能够更可靠地抑制该杂散光进入分光空间。
[0018]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，光学功能部是分光部。由此，能够使分光部可靠地发挥所希望的光学功能。
[0019]也可以为，光学功能部是反射镜。由此，能够使反射镜可靠地发挥所希望的光学功能。
[0020]也可以为，本公开的一方面的分光器还具备配置于通气口与分光空间之间的遮光部件。由此，即使杂散光从外部入射于通气口，也能够更可靠地抑制该杂散光进入分光空间。
[0021]专利技术效果
[0022]根据本公开，能够提供可靠性高的分光器。
附图说明
[0023]图1是一实施方式的分光器的立体图。
[0024]图2是沿图1所示的II
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II线的分光器的截面图。
[0025]图3是沿图1所示的III
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III线的分光器的截面图。
[0026]图4是具备变形例的通气口的分光器的平面图。
[0027]图5是具备变形例的通气口的分光器的截面图。
具体实施方式
[0028]以下，参照附图，对本公开的实施方式详细地进行说明。此外，在各图中对相同或者相当部分赋予相同的附图标记，省略重复的说明。
[0029][分光器的结构][0030]如图1所示，分光器1包括支承体10和盖体20。在分光器1中，由支承体10和盖体20构成箱形的封装(package)2。支承体10构成为成形电路部件(MID：Molded Interconnect Device)，在支承体10设置有多个配线11。作为一例，分光器1呈X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的各方向上的长度为15mm以下的长方体状的形状。特别是，分光器1的Y轴方向上的长度被薄型化至数mm程度。
[0031]如图2和图3所示，在封装2内，设置有光检测元件30、树脂成形层40和反射层50。反射层50，作为光学功能部，构成反射镜51和分光部52。在光检测元件30设置有光通过部31、反射镜32和光检测部33。当从Z轴方向观察时，光通过部31、反射镜51、反射镜32、分光部52和光检测部33在与X轴方向平行的同一直线上进行排列。
[0032]在分光器1中，沿Z轴方向通过光通过部31的光L1被反射镜51反射，被反射镜51反射的光L1被反射镜32反射。被反射镜32反射的光L1被分光部52分光并反射。被分光部52分光并反射的光中的0次光以外的光L2，入射于光检测部33并被光检测部33检测。这样一来，在分光器1中，包含从光通过部31至分光部52的光L1的光路和从分光部52至光检测部33的光L2的光路的分光空间S，形成于封装2内。
[0033]支承体10具有底壁部12和侧壁部13。底壁部12和侧壁部13由例如LCP(Liquid Crystal Polymer：液晶聚合物)等合成树脂形成为一体。在底壁部12的分光空间S侧(一侧)的表面12a，设置有凹部14本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种分光器，其特征在于，具备：支承体，其具有底壁部和在所述底壁部的一侧包围分光空间的侧壁部；盖体，其配置于由所述侧壁部构成的开口部，并设置有光透过部；接合部件，其配置于所述盖体与所述开口部之间；光检测元件，其在所述分光空间与所述盖体之间，以与所述底壁部的所述一侧的表面相对的方式，由所述侧壁部支承；以及光学功能部，其设置于所述底壁部的所述一侧的所述表面，在所述支承体、所述盖体和所述接合部件中的至少一者设置有通气口，所述通气口在由所述支承体、所述盖体和所述光检测元件划定的空间和外部开口，由所述支承体、所述盖体和所述光检测元件划定的所述空间，与所述分光空间连通。2.根据权利要求1所述的分光器，其特征在于：所述通气口开口的方向，与光经由所述盖体入射到所述分光空间的方向交叉。3.根据权利要求1或2所述的分光器，其特征在于：所述盖体具有光透过部件以及形成有光通过开口的遮光层。4.根据权利要求1～3中任一项所述的分光器，其特征在于：在所述支承体设置有：在所述分光空间的所述一侧相比于所述分光空间加宽的第1加宽部；和在所述第1加宽部的所述一侧相比于所述第1加宽部加宽的第2加宽部，所述光检测元件配置于所述第1加宽部，所述盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：能野隆文，铃木俊辉，加藤胜彦，大岛一晟，大场崇史，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：