分光器和分光器的制造方法技术

本发明专利技术的分光器具备：支承体，其具有底壁部和配置于底壁部的一侧的侧壁部；光检测元件，其以隔着分光空间与底壁部的一侧的表面相对的方式由支承体支承；树脂成形层，其至少设置于底壁部的一侧的表面；以及反射层，其设置在树脂成形层上，在底壁部上构成光学功能部。树脂成形层具有：第1部分，其具有与光学功能部对应的形状；和第2部分，其包围第1部分，并且比第1部分薄。第1部分薄。第1部分薄。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分光器和分光器的制造方法


[0001]本公开涉及分光器和分光器的制造方法。

技术介绍

[0002]已知有一种分光器，其包括：支承体；设置于支承体的底壁部的表面的分光部；和以面向分光部的方式由支承体的侧壁部支承的光检测元件(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2004
‑
354176号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]在如上述那样的分光器中，存在如下述那样形成分光部的情况。即，在底壁部的表面配置树脂材料，通过成型模具将树脂材料成形为与分光部对应的形状，使树脂材料固化，形成树脂成形层。接着，在树脂成形层上形成反射层，而形成分光部。
[0008]在该情况下，当较薄地形成树脂成形层时，底壁部的表面状态的影响出现在树脂成形层，作为结果，存在分光精度降低的可能性。另一方面，当较厚地形成树脂成形层时，由分光器的使用环境的温度变化引起的树脂成形层的变形量变大，作为结果，存在分光精度降低的可能性。
[0009]因此，本公开的目的在于，提供可靠性高的分光器和这样的分光器的制造方法。
[0010]用于解决技术问题的技术手段
[0011]本公开的一方面的分光器包括：支承体，其具有底壁部和配置于底壁部的一侧的侧壁部；光检测元件，其以隔着分光空间与底壁部的一侧的表面相对的方式，由支承体支承；树脂成形层，其至少设置于底壁部的一侧的表面；以及反射层，其设置在树脂成形层上，在底壁部上构成光学功能部，树脂成形层具有：第1部分，具有与光学功能部对应的形状；和第2部分，包围第1部分，并且比第1部分薄。
[0012]在该分光器中，在树脂成形层，设置有反射层的第1部分，被比第1部分薄的第2部分包围。由此，不容易出现底壁部的表面状态的影响，并且由分光器的使用环境的温度变化引起的变形量不容易变大，能够在第1部分确保所需的足够的厚度，并且通过比第1部分薄的第2部分抑制树脂成形层从支承体剥离。由此，通过分光器，能够确保较高的可靠性。
[0013]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，树脂成形层包含：至少形成于底壁部的一侧的表面的第1树脂层；和形成于第1树脂层上的第2树脂层，第1部分由第1树脂层和第2树脂层构成，第2部分由第1树脂层构成。由此，能够可靠地得到：具有作为与光学功能部对应的形状所需的足够的厚度的第1部分；和包围第1部分并且比第1部分薄的第2部分。
[0014]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，第1树脂层比第2树脂层薄。由此，能够在由第1树脂层构成的第2部分，确保可填埋支承体的表面的凹凸且可抑制从支承体的剥离
所需的足够的厚度，并且在由第1树脂层和第2树脂层构成的第1部分，确保由分光器的使用环境的温度变化引起的变形量难以变大所需的足够的厚度。
[0015]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，光学功能部是分光部。由此，能够使分光部适当地发生所希望的光学功能。
[0016]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，光学功能部是反射镜。由此，能够使反射镜适当地发挥所希望的光学功能。
[0017]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，第1部分设置于底壁部的一侧的表面中的凹曲面。由此，即使在适当的树脂成形困难的凹曲面，也能够可靠地得到具有作为与光学功能部对应的形状所需的足够的厚度的第1部分。
[0018]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，第2部分的至少一部分到达底壁部的一侧的表面与侧壁部的分光空间侧的表面的边界区域。由此，能够可靠地抑制树脂成形层从支承体剥离。
[0019]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，第2部分的至少一部分到达侧壁部的分光空间侧的表面。由此，能够更可靠地抑制树脂成形层从支承体剥离。
[0020]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，侧壁部在底壁部的一侧包围分光空间。由此，能够抑制杂散光进入分光空间。
[0021]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，第1部分的厚度为21μm～210μm，第2部分的厚度为1μm～10μm。由此，在第1部分，能够抑制底壁部的表面状态的影响出现，或者由分光器的使用环境的温度变化引起的变形量变大，在第2部分中，能够抑制树脂成形层从支承体剥离。
[0022]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，在树脂成形层中，在第1部分与第2部分之间，存在树脂成形层的厚度变化的区域。由此，在第1部分和第2部分各自，能够确保适当的厚度。
[0023]在本公开的一方面的分光器中，也可以为，第2部分的面积比第1部分的面积大。由此，能够更可靠地抑制树脂成形层从支承体剥离。
[0024]本公开的一方面的分光器的制造方法具备：第1工序，其中，准备具有底壁部和配置于底壁部的一侧的侧壁部的支承体；第2工序，其中，在底壁部的一侧的表面配置第1树脂材料，通过加热使第1树脂材料扩展为层状，使第1树脂材料固化，至少在底壁部的一侧的表面形成第1树脂层；第3工序，其中，在第1树脂层上配置第2树脂材料，通过成型模具将第2树脂材料成形为与光学功能部对应的形状，使第2树脂材料固化，至少在底壁部的一侧的表面形成第2树脂层；第4工序，其中，在第2树脂层上形成反射层；以及第5工序，其中，以隔着分光空间与底壁部的一侧的表面相对的方式，使光检测元件支承在支承体。
[0025]在该分光器的制造方法中，在具有与光学功能部对应的形状的第2树脂层，能够抑制底壁部的表面状态的影响出现，或者由分光器的使用环境的温度变化引起的变形量变大。因此，根据分光器的制造方法，能够得到可靠性高的分光器。
[0026]在本公开的一方面的分光器的制造方法中，也可以为，在第2工序中，通过调整第1树脂材料的量、加热温度和加热时间中的至少一者，来调整第1树脂层的扩展状态。由此，能够得到具有所希望的厚度和面积的第1树脂层。
[0027]在本公开的一方面的分光器的制造方法中，也可以为，第1树脂材料和第2树脂材
料为相同的树脂材料。由此，能够得到稳定的树脂成形层。
[0028]专利技术效果
[0029]根据本公开，能够提供可靠性高的分光器和这样的分光器的制造方法。
附图说明
[0030]图1是一实施方式的分光器的立体图。
[0031]图2是沿图1所示的II
‑
II线的分光器的截面图。
[0032]图3是沿图1所示的III
‑
III线的分光器的截面图。
[0033]图4是示出一实施方式的分光器的制造方法的第2工序的图。
[0034]图5是图4所示的第2工序结束的时间点的支承体的立体图。
[0035]图6是示出一实施方式的分光器的制造方法的第3工序的图。
[0036]图7是示出通过实施例的方法制造的分光器的分光部的照片，以及通过比较例的方法制造的分光器的分光部的照片的图。
[0037]图8是示出通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种分光器，其特征在于，具备：支承体，其具有底壁部和配置于所述底壁部的一侧的侧壁部；光检测元件，其以隔着分光空间与所述底壁部的所述一侧的表面相对的方式，由所述支承体支承；树脂成形层，其至少设置于所述底壁部的所述一侧的所述表面；以及反射层，其设置在所述树脂成形层上，在所述底壁部上构成光学功能部，所述树脂成形层具有：第1部分，其具有与所述光学功能部对应的形状；和第2部分，其包围所述第1部分，并且比所述第1部分薄。2.根据权利要求1所述的分光器，其特征在于：所述树脂成形层包含：至少形成于所述底壁部的所述一侧的所述表面的第1树脂层；和形成于所述第1树脂层上的第2树脂层，所述第1部分由所述第1树脂层和所述第2树脂层构成，所述第2部分由所述第1树脂层构成。3.根据权利要求2所述的分光器，其特征在于：所述第1树脂层比所述第2树脂层薄。4.根据权利要求1～3中任一项所述的分光器，其特征在于：所述光学功能部是分光部。5.根据权利要求1～4中任一项所述的分光器，其特征在于：所述光学功能部是反射镜。6.根据权利要求1～5中任一项所述的分光器，其特征在于：所述第1部分设置于所述底壁部的所述一侧的所述表面中的凹曲面。7.根据权利要求1～6中任一项所述的分光器，其特征在于：所述第2部分的至少一部分到达所述底壁部的所述一侧的所述表面与所述侧壁部的所述分光空间侧的表面的边界区域。8.根据权利要求7所述的分光器，其特征在于：所述第2部分的至少一部分到达所述侧壁部的所述分光空间侧的所述表面。9.根据权利要求1～8中任一项所述的分光器，其特征在于：所述侧壁部在所述底壁部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：能野隆文，吉田杏奈，加藤胜彦，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：