一种晶圆自动检测机制造技术

一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台和驱动电机，工作台上设有XYZ上料平台、设备机架及多个检测机构。设备机架上设置有操作面板和显示器，主控单元分别与操作面板、显示器和检测机构电性连接。驱动电机分别与XYZ上料平台和检测机构电性连接。检测机构包括气缸固定板，气缸固定板的一侧固定设置有升降驱动机构，升降驱动机构上连接有针卡驱动组件。产品安装组件固定在工作台的上表面，产品安装组件位于针卡驱动组件下方。本实用新型专利技术通过驱动电机驱动XYZ上料平台实现自动上下料，通过驱动电机驱动针卡驱动组件向下运动与产品安装组件上的产品接触，实现自动检测产品。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动检测机
本技术涉及晶圆检测领域，具体涉及一种晶圆自动检测机。
技术介绍
现有手动FLASH晶圆检测机由人工操作，手动FLASH晶圆检测机由针卡固定座、产品固定座、检测座、L型薄片治具、调节机构和手动摇臂等机构组成。由人工用真空吸笔把产品从料盘吸起，把产品放到检测座上，然后用吸笔轻压产品并向后滑动，将产品推到一个L型薄片治具内，然后松开真空吸笔，再由人工扳动手动摇臂。手动摇臂上装有一个凸轮，凸轮推动产品固定座，将产品固定座推到针卡固定座，使针卡上的探针压住产品焊点，开始检测。检测完成后，松开摇臂，产品固定下降到初始位置，按照检测结果分别用真空吸笔把产品从产品固定座上取下，然后放入对应的分类料盘内。手动FLASH晶圆检测机由人工上下料、手动检测晶圆，操作不便、生产效率低、产品摆放位置精度差。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆自动检测机解决TF存储卡晶圆检测行业中，人工上下料检测晶圆，生产效率低，产品摆放位置精度差，稳定性差的问题。一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台和驱动电机，所述工作台上设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台(6)和驱动电机，所述工作台(6)上设有XYZ上料平台(1)、设备机架(23)及多个检测机构(5)；所述设备机架(23)上设置有操作面板(3)和显示器(4)，所述主控单元分别与操作面板(3)、显示器(4)和检测机构(5)电性连接，所述驱动电机分别与XYZ上料平台(1)和检测机构(5)电性连接；其特征在于：所述检测机构(5)包括气缸固定板(19)；所述气缸固定板(19)的一侧固定设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构上连接有针卡驱动组件，所述晶圆自动检测机还包括产品安装组件，所述产品安装组件固定在所述工作台(6)的上表面，所述产品安装组件位于针卡驱动组件...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台(6)和驱动电机，所述工作台(6)上设有XYZ上料平台(1)、设备机架(23)及多个检测机构(5)；所述设备机架(23)上设置有操作面板(3)和显示器(4)，所述主控单元分别与操作面板(3)、显示器(4)和检测机构(5)电性连接，所述驱动电机分别与XYZ上料平台(1)和检测机构(5)电性连接；其特征在于：所述检测机构(5)包括气缸固定板(19)；所述气缸固定板(19)的一侧固定设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构上连接有针卡驱动组件，所述晶圆自动检测机还包括产品安装组件，所述产品安装组件固定在所述工作台(6)的上表面，所述产品安装组件位于针卡驱动组件下方。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动检测机，其特征在于：所述气缸固定板(19)设置在所述工作台(6)的下表面，所述气缸固定板(19)的另一侧固定设置有定位气缸(18)；所述定位气缸(18)与驱动电机电性连接，所述定位气缸(18)上设有升降杆(31)；所述升降杆(31)上设置有定位板(24)，所述定位板(24)上设置有定位滑块(17)，所述定位滑块(17)与所述产品安装组件活动连接。


3.根据权利要求2所述的一种晶圆自动检测机，其特征在于：所述产品安装组件包括定位推块(15)、产品固定座(16)及轴承板(22)；所述产品固定座(16)上开设有安装孔(26)；所述安装孔(26)贯穿所述产品固定座(16)，所述安装孔(26)内壁活动连接有推杆(27)，所述推杆(27)的一端与定位推块(15)连接，所述推杆(27)的另一端与轴承板(22)连接；所述轴承板(22)上安装有滚轮(28)，所述滚轮(28)与所述定位滑块(17)活动连接。


4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆自动检测机，其特征在于：所述定位滑块(17)为...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄义发，王顺丰，陈金锋，
申请(专利权)人：广西科林半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：广西;45