一种晶圆自动检测机制造技术

一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台和驱动电机，工作台上设有XYZ上料平台、设备机架及多个检测机构。设备机架上设置有操作面板和显示器，主控单元分别与操作面板、显示器和检测机构电性连接。驱动电机分别与XYZ上料平台和检测机构电性连接。检测机构包括气缸固定板，气缸固定板的一侧固定设置有升降驱动机构，升降驱动机构上连接有针卡驱动组件。产品安装组件固定在工作台的上表面，产品安装组件位于针卡驱动组件下方。本发明专利技术通过驱动电机驱动XYZ上料平台实现自动上下料，通过驱动电机驱动针卡驱动组件向下运动与产品安装组件上的产品接触，实现自动检测产品。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动检测机
本专利技术涉及晶圆检测领域，具体涉及一种晶圆自动检测机。
技术介绍
现有手动FLASH晶圆检测机由人工操作，手动FLASH晶圆检测机由针卡固定座、产品固定座、检测座、L型薄片治具、调节机构和手动摇臂等机构组成。由人工用真空吸笔把产品从料盘吸起，把产品放到检测座上，然后用吸笔轻压产品并向后滑动，将产品推到一个L型薄片治具内，然后松开真空吸笔，再由人工扳动手动摇臂。手动摇臂上装有一个凸轮，凸轮推动产品固定座，将产品固定座推到针卡固定座，使针卡上的探针压住产品焊点，开始检测。检测完成后，松开摇臂，产品固定下降到初始位置，按照检测结果分别用真空吸笔把产品从产品固定座上取下，然后放入对应的分类料盘内。手动FLASH晶圆检测机由人工上下料、手动检测晶圆，操作不便、生产效率低、产品摆放位置精度差。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种晶圆自动检测机解决TF存储卡晶圆检测行业中，人工上下料检测晶圆，生产效率低，产品摆放位置精度差，稳定性差的问题。一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台和驱动电机，所述工作台上设有XYZ上料平台、设备机架及多个检测机构；所述设备机架上设置有操作面板和显示器，所述主控单元分别与操作面板、显示器和检测机构电性连接，所述驱动电机分别与XYZ上料平台和检测机构电性连接；所述检测机构包括气缸固定板；所述气缸固定板的一侧固定设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构上连接有针卡驱动组件，所述产品安装组件固定在所述工作台的上表面，所述产品安装组件位于针卡驱动组件下方。进一步的，所述气缸固定板设置在所述工作台的下表面，所述气缸固定板的另一侧固定设置有定位气缸；所述定位气缸与驱动电机电性连接，所述定位气缸上设有升降杆；所述升降杆上设置有定位板，所述定位板上设置有定位滑块，所述定位滑块与所述产品安装组件活动连接。进一步的，所述产品安装组件包括定位推块、产品固定座及轴承板；所述产品固定座上开设有安装孔；所述安装孔贯穿所述产品固定座，所述安装孔内壁活动连接有推杆，所述推杆的一端与定位推块连接，所述推杆的另一端与轴承板连接；所述轴承板上安装有滚轮，所述滚轮与所述定位滑块活动连接。进一步的，所述定位滑块为椎体。进一步的，所述产品固定座上固定设置有连接杆和L型定位块；所述定位推块上设置有与所述连接杆相对应的定位槽，所述连接杆与所述定位槽的内壁滑动连接。进一步的，所述升降驱动机构包括旋转气缸、拉杆和直线导轨；所述旋转气缸固定在气缸固定板上，所述旋转气缸与驱动电机电性连接，所述旋转气缸上设有活塞杆，所述活塞杆与拉杆的一端铰接；所述直线导轨固定在所述气缸固定板上，所述直线导轨上设有上下滑动的导轨连接板；所述导轨连接板上设有连接件；所述连接件与所述拉杆的另一端铰接；所述导轨连接板上设置有XYZ位移平台，所述针卡驱动组件与所述XYZ位移平台连接。进一步的，所述针卡驱动组件包括针卡连接板、角度调节机构及针卡安装调节机构；所述针卡连接板与所述XYZ位移平台连接；所述角度调节机构设置在所述针卡连接板的上表面，所述针卡安装调节机构设置在所述针卡连接板的下表面。进一步的，所述针卡安装调节机构上设置有多个针卡，所述针卡上安装有探针。进一步的，所述工作台上设有滑轨和显微镜，所述显微镜滑动连接在所述滑轨上，所述显微镜与驱动电机电性连接。本专利技术的有益效果是：本专利技术中定位气缸上升，带动定位滑块，定位滑块上升同时推动轴承板，轴承板推动定位推块，定位推块后退张开；XYZ上料平台吸取产品，将产品精确地置于产品固定座上面，定位气缸下降，带动定位滑块，定位滑块下降同时推动轴承板，轴承板带动定位推块，定位推块合拢将产品夹紧到L型定位块上，使产品固定，进而实现机器自动上下料，避免人工上下料的操作不便、产品摆放位置不精确、生产效率低。旋转气缸带动拉杆，拉杆带动导轨连接板、XYZ位移平台、针卡驱动组件在直线导轨的导向方向上向下运动，使针卡探针与产品焊点接触，并开始自动检测，实现了机器自动检测晶圆，提高了晶圆检测的精确度及效率。检测完成后旋转气缸反向旋转，通过拉杆带动直线导轨连接板、XYZ位移平台、针卡驱动组件向上运动到初始高度位置，实现自动复位，XYZ上料平台吸取检测好的产品。本专利技术实现了机器自动上下料、检测晶圆，提高了晶圆检测的效率和产品摆放位置精确度。附图说明图1为本专利技术一种晶圆自动检测机的立体图。图2为本专利技术一种晶圆自动检测机的检测机构立体图。图3为本专利技术一种晶圆自动检测机的检测机构的产品安装组件放大图。其中，1为XYZ上料平台，2为电子显微镜，3为操作面板，4为显示器，5为检测机构，6为工作台，7为旋转气缸，9为直线导轨，10为导轨连接板，101为连接件，12为针卡连接板，13为角度调节机构，14为针卡安装调节机构，15为定位推块，16为产品固定座，17为定位滑块，18为定位气缸，19为旋转气缸固定板，20为产品，21为L型定位块，22为轴承板，23为设备机架，24为定位板，25为活塞杆，26为安装孔，27为推杆，28为滚轮，29为连接杆，30为定位槽、31为升降杆。具体实施方式通过参考详细的附图和在此阐述的描述，可以最好地理解本专利技术。为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。本专利技术提供一种晶圆自动检测机，如图1和图2所示，该晶圆自动检测机，包括主控单元(图中未示出)，工作台6和驱动电机(图中未示出)。工作台6上设有XYZ上料平台1、设备机架23及多个检测机构5，每台晶圆自动检测机设置有8个或以上的检测机构5。设备机架23上设置有操作面板3和显示器4，主控单元分别与操作面板3、显示器4和检测机构5电性连接。驱动电机分别与XYZ上料平台1和检测机构5电性连接，驱动电机可以驱动XYZ上料平台1吸取产品20，并将产品20置于个检测机构5上。检测机构5包括气缸固定板19，气缸固定板19的一侧固定设置有升降驱动机构，升降驱动机构上连接有针卡驱动组件，产品安装组件固定在工作台6的上表面，产品安装组件位于针卡驱动组件下方，驱动电机可以驱动针卡驱动组件向下运动与产品安装组件上的产品接触，自动检测产品安装组件上的产品20，检测机构5通过主控单元将检测结果输出到显示器4上。XYZ上料平台1可以自动吸取产品20，实现机器自动上下料，操作简单方便，检测机构通过升降驱动机构上连接的针卡驱动组件，可以实现机器自动检测晶圆，并在检测完成后自动复位，操作简单方便、生产效率高、产品摆放位置精确。其中，如图2所示，气缸固定板19设置在工作台6的下表面，气缸固定板19的另一侧固定设置有定位气缸18。定位气缸18与驱动电机电性连接，定位气缸18上设有升降杆31，升降杆31上设置有定位板24，定位板24上设置有定位滑块17，定位滑块17与产品安装组件活动连接。驱动电机启动，定位气缸18上的升降杆31带动定位滑块17本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台(6)和驱动电机，所述工作台(6)上设有XYZ上料平台(1)、设备机架(23)及多个检测机构(5)；所述设备机架(23)上设置有操作面板(3)和显示器(4)，所述主控单元分别与操作面板(3)、显示器(4)和检测机构(5)电性连接，所述驱动电机分别与XYZ上料平台(1)和检测机构(5)电性连接；其特征在于：所述检测机构(5)包括气缸固定板(19)；所述气缸固定板(19)的一侧固定设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构上连接有针卡驱动组件，所述产品安装组件固定在所述工作台(6)的上表面，所述产品安装组件位于针卡驱动组件下方。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动检测机，包括主控单元，工作台(6)和驱动电机，所述工作台(6)上设有XYZ上料平台(1)、设备机架(23)及多个检测机构(5)；所述设备机架(23)上设置有操作面板(3)和显示器(4)，所述主控单元分别与操作面板(3)、显示器(4)和检测机构(5)电性连接，所述驱动电机分别与XYZ上料平台(1)和检测机构(5)电性连接；其特征在于：所述检测机构(5)包括气缸固定板(19)；所述气缸固定板(19)的一侧固定设置有升降驱动机构，所述升降驱动机构上连接有针卡驱动组件，所述产品安装组件固定在所述工作台(6)的上表面，所述产品安装组件位于针卡驱动组件下方。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆自动检测机，其特征在于：所述气缸固定板(19)设置在所述工作台(6)的下表面，所述气缸固定板(19)的另一侧固定设置有定位气缸(18)；所述定位气缸(18)与驱动电机电性连接，所述定位气缸(18)上设有升降杆(31)；所述升降杆(31)上设置有定位板(24)，所述定位板(24)上设置有定位滑块(17)，所述定位滑块(17)与所述产品安装组件活动连接。


3.根据权利要求2所述的一种晶圆自动检测机，其特征在于：所述产品安装组件包括定位推块(15)、产品固定座(16)及轴承板(22)；所述产品固定座(16)上开设有安装孔(26)；所述安装孔(26)贯穿所述产品固定座(16)，所述安装孔(26)内壁活动连接有推杆(27)，所述推杆(27)的一端与定位推块(15)连接，所述推杆(27)的另一端与轴承板(22)连接；所述轴承板(22)上安装有滚轮(28)，所述滚轮(28)与所述定位滑块(17)活动连接。


4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆自动检测机，其特征在于：所述定位滑块(17)为椎体。

【专利技术属性】
技术研发人员：庄义发，王顺丰，陈金锋，
申请(专利权)人：广西科林半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：广西;45