一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，属于太阳能电池片生产技术领域，一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，包括刻蚀槽，刻蚀槽的内侧壁水平设有多根输送辊，且多根输送辊水平平行排布，多根输送辊由带轮驱动机构驱动构成用于输送太阳能电池硅片的输送系统，输送辊上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片，输送辊上套接有两个限位轮，可以实现同时对太阳能电池硅片的背面和两侧侧壁进行刻蚀，提高刻蚀效率，有效避免刻蚀液的浪费，可以在刻蚀时对太阳能电池硅片进行有效定位，避免太阳能电池硅片偏移影响刻蚀，同时可以满足不同大小的太阳能电池硅片刻蚀使用，适应性和实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽
本技术涉及太阳能电池片生产
，更具体地说，涉及一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽。
技术介绍
太阳能电池片的制造过程需要经过很多个步骤，其中对硅片的刻蚀工艺也是必不可少的一部分，硅片在刻蚀过程中，需要使用刻蚀液对硅片除了扩散面以外的所有面进行刻蚀。刻蚀是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，其基本目标是在涂胶的硅片上正确地复制掩模图形。随着微制造工艺的发展，广义上来讲，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法。刻蚀时需要利用刻蚀槽进行刻蚀，而现有的刻蚀槽通常利用滚轮输送机构对太阳能电池硅片进行输送，在输送过程中对太阳能电池硅片背面进行刻蚀，然而在输送过程中，太阳能电池本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，包括刻蚀槽（1），所述刻蚀槽（1）的内底部装有刻蚀液，所述刻蚀槽（1）的内侧壁水平设有多根输送辊（2），且多根输送辊（2）水平平行排布，多根所述输送辊（2）由带轮驱动机构驱动构成用于输送太阳能电池硅片的输送系统，所述输送辊（2）上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片，其特征在于：所述输送辊（2）上套接有两个限位轮（3），所述刻蚀槽（1）的内壁上位于输送辊（2）的下侧对应设置有限位导向杆（4），所述限位导向杆（4）穿过限位轮（3）设置，且限位导向杆（4）为方形结构，所述刻蚀槽（1）的两侧内壁上与限位轮（3）相对位置均设有多组压缩弹簧（5），且压缩弹簧（5）与...

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池硅片背面抛光的刻蚀槽，包括刻蚀槽（1），所述刻蚀槽（1）的内底部装有刻蚀液，所述刻蚀槽（1）的内侧壁水平设有多根输送辊（2），且多根输送辊（2）水平平行排布，多根所述输送辊（2）由带轮驱动机构驱动构成用于输送太阳能电池硅片的输送系统，所述输送辊（2）上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片，其特征在于：所述输送辊（2）上套接有两个限位轮（3），所述刻蚀槽（1）的内壁上位于输送辊（2）的下侧对应设置有限位导向杆（4），所述限位导向杆（4）穿过限位轮（3）设置，且限位导向杆（4）为方形结构，所述刻蚀槽（1）的两侧内壁上与限位轮（3）相对位置均设有多组压缩弹簧（5），且压缩弹簧（5）与限位轮（3）的侧壁固定连接，所述限位轮（3）相对的一侧侧壁上均固定有侧面刻蚀海绵层（6），所述刻蚀槽（1）的两侧内壁顶部固定有水平设置的刻蚀定位杆（7），所述刻蚀槽（1）的两侧内壁上位于刻蚀定位杆（7）的下侧固定有支架（8），所述支架（8）上表面固定有电动伸缩杆（9），且电动伸缩杆（9）的伸缩输出端与刻蚀定位杆（7）相连接，所述刻蚀定位杆（7）上转动连接有多个刻蚀滚轮（10），所述刻蚀滚轮（10）的外壁上粘接有刻蚀海绵圈（11），所述刻蚀槽（1）的底部...

【专利技术属性】
技术研发人员：王泉龙，李琪，孙珠珠，周国栋，
申请(专利权)人：徐州中辉光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32