【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工作台模块以及转换套件自动更换装置
本专利技术涉及一种工作台模块以及转换套件自动更换装置。
技术介绍
封装制造系统可依次执行以下工艺等制造半导体封装，工艺包括：切割工艺，将由多个封装形成的条带切割成单独封装；洗涤工艺，洗涤在切割工艺上切割的封装；干燥工艺，干燥在洗涤工艺上洗涤的封装；封装检查工艺，检查经干燥的封装中是否存在不良；以及卸载工艺，根据检查结果分类出不良检查合格的封装和不合格的封装。这种封装制造系统，通常包括用于放置条带或封装的工作台模块，其中，根据制造商或产品的特性而封装的的尺寸会不同，因此根据封装的单独尺寸，需要更换工作台的上板。以往，当封装的尺寸变更时，工作人员需要手动更换放置封装的工作台模块的上板。因此，根据工作人员的熟练度而更换速度、更换时间需要更长时间，从而具有工作收率下降或更换工作的完成度也不可靠的问题。本专利技术的
技术介绍
公开于韩国授权专利第10-0920934号公报中。
技术实现思路
本专利技术是为了解决所述现有技术问题而提出的，其目的在于，提供一种可以自动替换...
【技术保护点】
1.一种工作台模块，其中，包括：/n转换套件，朝Z轴方向形成有多个真空孔；以及/n工作台用负压传递板结构，在朝Z轴方向的另一面上配置有所述转换套件，连通负压发生器和所述真空孔，/n所述工作台用负压传递板结构能够真空吸附所述转换套件，/n当所述工作台用负压传递板结构真空吸附所述转换套件时，所述转换套件被固定在所述工作台用负压传递板结构上，/n当所述工作台用负压传递板结构解除对所述转换套件的真空吸附时，能够从所述工作台用负压传递板结构去除所述转换套件。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190226 KR 10-2019-0022387;20190226 KR 10-2019-001.一种工作台模块，其中，包括：
转换套件，朝Z轴方向形成有多个真空孔；以及
工作台用负压传递板结构，在朝Z轴方向的另一面上配置有所述转换套件，连通负压发生器和所述真空孔，
所述工作台用负压传递板结构能够真空吸附所述转换套件，
当所述工作台用负压传递板结构真空吸附所述转换套件时，所述转换套件被固定在所述工作台用负压传递板结构上，
当所述工作台用负压传递板结构解除对所述转换套件的真空吸附时，能够从所述工作台用负压传递板结构去除所述转换套件。
2.根据权利要求1所述的工作台模块，其中，所述工作台用负压传递板结构，包括：
工作台用产品凹陷部，与形成有所述转换套件的多个所述真空孔的部分相对的部分朝Z轴方向一侧凹陷，以向所述真空孔传递由所述负压发生器产生的负压作用以及负压的解除；以及
工作台用套件凹陷部，与所述转换套件的边缘部分的至少一部分相对的部分朝Z轴方向一侧凹陷，从而，完成对所述转换套件的真空吸附。
3.根据权利要求2所述的工作台模块，其中，所述套件凹陷部具有朝所述转换套件的长度方向延长而形成的长孔形状的截面。
4.根据权利要求2所述的工作台模块，其中，
所述工作台用负压传递板结构包括朝Z轴方向另一侧突出的突起，
在所述转换套件形成有供所述突起的至少一部分插入的孔。
5.一种转换套件自动更换装置，其中，包括：
根据权利要求1所述的工作台模块；以及
拾取模块，能够从所述工作台用负压传递板结构分离相对于所述工作台用负压传递板结构预先配置的转换套件，或者相对于所述工作台用负压...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩福愚，赵润基，高相男，
申请(专利权)人：杰纳森株式会社，爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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