下载工作台模块以及转换套件自动更换装置的技术资料

文档序号:29882630

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本发明公开一种工作台模块,所述工作台模块包括:转换套件,朝Z轴方向形成有多个真空孔;以及工作台用负压传递板结构,在朝Z轴方向的另一面上配置有所述转换套件,连通负压发生器和所述真空孔,所述工作台用负压传递板结构可以真空吸附所述转换套件,当所述...
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