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本发明公开一种工作台模块,所述工作台模块包括:转换套件,朝Z轴方向形成有多个真空孔;以及工作台用负压传递板结构,在朝Z轴方向的另一面上配置有所述转换套件,连通负压发生器和所述真空孔,所述工作台用负压传递板结构可以真空吸附所述转换套件,当所述...该专利属于杰纳森株式会社;爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰纳森株式会社;爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种工作台模块,所述工作台模块包括:转换套件,朝Z轴方向形成有多个真空孔;以及工作台用负压传递板结构,在朝Z轴方向的另一面上配置有所述转换套件,连通负压发生器和所述真空孔,所述工作台用负压传递板结构可以真空吸附所述转换套件,当所述...