一体成型PTFE耐腐洁净槽制造技术

本实用新型专利技术属于半导体生产设备技术领域，涉及一种一体成型PTFE耐腐洁净槽。包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体，所述的槽体顶部开口，所述的槽体一侧设有至少一个进液口，在远离进液口的另一侧槽体上设有至少一个出液口，在进液口和出液口上分别设有进液接头和出液接头，所述的进液接头和出液接头与槽体一体成型。与现有的技术相比，本一体成型PTFE耐腐洁净槽的优点在于：1、设计合理，防止渗漏。2、耐腐蚀性好，有效的延长了使用寿命。3、便于拆装，节省了维护时间。

【技术实现步骤摘要】
一体成型PTFE耐腐洁净槽
本技术属于半导体生产设备
，涉及一种一体成型PTFE耐腐洁净槽。
技术介绍
半导体行业如硅晶片清洗等，对产品要求极高，以往焊接式产品或粘接式产品在使用过程中焊接或粘接处存在着易于渗漏的问题。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述问题，提供一种设计合理，防止渗漏的一体成型PTFE耐腐洁净槽。为达到上述目的，本技术采用了下列技术方案：本一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体，所述的槽体顶部开口，所述的槽体一侧设有至少一个进液口，在远离进液口的另一侧槽体上设有至少一个出液口，在进液口和出液口上分别设有进液接头和出液接头，所述的进液接头和出液接头与槽体一体成型。在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，所述的槽体包括呈矩形状的底板，在底板其中两条相对的侧边上分别设有第一挡板，在另两条相对的侧边上分别设有第二挡板，所述的底板、两块第一挡板和两块第二挡板合围形成蓄液槽，且底板与两块第一挡板和两块第二挡板分别相连且一体成型，任意相连两块第一挡板与第二挡本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体(1)，所述的槽体(1)顶部开口(2)，所述的槽体(1)一侧设有至少一个进液口(3)，在远离进液口(3)的另一侧槽体(1)上设有至少一个出液口(4)，在进液口(3)和出液口(4)上分别设有进液接头(31)和出液接头(41)，所述的进液接头(31)和出液接头(41)与槽体(1)一体成型。/n

【技术特征摘要】
1.一种一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体(1)，所述的槽体(1)顶部开口(2)，所述的槽体(1)一侧设有至少一个进液口(3)，在远离进液口(3)的另一侧槽体(1)上设有至少一个出液口(4)，在进液口(3)和出液口(4)上分别设有进液接头(31)和出液接头(41)，所述的进液接头(31)和出液接头(41)与槽体(1)一体成型。


2.根据权利要求1所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，所述的槽体(1)包括呈矩形状的底板(11)，在底板(11)其中两条相对的侧边上分别设有第一挡板(12)，在另两条相对的侧边上分别设有第二挡板(13)，所述的底板(11)、两块第一挡板(12)和两块第二挡板(13)合围形成蓄液槽(1a)，且底板(11)与两块第一挡板(12)和两块第二挡板(13)分别相连且一体成型，任意相连两块第一挡板(12)与第二挡板(13)相连且一体成型。


3.根据权利要求2所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，其中一块第一挡板(12)上设有至少一个贯穿第一挡板(12)的进液口(3)，且进液口(3)位于第一挡板(12)上方，所述的进液接头(31)与该第一挡板(12)相连且一体成型。


4.根据权利要求3所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，另外一块第一挡板(12)上设有至少一个贯穿第一挡板(12)的出...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱林，
申请(专利权)人：浙江科赛新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33