一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，涉及半导体太阳能扩散设备领域，本实用新型专利技术包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管，石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门，所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口，石英炉管内设置有与排气口配合的尾气管，所述的进气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾的进气管组件，排气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾及尾气管外壁的防腐蚀出气管组件；本实用新型专利技术具有结构简单，用以解决偏磷酸沉积，长期腐蚀石英炉管问题，降低了人工劳动强度。

【技术实现步骤摘要】
一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉
本技术涉及半导体太阳能扩散设备
，更具体的是涉及带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉的

技术介绍
目前，全球的半导体技术和太阳能生产线得到了爆发式的发展，太阳能电池发电是太阳能发电的主流。在半导体太阳能电池产品制造过程当中，会使用到一种高温扩散炉，用于半导体电池片参杂，形成P-N结，利用光生伏达效应进行光电转换，达到发电目的。一般而言，太阳能领域当中，扩散炉由炉体、石英炉管、进气管、Profile-TC、和排气管组成以及其他电气和机械结构组成，当在高温闭管环境下，通入三氯氧磷和氧气反应后，会产生偏磷酸衍生物，石英炉管内偏磷酸在气路排废系统抽气抽出至外界，在抽出过程当中，伴随着温度下降，当温度将至一定条件下会凝结，凝结下来的偏磷酸会沉积在石英炉管尾部内管壁和尾气管外壁上，由于偏磷酸接触石英器件会造成石英器件腐蚀，导致石英管和尾气管腐蚀断裂和穿孔漏气，一旦石英器件损坏，则会造成产品不良，必须更换石英器件，造成设备宕机，特别是更换石英炉管，会降温12小时，导致大量产能损失和石英器材维修更换费用。目前，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，包括加热炉(3)和设置在加热炉(3)内的石英炉管(1)，石英炉管(1)一侧延伸出加热炉(3)设置有炉门(2)，所述石英炉管(1)另一侧设置有延伸出加热炉(3)进气口(7)和排气口(4)，石英炉管(1)内设置有与排气口(4)配合的尾气管(8)，其特征在于，所述的进气口(7)处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管(1)管尾的进气管组件(6)，排气口(4)处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管(1)管尾及尾气管(8)外壁的防腐蚀出气管组件(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，包括加热炉(3)和设置在加热炉(3)内的石英炉管(1)，石英炉管(1)一侧延伸出加热炉(3)设置有炉门(2)，所述石英炉管(1)另一侧设置有延伸出加热炉(3)进气口(7)和排气口(4)，石英炉管(1)内设置有与排气口(4)配合的尾气管(8)，其特征在于，所述的进气口(7)处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管(1)管尾的进气管组件(6)，排气口(4)处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管(1)管尾及尾气管(8)外壁的防腐蚀出气管组件(5)。


2.根据权利要求1所述的一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，其特征在于，所述进气管组件(6)包括套设在进气口(7)末端的三通接头(6-2)，在进气口(7)外壁与三通接头(6-2)内壁通过密封环A(6-6)密封，进气管组件(6)还包括依次穿过三通接头(6-2)和进气口(7)进入石英炉管(1)内的进气管(6-3)，位于三通接头(6-2)内的进气管(6-3)上设置有一圈凸环...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷小龙，李宝飞，胡云川，何长发，匡成国，彭欣欣，阿海克古，董纪刚，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51