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本实用新型公开了一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉,涉及半导体太阳能扩散设备领域,本实用新型包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管,石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门,所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口,石英炉管内设置有与排气口...该专利属于通威太阳能(成都)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威太阳能(成都)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉,涉及半导体太阳能扩散设备领域,本实用新型包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管,石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门,所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口,石英炉管内设置有与排气口...