扩散炉工艺腔室炉口结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉工艺腔室炉口结构，工艺腔室的内壁为石英管，工艺腔室炉口的石英管端部突出于外部的加热炉体，该端部外周含有一圈环形凸起，环形凸起前方的前管部外周对应套设一个前置法兰，环形凸起后方的后管部外周对应套设一个后置法兰；在前置法兰和后置法兰之间安装有一个中间法兰，中间法兰位于环形凸起的外侧，在中间法兰的内周和环形凸起的外周之间留有一段空隙，在空隙内填装一个耐高温弹性垫圈和径向密封圈。本实用新型专利技术的扩散炉将现有技术中的一个密封圈分解为径向密封和轴向密封，使轴向密封圈离石英管中心更远，减小热量辐射影响，降低损耗速度，延长使用寿命，采用填装空隙的安装方式技术要求低，安装更加便捷、可靠。

【技术实现步骤摘要】
扩散炉工艺腔室炉口结构
本技术涉及扩散炉领域，尤其是一种扩散炉工艺腔室炉口结构。
技术介绍
太阳能电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。扩散工艺是太阳能电池制备过程中的一个核心工序，即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积PN结。如图1所示，现有扩散炉的炉口结构通常采用轴向密封方式，在外端金属法兰1和石英管2的端面之间设置一圈轴向密封圈3，由于轴向密封圈3距离石英管2的中心较近，紧挨着石英管2的外壁，容易受到炉腔内热量的辐射，从而加快老化，使得维修更换频繁，生产效率降低，另外，由于石英管2的安装调试非常麻烦，仅仅采用轴向的端面密封，石英管2的端面与外端金属法兰1之间距离要求严格，距离过远达不到密封效果，距离过近容易造成石英管2受力破裂，增加了技术难度和安装要求，而且，在加工过程中容易因膨胀而产生的挤压破裂。
技术实现思路
本申请人针对上述现有扩散炉炉口结构存在的炉腔端部的密封圈容易老化、技术要求严格、安装难度大、加工过程中容易因膨胀而产生的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉工艺腔室炉口结构，其特征在于：工艺腔室（6）的内壁为石英管（8），工艺腔室（6）炉口的石英管（8）端部突出于外部的加热炉体（10），该端部外周含有一圈环形凸起（14），环形凸起（14）前方的前管部外周对应套设一个前置法兰（15），环形凸起（14）后方的后管部外周对应套设一个后置法兰（16）；在前置法兰（15）和后置法兰（16）之间安装有一个中间法兰（17），中间法兰（17）位于环形凸起（14）的外侧，在中间法兰（17）的内周和环形凸起（14）的外周之间留有一段空隙，在空隙内填装一个耐高温弹性垫圈（18）和径向密封圈（19）。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉工艺腔室炉口结构，其特征在于：工艺腔室（6）的内壁为石英管（8），工艺腔室（6）炉口的石英管（8）端部突出于外部的加热炉体（10），该端部外周含有一圈环形凸起（14），环形凸起（14）前方的前管部外周对应套设一个前置法兰（15），环形凸起（14）后方的后管部外周对应套设一个后置法兰（16）；在前置法兰（15）和后置法兰（16）之间安装有一个中间法兰（17），中间法兰（17）位于环形凸起（14）的外侧，在中间法兰（17）的内周和环形凸起（14）的外周之间留有一段空隙，在空隙内填装一个耐高温弹性垫圈（18）和径向密封圈（19）。


2.根据权利要求1所述的扩散炉工艺腔室炉口结构，其特征在于：径向密封圈（19）紧密套装在环形凸起（14）的外周，且与中间法兰（17）的内周紧密接触。


3.根据权利要求1所述的扩散炉工艺腔室炉口结构，其特征在于：径向密封圈（...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆敏，吴晓松，刘永法，李丙科，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32