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本实用新型公开了一种扩散炉工艺腔室炉口结构，工艺腔室的内壁为石英管，工艺腔室炉口的石英管端部突出于外部的加热炉体，该端部外周含有一圈环形凸起，环形凸起前方的前管部外周对应套设一个前置法兰，环形凸起后方的后管部外周对应套设一个后置法兰；在前置...
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