【技术实现步骤摘要】
一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机
本技术涉及腐蚀加工设备
,具体为一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机。
技术介绍
晶体的研究开发和生产活动中,对晶片的生产加工需要一个腐蚀过程,目前对金电极晶振片表面加工处理时,大多都是人工操作,对晶片表面进行腐蚀作业,部分一些腐蚀机机结构简单,又不便对腐蚀液温度进行控制,综上所述总结以下存在的问题:1、传统方法使用人工操作对晶片进行腐蚀作业,劳动强度大,工作效率低下,晶片与腐蚀液体接触不充分;2、现有技术种腐蚀设备不便对腐蚀液体温度调节控制,影响加工出品质量,不便对刚腐蚀完毕的晶片进行清洗。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机,解决了人工操作对晶片进行腐蚀作业,劳动强度大,晶片与腐蚀液体接触不充分,不便对腐蚀液体温度调节控制,不便对刚腐蚀完毕的晶片进行清洗的问题。(二)技术方案为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机,包括 ...
【技术保护点】
1.一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机,包括工作板(1)和喷头(24),其特征在于:所述工作板(1)的表面固定连接有腐蚀架(2),所述腐蚀架(2)的一侧通过固定块固定连接有第一电机(3),所述第一电机(3)的输出端固定连接有螺纹杆(4),所述螺纹杆(4)的一端贯穿腐蚀架(2)通过轴承转动连接腐蚀架(2)的一侧内壁,所述螺纹杆(4)的表面螺纹连接有螺纹块(5),所述螺纹块(5)的顶部固定连接有连接杆(6),所述连接杆(6)的一端固定连接有滑块(7),所述螺纹块(5)的底部固定连接有气缸(9),所述气缸(9)的端部固定连接有固定框架(10),所述固定框架(10)的端部固定连接 ...
【技术特征摘要】
1.一种腐蚀晶振片基片表面非晶体用腐蚀机,包括工作板(1)和喷头(24),其特征在于:所述工作板(1)的表面固定连接有腐蚀架(2),所述腐蚀架(2)的一侧通过固定块固定连接有第一电机(3),所述第一电机(3)的输出端固定连接有螺纹杆(4),所述螺纹杆(4)的一端贯穿腐蚀架(2)通过轴承转动连接腐蚀架(2)的一侧内壁,所述螺纹杆(4)的表面螺纹连接有螺纹块(5),所述螺纹块(5)的顶部固定连接有连接杆(6),所述连接杆(6)的一端固定连接有滑块(7),所述螺纹块(5)的底部固定连接有气缸(9),所述气缸(9)的端部固定连接有固定框架(10),所述固定框架(10)的端部固定连接有往复运动装置(11),所述固定框架(10)的端部固定连接有支撑块(1101),所述支撑块(1101)的顶部固定连接有第二电机(1102),所述第二电机(1102)的输出端固定连接有转盘(1103),所述转盘(1103)的表面通过辊轴转动连接有第一支杆(1104),所述第一支杆(1104)的端部通过辊轴转动连接有传动杆(1105),所述传动杆(1105)的端部通过辊轴转动连接有第二支杆(1106),所述第二支杆(1106)的端部通过辊轴转动连接有升降块(1108),所述升降块(1108)的表面滑动连接有滑动槽(1107),所述滑动槽(1107)的端部固定连接支撑块(1101),所述升降块(1108)的端部通过连接块固定连接有夹持块(12),所述夹持块(12)的凹槽处固定连接有滑杆(13),所述滑杆(13)的表面固定连接有夹板(14),所述夹板(14)的内部螺纹连接有螺栓(15),所述工作板(1)的顶部表面位于腐蚀架(2)的一侧固定连接有腐蚀液池(16),所述腐蚀液池(16)的内壁固定连接有发热管(17),所述腐蚀液池(16)左...
【专利技术属性】
技术研发人员:周朱华,夏宾,
申请(专利权)人:常州光晶光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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