真空蒸镀用冷却板制造技术

本实用新型专利技术提供了一种真空蒸镀用冷却板，其包括冷却板本体、边框及多个弹性防粘机构，所述弹性防粘机构包括弹性部及将所述弹性部与所述边框连接的安装部，弹性部包括套筒、杆、设于杆上端的限位部及弹簧，所述套筒内壁设有第一凸起，杆的外周设有第二凸起，第一凸起位于第二凸起上方并将弹簧限定在第一凸起与第二凸起之间；冷却板本体上开设有供所述杆通过的通孔，无外力作用时，杆的下端突出冷却板本体的下方，当玻璃基板与冷却板本体叠加时，杆在玻璃基板的推动下向上移动，弹簧为压缩状态。如此设置，使得玻璃基板在蒸镀完成后可在弹性防粘机构的推动下与冷却板顺利分离，防止玻璃基板破损。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀用冷却板
本技术涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种真空蒸镀用冷却板。
技术介绍
有机发光器件(OLED)以其节能、健康、轻薄、环保、自发光、响应时间短、结构简单、可实现柔性等优势，在显示领域受到越来越多的关注，其发展前景广阔。而OLED生产与制成中最核心的工艺就是真空蒸镀，其中涉及的蒸镀设备的稳定性直接影响到工艺的稳定性及产品的良率。蒸镀设备一般包括蒸镀源、掩膜版以及冷却板。蒸镀时，需将玻璃基板设于掩膜版及冷却板之间，掩膜版下方设置蒸镀源，蒸镀完成后，玻璃基板与冷却板之间往往会产生静电而使得玻璃基板吸附与冷却板上，不容易取下。因此，有必要设计一种真空蒸镀用冷却板，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有防止玻璃基板贴合的真空蒸镀用冷却板。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种真空蒸镀用冷却板，其包括冷却板本体，其下表面形成水平冷却面；边框，设于冷却板本体边缘；多个弹性防粘机构，与边框连接；其中，所述弹性防粘机构包括弹性部及将所述弹性部与所述边框连接的安装部，所述弹性部包括套筒、设于套筒内可相对于所述套筒上下移动的杆、设于所述杆上端的限位部及套设于所述杆上的弹簧，所述套筒内壁设有第一凸起，所述杆的外周设有第二凸起，所述第一凸起位于所述第二凸起上方并将所述弹簧限定在所述第一凸起与第二凸起之间，所述限位部与所述第一凸起配合限定所述杆向下移动，所述第二凸起与所述第一凸起配合限制所述杆向上移动；所述冷却板本体上开设有供所述杆通过的通孔，无外力作用时，所述杆的下端突出所述冷却板本体的下方，当玻璃基板与冷却板本体叠加时，所述杆在玻璃基板的推动下向上移动，弹簧为压缩状态。作为本技术进一步改进的技术方案，所述杆的下端还设有垫片，所述垫片的面积大于所述杆端部的面积。作为本技术进一步改进的技术方案，所述弹性防粘机构的数量为四个，分设于所述边框相对的两条边上。作为本技术进一步改进的技术方案，所述第一凸起为环状，所述第二凸起为环状。作为本技术进一步改进的技术方案，所述安装部包括垂直固定的竖直安装板及水平安装板，所述竖直安装板位于所述边框的外侧面，所述水平安装板位于所述边框的顶面并向内延伸，其一端悬于所述冷却板本体上方，所述弹性部固定于所述水平安装板的一端。作为本技术进一步改进的技术方案，所述水平安装板的延伸方向与所述边框的长度方向不垂直。作为本技术进一步改进的技术方案，所述水平安装板的一端开设有螺纹孔，所述套筒穿设于所述螺纹孔内并与所述水平安装板螺纹配合。作为本技术进一步改进的技术方案，所述套筒上端还设有限位螺母。由以上技术方案可知，本技术的空蒸镀用冷却板通过在边框上设置多个弹性防粘机构，在蒸镀完成时，通过弹性部的作用自动将玻璃基板与冷却板本体进行分离，不仅可以顺利分离，防止玻璃基板破损，而且无需额外的动作，操作方便。附图说明图1为本技术真空蒸镀用冷却板的立体图。图2为图1中弹性防粘机构的立体图。图3为图2中弹性部的剖视图。图4为本技术真空蒸镀用冷却板未受外力时的状态图。图5为本技术真空蒸镀用冷却板与玻璃基板叠加时的状态图。图6为图4中圆圈部分的放大图。图7为图5中圆圈部分的放大图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述。请参图1至图7所示，本技术提供了一种真空蒸镀用冷却板100，用于在真空蒸镀过程中对玻璃基板200进行冷却，真空蒸镀用冷却板100包括冷却板本体10、边框11及多个弹性防粘机构20。冷却板本体10为矩形，其下表面形成与玻璃基板200接触的水平冷却面，边框11为四条，设于冷却板本体10的边缘。多个弹性防粘机构20与边框11连接。请参图2及图3所示，具体的，弹性防粘机构20包括弹性部21及将弹性部21与边框11连接的安装部22。弹性部21包括套筒211、设于套筒211内可相对于套筒211上下移动的杆212、设于杆212上端的限位部215、设于杆212的下端的垫片213及套设于杆212上的弹簧216。安装部22包括垂直固定的竖直安装板221及水平安装板222，竖直安装板221位于所述边框11的外侧面，水平安装板222位于所述边框11的顶面并向内延伸，其一端悬于所述冷却板本体10的上方。弹性部21固定于水平安装板222的一端，弹性部21的下端穿过冷却板本体10。水平安装板222的延伸方向与边框11的长度方向不垂直，即，水平安装板222倾斜设置，使得其长度更长，其与边框11接触面积更大，因此固定效果更好。水平安装板222的一端开设有螺纹孔，套筒211穿设于螺纹孔内并与所述水平安装板222螺纹配合。套筒211上端还设有限位螺母214，以对套筒211在水平安装板222上的上下位置进行限位。请参图3至图7所示，套筒211内壁设有第一凸起2111，杆212的外周设有第二凸起2121，第一凸起2111位于第二凸起2121上方并将弹簧限定在第一凸起2111与第二凸起2121之间，限位部215与第一凸起2111配合限定杆212向下移动，第二凸起2121与第一凸起2111配合限制杆向上移动。优选的，第一凸起2111为环状且与套筒211一体成型，第二凸起2121为环状且与杆212一体成型。冷却板本体10上开设有供杆212通过的通孔，无外力作用时，杆212的下端突出冷却板本体10的下方(突出水平冷却面的下方)，当玻璃基板200与冷却板本体10叠加时，杆212在玻璃基板200的推动下向上移动，此时，弹簧216为压缩状态。垫片213的面积大于所述杆212端部的面积。如此设置，增加了弹性部21与玻璃基板200的接触面积，分离时，使得玻璃基板200的受力面积增加，防止玻璃基板200局部受力过大导致的破损。请参图1所示，本技术中，弹性防粘机构20的数量为四个，分设于边框11相对的两条边上，每条边设置两个弹性防粘机构20，在其他实施例中，也可根据玻璃基板的尺寸选择性的在边框四边都设置弹性防粘机构，使得分离时玻璃基板的四周受力均匀，进一步防止玻璃基板破损。请参图3至图7所示，工作时，通过外力将玻璃基板200向上托起，使得玻璃基板200上表面与冷却板本体10的水平冷却面接触，此时，垫片213及杆212被向上推动，第二凸起2121向上将弹簧216压缩，使得弹簧216抵接于第一凸起2111与第二凸起2121之间并呈压缩状态，因此，弹性部21对玻璃基板200有向下的推力。蒸镀完成时，外力撤退，此时，弹性部21的推力使得玻璃基板200与冷却板本体10分离。综上所述，本技术的真空蒸镀用冷却板通过在边框上设置多个弹性防粘机构，在蒸镀完成时，通过弹性部的作用自动将玻璃基板与冷却板本体进行分离，不仅可以顺利分离，防止玻璃基板破损，而且无需额外的动作，操本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀用冷却板，其特征在于：包括/n冷却板本体，其下表面形成水平冷却面；/n边框，设于冷却板本体边缘；/n多个弹性防粘机构，与边框连接；/n其中，所述弹性防粘机构包括弹性部及将所述弹性部与所述边框连接的安装部，所述弹性部包括套筒、设于套筒内可相对于所述套筒上下移动的杆、设于所述杆上端的限位部及套设于所述杆上的弹簧，所述套筒内壁设有第一凸起，所述杆的外周设有第二凸起，所述第一凸起位于所述第二凸起上方并将所述弹簧限定在所述第一凸起与第二凸起之间，所述限位部与所述第一凸起配合限定所述杆向下移动，所述第二凸起与所述第一凸起配合限制所述杆向上移动；/n所述冷却板本体上开设有供所述杆通过的通孔，无外力作用时，所述杆的下端突出所述冷却板本体的下方，当玻璃基板与冷却板本体叠加时，所述杆在玻璃基板的推动下向上移动，弹簧为压缩状态。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀用冷却板，其特征在于：包括
冷却板本体，其下表面形成水平冷却面；
边框，设于冷却板本体边缘；
多个弹性防粘机构，与边框连接；
其中，所述弹性防粘机构包括弹性部及将所述弹性部与所述边框连接的安装部，所述弹性部包括套筒、设于套筒内可相对于所述套筒上下移动的杆、设于所述杆上端的限位部及套设于所述杆上的弹簧，所述套筒内壁设有第一凸起，所述杆的外周设有第二凸起，所述第一凸起位于所述第二凸起上方并将所述弹簧限定在所述第一凸起与第二凸起之间，所述限位部与所述第一凸起配合限定所述杆向下移动，所述第二凸起与所述第一凸起配合限制所述杆向上移动；
所述冷却板本体上开设有供所述杆通过的通孔，无外力作用时，所述杆的下端突出所述冷却板本体的下方，当玻璃基板与冷却板本体叠加时，所述杆在玻璃基板的推动下向上移动，弹簧为压缩状态。


2.如权利要求1所述的真空蒸镀用冷却板，其特征在于：所述杆的下端还设有垫片，所述垫片的面积大于所述杆端部的面积。

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【专利技术属性】
技术研发人员：史延锋，史延库，
申请(专利权)人：苏州盟萤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32