【技术实现步骤摘要】
本技术涉及移载机构，具体为开盒移载机构。
技术介绍
1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。
2、在半导体行业中，光罩作为光蚀刻技术中重要的生产工具，在生产中需要从储存盒中转移到上机盒中，生产后经过清洗再转移回储存盒中，现有生产过程中光罩在储存盒中的取放一般都由人工取放，没有实现加工的自动化，且人工操作效率低下且存在加工成本高，易出错等缺点，不利于企业生产效率和加工自动化程度的提高。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供开盒移载机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：开盒移载机构，包括开关盒机构、取放机构和锁扣开关机构，所述开关盒机构包括旋转气缸、旋转吸盘架、储存盒体和储存盒检测传感器，所述开关盒机构通过旋转气缸驱动旋转吸盘架对储存盒体的盒盖进行开关；
3、所述取放机构包括移载直线模组、光罩主体、光罩检测传感器、和移载吸盘架，所述取放机构通过移载直线模组驱动移载吸盘架对光罩主体进行移动；
4、所述锁扣开关机构包括开关直线模组、顶升气缸和锁扣块，所述锁扣开关机构通过开关直线模组驱动锁扣块对储存盒体前侧的锁扣进行开关。
5、作为优选，上述旋转气缸通过螺栓与支架固定连接，所述旋转气缸的一侧设置有底板，所述底板的上部设置有储存盒归正位，所述储存盒体放置于储存盒归正位的内侧，所
6、作为优选，上述旋转吸盘架通过螺栓固定连接于旋转气缸的转轴端，所述旋转吸盘架可以旋转气缸的转轴为轴心进行翻转，所述旋转吸盘架的上部均匀固定有吸盘座。
7、作为优选，上述移载直线模组通过支架固定连接于底板的上方，所述移载直线模组的移动座上部固定有移载气缸，所述移载吸盘架通过螺栓固定连接于移载气缸的下部，所述移载吸盘架的底部均匀固定有吸盘座。
8、作为优选，上述底板的上部设置有光罩归正位，所述光罩主体经移动后放置于光罩归正位的内侧，所述光罩归正位的两侧均固定设置有归正气缸，所述光罩检测传感器通过螺钉固定连接于底板的底部，所述光罩检测传感器位于光罩归正位的正下方。
9、作为优选，上述开关直线模组通过支架固定于底板的前侧下部，所述顶升气缸与锁扣块的数量均为两个，两个所述顶升气缸均通过螺栓固定于开关直线模组的移动座的上部，所述锁扣块通过螺钉固定连接于顶升气缸的推杆上部。
10、本技术采用以上技术方案与现有技术相比，具有以下技术效果：
11、本开盒移载机构在装置的上部设置有开关盒机构、取放机构和锁扣开关机构，通过旋转气缸、移载直线模组、开关直线模组、气缸和吸盘等原件的配合，可完成储存盒体的开盒与关盒，及对储存盒体内光罩主体的取放操作，实现了光罩在储存盒中取放的自动化操作，不再依赖人工操作，不但大大提高了生产效率与产品的质量稳定性而且降低了人工成本，在提高企业生产效率的同时提升了企业的自动化程度与产品竞争力。
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1.开盒移载机构，包括开关盒机构(1)、取放机构(2)和锁扣开关机构(3)，其特征在于：所述开关盒机构(1)包括旋转气缸(4)、旋转吸盘架(5)、储存盒体(6)和储存盒检测传感器(7)，所述开关盒机构(1)通过旋转气缸(4)驱动旋转吸盘架(5)对储存盒体(6)的盒盖进行开关；
2.根据权利要求1所述的开盒移载机构，其特征在于：所述旋转气缸(4)通过螺栓与支架固定连接，所述旋转气缸(4)的一侧设置有底板(19)，所述底板(19)的上部设置有储存盒归正位(8)，所述储存盒体(6)放置于储存盒归正位(8)的内侧，所述储存盒归正位(8)的两侧均固定设置有归正气缸，所述储存盒检测传感器(7)通过螺钉固定连接于底板(19)的底部，所述储存盒检测传感器(7)位于储存盒归正位(8)的正下方。
3.根据权利要求2所述的开盒移载机构，其特征在于：所述旋转吸盘架(5)通过螺栓固定连接于旋转气缸(4)的转轴端，所述旋转吸盘架(5)可以旋转气缸(4)的转轴为轴心进行翻转，所述旋转吸盘架(5)的上部均匀固定有吸盘座(18)。
4.根据权利要求1所述的开盒移载机构，其特征在
5.根据权利要求4所述的开盒移载机构，其特征在于：所述底板(19)的上部设置有光罩归正位(14)，所述光罩主体(10)经移动后放置于光罩归正位(14)的内侧，所述光罩归正位(14)的两侧均固定设置有归正气缸，所述光罩检测传感器(11)通过螺钉固定连接于底板(19)的底部，所述光罩检测传感器(11)位于光罩归正位(14)的正下方。
6.根据权利要求1所述的开盒移载机构，其特征在于：所述开关直线模组(15)通过支架固定于底板(19)的前侧下部，所述顶升气缸(16)与锁扣块(17)的数量均为两个，两个所述顶升气缸(16)均通过螺栓固定于开关直线模组(15)的移动座的上部，所述锁扣块(17)通过螺钉固定连接于顶升气缸(16)的推杆上部。
...【技术特征摘要】
1.开盒移载机构，包括开关盒机构(1)、取放机构(2)和锁扣开关机构(3)，其特征在于：所述开关盒机构(1)包括旋转气缸(4)、旋转吸盘架(5)、储存盒体(6)和储存盒检测传感器(7)，所述开关盒机构(1)通过旋转气缸(4)驱动旋转吸盘架(5)对储存盒体(6)的盒盖进行开关；
2.根据权利要求1所述的开盒移载机构，其特征在于：所述旋转气缸(4)通过螺栓与支架固定连接，所述旋转气缸(4)的一侧设置有底板(19)，所述底板(19)的上部设置有储存盒归正位(8)，所述储存盒体(6)放置于储存盒归正位(8)的内侧，所述储存盒归正位(8)的两侧均固定设置有归正气缸，所述储存盒检测传感器(7)通过螺钉固定连接于底板(19)的底部，所述储存盒检测传感器(7)位于储存盒归正位(8)的正下方。
3.根据权利要求2所述的开盒移载机构，其特征在于：所述旋转吸盘架(5)通过螺栓固定连接于旋转气缸(4)的转轴端，所述旋转吸盘架(5)可以旋转气缸(4)的转轴为轴心进行翻转，所述旋转吸盘架(5)的上部均匀固定有吸盘座(18)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：史延锋，史延库，李锐华，
申请(专利权)人：苏州盟萤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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