一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车，包括输送车、侧板块、传输盒载台和上板块，所述输送车的左右两侧均设置有侧板块，且输送车的上端设置有上板块，所述上板块的上方设置有传输盒载台，且传输盒载台在水平方向前后移动活动；所述输送车的下端面左右端均设置有第一下横向钢板,且输送车的上端左右两部均设置有一组第二下横向钢板，并且第二下横向钢板的前后两端均设置有一组第一竖向钢板；所述第二下横向钢板上两组第一竖向钢板的上端之间设置有第一上横向钢板。本实用新型专利技术可利用同步带带动晶圆储存盒载台灵活移动，不仅方便输送晶圆储存盒，而且并未采用滑轨结构，使用安全可靠，也有助于提高设备的洁净度。也有助于提高设备的洁净度。也有助于提高设备的洁净度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车


[0001]本技术涉及晶圆存储
，具体涉及一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆储存盒作为晶圆的承载工具，当晶圆储存盒需要运输转移时，通常会用到专用的转运车以及承载台。在对比文件“CN216783681U晶圆储存盒转运车车体结构”的说明书中提及“包括底盘、机械臂安装壳体和载物平台，所述底盘用于设置转运车的行走机构，所述机械臂安装壳体设置在所述底盘上方中部位置，用于安装多轴机械臂，机械臂安装壳体两侧的底盘上分别设置所述载物平台，每侧载物平台包括两层结构，且两层结构呈错位式排布，每层结构上均设置有承载台用于放置晶圆储存盒”，对比文件虽然可同时输送多组晶圆储存盒，但是改输送结构多采用滑轨结构进行移动活动，容易积存落灰，不仅会影响滑块移动的灵敏度，而且轨道内也灰尘也不易清洁，使用并不方便省事。

技术实现思路

[0003]为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车，包括输送车(1)、侧板块(2)、传输盒载台(3)和上板块(4)，其特征在于：所述输送车(1)的左右两侧均设置有侧板块(2)，且输送车(1)的上端设置有上板块(4)，所述上板块(4)的上方设置有传输盒载台(3)，且传输盒载台(3)在水平方向前后移动活动。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车，其特征在于，所述输送车(1)的下端面左右端均设置有第一下横向钢板(10),且输送车(1)的上端左右两部均设置有一组第二下横向钢板(11)，并且第二下横向钢板(11)的前后两端均设置有一组第一竖向钢板(13)。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车，其特征在于，所述第二下横向钢板(11)上两组第一竖向钢板(13)的上端之间设置有第一上横向钢板(14)，且同侧的第二下横向钢板(11)和第一上横向钢板(14)之间设置有侧移动板(12)，并且同侧的第二下横向钢板(11)、第一竖向钢板(13)和第一上横向钢板(14)均位于侧板块(2)上。4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车，其特征在于，所述侧移...

【专利技术属性】
技术研发人员：史延库，史延锋，
申请(专利权)人：苏州盟萤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：