下载一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车的技术资料

文档序号:37096772

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本实用新型提供了一种用于晶圆传送盒存储立库的输送车,包括输送车、侧板块、传输盒载台和上板块,所述输送车的左右两侧均设置有侧板块,且输送车的上端设置有上板块,所述上板块的上方设置有传输盒载台,且传输盒载台在水平方向前后移动活动;所述输送车的下...
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