蒸镀材料、带基底层的基材的制造方法、带拒水拒油层的基材的制造方法技术

提供一种蒸镀材料，其能够形成可均匀地形成拒水拒油层的基底层，在制作多片带基底层的基材时，样品间的基底层的组成偏差受到抑制，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成。一种蒸镀材料，其由包含氧化物的颗粒构成，所述氧化物包含硅、以及选自由元素周期表第1族元素、第2族元素、第13族元素、第15族元素和过渡金属元素组成的组中的至少1种元素I，粒径为0.5～22.4mm的颗粒的质量比例相对于全部颗粒总质量为90质量％以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀材料、带基底层的基材的制造方法、带拒水拒油层的基材的制造方法
本专利技术涉及蒸镀材料、带基底层的基材的制造方法、带拒水拒油层的基材的制造方法。
技术介绍
为了对基材的表面赋予拒水拒油性、指纹污迹去除性、润滑性(用手指碰触时的顺滑度)等，已知的是：通过使用具有反应性甲硅烷基的含氟化合物进行表面处理，从而在基材的表面形成由含氟化合物的缩合物形成的拒水拒油层。此外，为了改善基材与拒水拒油层之间的粘接性等，有时在它们之间设置基底层。专利文献1的第[0204]段、专利文献2的第[0076]段记载了在基材与拒水拒油层之间设置由硅氧化物形成的基底层。这些基底层通过蒸镀来形成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-218639号公报专利文献2：日本特开2012-72272号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题另一方面，根据用于形成基底层的蒸镀材料的种类的不同，想要在基底层上形成由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成的拒水拒油层时，有时无法在基底层上均匀地形成拒水拒油层。无法均匀地形成拒水拒油层是指：在基底层上产生未形成拒水拒油层的缺陷区域的情况、在拒水拒油层中观察到异物的情况、在基底层中观察到异物的情况等。此外，使用蒸镀材料来形成基底层时，有时在真空蒸镀装置内配置多个基材来制作多片样品。这样来制作多片样品时，有时在所得样品间产生基底层的组成偏差。若基底层的组成存在偏差，则有可能在样品间产生拒水拒油层的形成容易度的差异，产生性能差异。因而，本专利技术的课题在于，提供能够形成可均匀地形成拒水拒油层的基底层、在制作多片带基底层的基材时样品间的基底层的组成偏差受到抑制的蒸镀材料，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成。此外，本专利技术的课题还在于，提供带基底层的基材的制造方法、带拒水拒油层的基材的制造方法。用于解决问题的方案本专利技术人等为了解决上述课题而进行了深入研究，结果发现：通过以下的构成能够解决上述课题。[1]一种蒸镀材料，其由包含氧化物的颗粒构成，所述氧化物包含硅、以及选自由元素周期表第1族元素、第2族元素、第13族元素、第15族元素和过渡金属元素组成的组中的至少1种元素，粒径为0.5～22.4mm的前述颗粒的质量比例相对于全部颗粒总质量为90质量％以上。[2]根据[1]所述的蒸镀材料，其中，在构成蒸镀材料的前述颗粒的体积基准的粒度分布中，将累积颗粒数为10％时的粒径规定为D10，并将累积颗粒数为90％时的粒径规定为D90时，前述D90相对于前述D10之比(D90/D10)为6以下。[3]根据[1]或[2]所述的蒸镀材料，其含水率小于2.0质量％。[4]根据[1]～[3]中任一项所述的蒸镀材料，其为烧结体或熔融体。[5]一种带基底层的基材的制造方法，其中，通过使用了前述[1]～[4]中任一项所述的蒸镀材料的蒸镀，在基材上形成包含氧化物的基底层，所述氧化物包含前述硅和前述元素。[6]一种带拒水拒油层的基材的制造方法，其中，通过使用了前述[1]～[4]中任一项所述的蒸镀材料的蒸镀，在基材上形成包含氧化物的基底层，所述氧化物包含前述硅和前述元素，接着，在前述基底层上形成拒水拒油层，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成。[7]根据[6]所述的带拒水拒油层的基材的制造方法，其中，通过干式涂布方法或湿式涂布方法，在前述基底层上涂布前述含氟化合物并使其缩合。[8]根据[6]或[7]所述的带拒水拒油层的基材的制造方法，其中，前述反应性甲硅烷基为下式(2)所示的基团。-Si(R)nL3-n···(2)其中，R为一价烃基、L为水解性基团或羟基、n为0～2的整数。[9]根据[6]～[8]中任一项所述的带拒水拒油层的基材的制造方法，其中，前述含氟化合物为具有2个以上反应性甲硅烷基的含氟化合物。[10]根据[6]～[9]中任一项所述的带拒水拒油层的基材的制造方法，其中，前述含氟化合物为具有聚(氧氟亚烷基)链和反应性甲硅烷基的含氟醚化合物。[11]根据[10]所述的带拒水拒油层的基材的制造方法，其中，前述聚(氧氟亚烷基)链为以氧全氟亚烷基为主的聚(氧氟亚烷基)链。专利技术的效果根据本专利技术，可提供能够形成可均匀地形成拒水拒油层的基底层、且在制作多个带基底层的基材时样品间的基底层的组成偏差受到抑制的蒸镀材料，所述拒水拒油层由具有反应性甲硅烷基的含氟化合物的缩合物形成。此外，根据本专利技术，可提供带基底层的基材的制造方法、带拒水拒油层的基材的制造方法。附图说明图1是表示通过本专利技术的方法而得到的带基底层的基材的一例的剖视图。图2是表示通过本专利技术的方法而得到的带拒水拒油层的基材的一例的剖视图。具体实施方式本专利技术中的术语的含义如下所示。本说明书中，将式(1)所示的单元记作“单元(1)”。其它式所示的单元也同样记载。将式(2)所示的基团记作“基团(2)”。其它式所示的基团也同样记载。将式(3)所示的化合物记作“化合物(3)”。其它式所示的化合物也同样记载。本说明书中，在“亚烷基任选具有A基”这一情况下，亚烷基可以在亚烷基中的碳-碳原子间具有A基，也可以如亚烷基-A基-那样在末端具有A基。本专利技术中的术语的含义如下所示。“2价的有机聚硅氧烷残基”是指下式所示的基团。下式中的Rx为烷基(优选碳原子数为1～10)或苯基。另外，g1为1以上的整数，优选为1～9的整数，特别优选为1～4的整数。“硅亚苯基骨架基团”为-Si(Ry)2PhSi(Ry)2-(其中，Ph为亚苯基，Ry为1价的有机基团)所示的基团。作为Ry，优选为烷基(优选碳原子数为1～10)。“二烷基亚甲硅烷基”为-Si(Rz)2-(其中，Rz为烷基(优选碳原子数为1～10))所示的基团。化合物的“数均分子量”通过利用1H-NMR和19F-NMR，以末端基团为基准求出氧氟亚烷基的数量(平均值)来计算。关于蒸镀材料中的各元素的含量，只要没有特别记载，则是通过湿式分析而测得的值。通过湿式分析而提供的各元素的含量为质量百分数浓度(质量％)。元素周期表第1族元素的测定中使用原子吸光法，除此之外的元素的测定中使用电感耦合等离子体(ICP)发光分光分析法或ICP质谱分析法，通过标准曲线(基质匹配)法进行定量。需要说明的是，根据通过湿式分析而得的各元素的质量％和各元素的原子量(g/mol)，可以求出各元素彼此的摩尔浓度之比。为了便于说明，图1～图2中的尺寸比与实际的尺寸比不同。[蒸镀材料]本专利技术的蒸镀材料由包含氧化物的颗粒构成，所述氧化物包含硅、以及选自由元素周期表第1族元素、第2族元素、第13族元素、第15族元素和过渡金属元素组成的组中的至少1种元素(以下记作“元素I”)，粒径为0.5～22.4mm的颗粒的质量比例相对于全部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀材料，其由包含氧化物的颗粒构成，所述氧化物包含硅、以及选自由元素周期表第1族元素、第2族元素、第13族元素、第15族元素和过渡金属元素组成的组中的至少1种元素，/n粒径为0.5～22.4mm的所述颗粒的质量比例相对于全部颗粒总质量为90质量％以上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181226 JP 2018-2427501.一种蒸镀材料，其由包含氧化物的颗粒构成，所述氧化物包含硅、以及选自由元素周期表第1族元素、第2族元素、第13族元素、第15族元素和过渡金属元素组成的组中的至少1种元素，
粒径为0.5～22.4mm的所述颗粒的质量比例相对于全部颗粒总质量为90质量％以上。


2.根据权利要求1所述的蒸镀材料，其中，在构成蒸镀材料的所述颗粒的体积基准的粒度分布中，将累积颗粒数为10％时的粒径规定为D10，并将累积颗粒数为90％时的粒径规定为D90时，所述D90相对于所述D10之比即D90/D10为6以下。


3.根据权利要求1或2所述的蒸镀材料，其含水率小于2.0质量％。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的蒸镀材料，其为烧结体或熔融体。


5.一种带基底层的基材的制造方法，其中，通过使用了权利要求1～4中任一项所述的蒸镀材料的蒸镀，在基材上形成包含氧化物的基底层，所述氧化物包含所述硅和所述元素。


6.一种带拒水拒油层的基材的制造方法，其中，通过使用了权利要求1～4...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩桥万江美，德永能仁，小平广和，石关健二，小林大介，
申请(专利权)人：AGC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP