【技术实现步骤摘要】
用于移动晶片载具及包装材的机械夹爪及其操作方法
本专利技术实施例涉及用于移动晶片载具及包装材的机械夹爪及其操作方法。
技术介绍
前开式运输盒(FOSB)一般用于将晶片从晶片供应商运输到其客户。FOSB还可用于集成电路(IC)制造设备内/之间及来往于IC制造商。FOSB可进一步用于将产品从IC制造设备转移到供应商或客户。当将前开式运输盒(FOSB)运输到客户时,FOSB包装在包装容器中且包装材覆盖在FOSB上,使得FOSB保持固定且防止冲击。客户通常应使用两种不同类型的机械夹爪以从包装容器移除包装材及FOSB。
技术实现思路
本专利技术的实施例涉及一种夹爪机构,其包括:两个对置夹板组合件,其经配置以彼此靠近或远离移动;其中所述夹板组合件中的每一者包括所述夹板组合件的底部处的支撑销,且其中所述支撑销经配置以相对于所述夹板组合件的所述底部移动。本专利技术的实施例涉及一种夹爪机构,其包括:一对第一夹板,其经配置以夹紧第一工件,其中所述第一夹板中的每一者具有经配置以支撑所述第一工件的底面的至少一可移 ...
【技术保护点】
1.一种夹爪机构,其包括:/n两个对置夹板组合件,其经配置以彼此靠近或远离移动;/n其中所述夹板组合件中的每一者包括所述夹板组合件的底部处的支撑销,且其中所述支撑销经配置以相对于所述夹板组合件的所述底部移动。/n
【技术特征摘要】
20200428 US 63/016,870;20200825 US 17/002,4971.一种夹爪机构,...
【专利技术属性】
技术研发人员:李建法,吴丰光,洪富成,陈淇伟,陈志华,
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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