【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在检查计量对像物体的断面轮廓形状等情况下利用适合的光切断法的光学式计量装置，特别是涉及对因表面特性等引起浓度不均匀的光切断的轮廓线像难于计量对像物体也能进行高精计量的光学式计量装置。
技术介绍
具有下述构成的利用光切断法的光学式计量装置(也称为“位移检测器”)是公知的，该装置具有把来自光源的光整形成窄断面光并以规定的角度照射在计量对像物体表面上的照明装置、从与窄断面光照射角度不同的角度使用二维摄像元件对计量对像物体表面的窄断面光照射位置进行摄影而取得包含光切断面的断面轮廓线像的图像的摄像装置、就由该摄影装置获得的光切断面轮廓线图像通过进行规定的处理来生成计量值和/或判定值的计量装置。在此，窄断面光的断面构成的直线方向在二维摄影元件的视野中与垂直扫描方向对应。另外，当计量装置(一般称检测头)与计量对像物体的距离变化时，窄断面光构成的断面轮廓线像在计量对像物体表面上移动的方向在二维摄像元件的视野中与水平扫描方向对应。因此在二维摄像元件的受光面上形成光切断面的断面轮廓像。按照该光学式计量装置，由于采用具有直线形断面的窄断面光作为切断光，所以如采用具有点...
【技术保护点】
一种光学式计量装置，其特征在于，装备有： 多图像取得装置，该多图像取得装置包括：把来自光源的光整形为窄断面光并以规定角度照射到计量对像物体表面上的照明装置，利用二维摄像元件从与上述窄断面光的照射角度不同的角度对上述计量对像物体表面的窄断面光照射位置进行摄影而获得包含光切断面的断面轮廓线像的图像的摄影装置，通过改变规定影响由上述摄影装置得到的图像的辉度的摄影条件的参数中至少一个值来改变可扫描图像辉度的参数值的改变装置，所述多图像是与上述摄影条件不同的多幅图像； 图像合成装置，该图像合成装置在每个预先设定的划分的区域从通过多图像取得装置取得的多幅图像中抽出满足规定的...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：冈田道俊，松永达也，河内雅弘，真野光治，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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