【技术实现步骤摘要】
二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器及制备方法
[0001]本公开涉及柔性电子器件领域,尤其涉及一种二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器及制备方法。
技术介绍
[0002]随着科技的进步和时代的发展,人们对常规电子器件的要求越来越高,为了更加适应人们的需求及扩展电子器件的应用范围,柔性电子器件便成为了人们关注的热点。如今,信息化、网络化已经成为全球发展的主题,光通信技术作为光电子和微电子的基础,具有高保密性、较强的环境适应性等优势,而光电探测器是实现光通讯最基本的器件之一,在军事及民用等众多领域都具有广阔的应用前景。
[0003]在众多光电探测器中,柔性透明近红外光电探测器以其响应速度快、响应率高的特点,在除光通信外的其他领域中同样具有重要的意义,如图像识别、人工智能等。此外,固有的透明性可以使光电探测器在更多新的领域有所应用,如可安装在车辆的挡风玻璃上,在无需多余组件的情况下实现自动驾驶,使挡风玻璃成为显示面板,制造智能和多功能设计的窗户等系列目标。
[0004]目前对于光电探测器透明电极的制备方法及半 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,包括:柔性衬底;透明电极,位于所述柔性衬底之上;所述透明电极的材料为MXene
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Ti3C2T
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;二维Te纳米片,所述二维Te纳米片搭设在所述透明电极的正极和负极上,所述二维Te纳米片连通所述透明电极的正极和负极。2.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述透明电极为叉指电极,所述叉指电极的沟道宽度为5
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30μm。3.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述二维Te纳米片横向尺寸为20
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30μm,纵向尺寸为100
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150μm;所述柔性衬底的尺寸为3
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3cm至5
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5cm。4.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述透明电极的透明度大于等于60%。5.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述柔性衬底材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯。6.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述透明电极的厚度为50nm
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100nm。7.根据权利要求1所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器,其中,所述二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器的波段范围为900nm
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1350nm。8.一种如权利要求1至7中任一项所述的二维Te纳米片柔性透明近红外光电探测器的制备方法,包括:依次用丙酮、乙醇超声清洗柔性衬底5
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20min;在清洗后的柔性衬底上涂覆光刻胶,通过...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈国震,胡楚乔,李腊,刘伟佳,
申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所,
类型:发明
国别省市:
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