一种室温下长波柔性红外探测器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种室温下长波柔性红外探测器及其制备方法，基于Ti2O3材料的室温下长波柔性红外探测器响应度和响应速度均得以提高，并实现了室温下对长波红外波段光的探测。包括：室温下长波柔性红外探测器制备：获取柔性基底材料(PET、PEN)；在柔性基底材料上热蒸发制备叉指Au电极层；在叉指Au电极层上用微机械剥离法制备石墨烯半导体层(单层石墨烯层)；在单层石墨烯层上旋涂Ti2O3光敏层。该室温下长波柔性红外探测器实现了对4.5

【技术实现步骤摘要】
一种室温下长波柔性红外探测器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及光电探测
，具体地说，是一种室温下长波柔性红外探测器及其制备方法。

技术介绍

[0002]近年来,随着红外光电探测器在军事领域、科学研究、工农业生产、医疗卫生及日常生活中的广泛应用，其相关技术发展也十分迅速。然而，当前具有高响应率和高检测率的红外光电材料，例如III
‑
V族二元化合物半导体，通常需要复杂的制造工艺，且其在长波红外波段探测时也需要对器件暗电流噪声进行冷却，高成本的低噪声运行冷却机制导致光子型红外探测器在民用范围极大受限。此外,随着现代社会的不断发展，光电子器件小型化、便携性及轻量化的需求及应用范围也在不断增长。
[0003]其中，柔性光电探测器因具备轻量化设计、便于携带、大面积兼容性高及成本低廉等优点使其在未来光电子器件领域具有十分重要的应用前景。近年来，国内外对柔性光电探测器的研究热度一直居高不下，围绕着实现高响应度和良好柔韧性这两个性能指标开展了一系列原创性研究工作。光谱灵敏度，具有高吸收系数的传感候选材料作为光敏感层能够极大地本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种室温下长波柔性红外探测器，其特征在于：包括柔性基底材料，制备在柔性基底材料上的叉指Au电极层，制备在叉指Au电极层上的单层石墨烯层，制备在单层石墨烯层上的Ti2O3光敏层。2.根据权利要求1所述的一种室温下长波柔性红外探测器，其特征在于：所述叉指Au电极层采用掩膜的方式热蒸发制备在柔性基底材料上。3.根据权利要求1所述的一种室温下长波柔性红外探测器，其特征在于：所述单层石墨烯层采用微机械剥离法制备在叉指Au电极层上。4.根据权利要求1所述的一种室温下长波柔性红外探测器，其特征在于：利用球磨法得到Ti2O3纳米颗粒，将Ti2O3纳米颗粒分散到乙醇溶液后旋涂到所述单层石墨烯层形成所述Ti2O3光敏层。5.根据权利要求1所述的一种室温下长波柔性红外探测器，其特征在于：所述柔性基底材料采用PET或PEN。6.根据权利要求1～5任一项所述的一种室温下长波柔性红外探测器，其特征在于：所述Ti2O3光敏层和单层石墨烯层所形成的异质结结构，当光子被Ti2O3吸收并产生包含光生电子和光生空穴的电子空穴对，其中，光生电子被Ti2O3捕获，光生空穴被转移到石墨烯沟道中，促使石墨烯杂化态的形成。7.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李世彬，黄志茗，张婷，郝运晗，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：