【技术实现步骤摘要】
一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构
本专利技术属于单晶硅生产领域，尤其是涉及一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构。
技术介绍
生产单晶硅的质量要求比较高，但是常规内轴结构中夹持器大盘为非封闭结构，使内轴组件暴露在外面，如果下轴内壁烫伤，会造成内轴移动时出现抖动，严重会影响到引颈和扩肩的过程，造成拉肩失败，也会造成生产损失，所示设置一种夹持器大盘封闭并配合封闭的夹持器大盘的内轴和下轴就尤为重要。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术旨在提出一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，以内轴组件和下轴配合封闭夹持器大盘依次向下移动，减少单晶炸裂流熔时损伤内轴组件结构，同时通过夹持器大盘封闭盖住下轴上端更好的保护下轴内壁。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，包括上端与单晶硅连接的内轴组件、夹持单晶硅下端的夹持组件，所述内轴组件外侧设置夹持器大盘，所述夹持器大盘下侧固接下轴，所述夹持器大盘中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘上...
【技术保护点】
1.一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：包括上端与单晶硅连接的内轴组件(1)、夹持单晶硅下端的夹持组件(4)，所述内轴组件(1)外侧设置夹持器大盘(2)，所述夹持器大盘(2)下侧固接下轴(3)，所述夹持器大盘(2)中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴(3)中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘(2)上表面固设夹持组件(4)。/n
【技术特征摘要】
1.一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：包括上端与单晶硅连接的内轴组件(1)、夹持单晶硅下端的夹持组件(4)，所述内轴组件(1)外侧设置夹持器大盘(2)，所述夹持器大盘(2)下侧固接下轴(3)，所述夹持器大盘(2)中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴(3)中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘(2)上表面固设夹持组件(4)。
2.根据权利要求1所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述内轴组件(1)包括轴尖(11)和设置于轴尖下侧的内轴(12)，所述轴尖(11)和内轴(12)之间设置轴尖导向环(13)，所述轴尖导向环(13)直径大于轴尖(11)直径；
所述下轴(3)为圆筒型，所述轴尖导向环(13)设置于下轴(3)通孔内，所述轴尖导向环(13)外径与下轴(3)通孔内径对应。
3.根据权利要求2所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述轴尖(11)上端固接有同轴的延长杆(14)，所述延长杆(14)上端设置籽晶夹头(15)，所述籽晶夹头(15)通过籽晶夹头固定座(16)安装在延长杆(14)上。
4.根据权利要求3所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙健，李伟凡，王遵义，刘琨，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，天津中环领先材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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