下载一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构的技术资料

文档序号:29126898

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构,包括上端与单晶硅连接的内轴组件、夹持单晶硅下端的夹持组件,所述内轴组件外侧设置夹持器大盘,所述夹持器大盘下侧固接下轴,所述夹持器大盘中部设置内轴组件穿过的过孔,所述下轴中部设置内轴组件穿过的通孔...
该专利属于中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。