一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法技术

本发明专利技术公开一种真空直拉炉生产机构，生产机构包括第一底板，所述第一底板上设有第一支架，第一支架上设有单晶炉，单晶炉包括炉体，炉体下方设有坩埚升降转动组件，炉体上设有旋阀，旋阀上设有副室，炉体上端设有导向组件，副室上端设有转动盘，第一底板一侧设有取晶组件，取晶组件包括夹紧组件和尾托组件。本发明专利技术生产机构结构稳定可靠，硅晶棒拉直简单快捷，导向组件能够有效避免单晶炉在进行拉升时由于拉绳转动时不稳定，出现偏移现象，提高了硅晶棒同心率，提高了产品质量，在进行取晶时，夹紧组件和尾托组件可以有效的调节位置，夹紧支撑效果好，降低了脱落几率，极大提高了稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法
本专利技术涉及单晶炉
，具体是一种真空直拉炉生产机构及其拉直取晶方法。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等，我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体，而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体，可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。现有的单晶炉在进行拉升时由于拉绳转动时不稳定，偶尔会出现偏移现象，导致硅晶棒不同心，影响产品质量，在进行取晶时，需要稳定、可靠的取晶装置。针对这种情况，现提出一种真空直拉炉生产机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空直拉炉生产机构，生产机构包括第一底板(1)，其特征在于，所述第一底板(1)上设有第一支架(11)，第一支架(11)上设有单晶炉(2)，单晶炉(2)包括炉体(21)，炉体(21)下方设有坩埚升降转动组件(23)，炉体(21)上设有旋阀(24)，旋阀(24)上设有副室(25)，炉体(21)上端设有导向组件(23)，副室(25)上端设有转动盘(27)，第一底板(1)一侧设有取晶组件(3)，取晶组件(3)包括夹紧组件(4)和尾托组件(5)，夹紧组件(4)包括镜像分布的第一夹紧块(46)，第一夹紧块(46)下方设有尾托组件(5)，尾托组件(5)包括轴向分布的夹爪(532)，轴向分布的夹爪(5...

【技术特征摘要】
1.一种真空直拉炉生产机构，生产机构包括第一底板(1)，其特征在于，所述第一底板(1)上设有第一支架(11)，第一支架(11)上设有单晶炉(2)，单晶炉(2)包括炉体(21)，炉体(21)下方设有坩埚升降转动组件(23)，炉体(21)上设有旋阀(24)，旋阀(24)上设有副室(25)，炉体(21)上端设有导向组件(23)，副室(25)上端设有转动盘(27)，第一底板(1)一侧设有取晶组件(3)，取晶组件(3)包括夹紧组件(4)和尾托组件(5)，夹紧组件(4)包括镜像分布的第一夹紧块(46)，第一夹紧块(46)下方设有尾托组件(5)，尾托组件(5)包括轴向分布的夹爪(532)，轴向分布的夹爪(532)内设有托块(56)。


2.根据权利要求1所述的一种真空直拉炉生产机构,其特征在于，所述第一底板(1)上设有第一支柱(12)和第二支柱(14)，第一支柱(12)一侧设有第一伸缩杆(13)，第一伸缩杆(13)固定在第一底板(1)上，第一伸缩杆(13)上端设有第一伸缩板(131)，第二支柱(14)上设有第一滑杆(141)。


3.根据权利要求1所述的一种真空直拉炉生产机构,其特征在于，所述第一支柱(12)上端设有第三支柱(15)，第三支柱(15)上设有第一滑块(151)，第一滑块(151)与第一滑杆(141)滑动配合，第三支柱(15)一侧设有阵列分布的第一转动块(152)、第二支架(156)和第三支架(18)，第一转动块(152)内设有第一转轴(153)，第一转轴(153)与第一转动块(152)转动连接，第一转轴(153)上设有阵列分布的第一安装块(154)，第一安装块(154)与第一转轴(153)固定连接，第一转轴(153)下端设有第一圆锥齿轮(155)；
所述第二支架(156)上设有第一电机(157)，第一电机(157)动力端设有第二圆锥齿轮(158)，第一圆锥齿轮(155)与第二圆锥齿轮(158)啮合，第一安装块(154)一侧设有转动支架(16)，转动支架(16)与第一安装块(154)固定连接，转动支架(16)一侧设有固定架(17)，固定架(17)上设有阵列分布的固定环(171)，第三支架(18)固定在第一伸缩板(131)上，第一伸缩杆(13)推动第一支柱(12)升降，第一电机(157)带动固定架(17)转动。


4.根据权利要求1所述的一种真空直拉炉生产机构,其特征在于，所述炉体(21)固定在第一支架(11)上，炉体(21)一侧设有抽气孔(211)，炉体(21)上端设有进气孔(212)和激光测径仪(213)，炉体(21)内设有第一开槽(214)，第一开槽(214)外设有挡边(215)，第一开槽(214)外侧设有封闭门(216)，炉体(21)两侧均设有第二伸缩杆(217)，第二伸缩杆(217)上端设有第二伸缩板(218)，第二伸缩板(218)与封闭门(216)固定连接，第二伸缩杆(217)推动封闭门(216)升降。


5.根据权利要求1所述的一种真空直拉炉生产机构,其特征在于，所述导向组件(22)包括镜像分布的第三伸缩杆(221)，第三伸缩杆(221)一端均设有第三伸缩柱(222)，第三伸缩柱(222)一端设有导向块(223)，导向块(223)内设有轴向阵列分布的导向钢珠(224)。


6.根据权利要求1所述的一种真空直拉炉生产机构,其特征在于，所述坩埚升降转动组件(23)包括镜像分布的滑动气缸(231)，滑动气缸(231)固定在第一底板(1)上，滑动气缸(231)上均设有气缸滑动块(232)，滑动气缸(231)之间设有第一升降板(233)，第一升降板(233)与气缸滑动块(232)固定连接，第一升降板(233)上设有第二电机(234)和第四支架(236)，第二电机(234)动力端设有第一齿轮(235)，第四支架(236)上设有第二齿轮(237)，第一齿轮(235)与第二齿轮(237)啮合，第二齿轮(237)上设有第二转轴(238)，第二转轴(238)下端与第二齿轮(237)固定连接，第二转轴(238)上端设有石墨加热器(239)，石墨加热器(239)与炉体(21)固定连接，石墨加热器(239)内设有石墨托(2310)，石墨托(2310)内设有坩埚(2311)，滑动气缸(231)带动石墨托(2310)和坩埚(2311)升降，第二电机(234)带动第二转轴(238)转动，第二转轴(238)带动石墨托(2310)和坩埚(2311)转动。


7.根据权利要求1所述的一种真空直拉炉生产机构,其特征在于，所述旋阀(24)固定在炉体(21)上端，旋阀(24)一侧设有观察口(241)，旋阀(24)上端设有轴向分布的卡柱(242)，旋阀(24)上当设有转动环(243)，转动环(243)上设有轴向分布的卡槽(244)，转动转动环(243)使转动环(243)与旋阀(24)封闭或打开；
所述转动环(243)上方设有副室(25)，副室(25)与转动环(243)固定连接，副室(25)上端设有顶端柱(26)，顶端柱(26)上设有第五支架(261)，第五支架(261)上设有第四电机(262)，第四电机(262)动力端设有转轮(263)，顶端柱(26)上端设有转动盘(27)，转动盘(27)与顶端柱(26)转动连接，转轮(263)与转动盘(27)上共同设有同步带(264)，转动盘(27)上设有第六支架(271)，第六支架(271)上设有第五电机(272)和轴承座(274)，第五电机(272)一端设有蜗杆(273)，轴承座(274)内设有第三转轴(275)，第三转轴(275)上设有蜗轮(276)和线圈(277)，蜗轮(276)和线圈(277)与第三转轴(275)固定连接，蜗杆(273)带动蜗轮(276)转动；
所述线圈(277)内设有钢绳(28)，钢绳(28)下端设有籽晶轴(281)，籽晶轴(281)下端设有轴向分布的夹持块(282)，夹持块...

【专利技术属性】
技术研发人员：程旭兵，周波，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33