一种新型单晶炉制造技术

技术编号:28919242 阅读:8 留言:0更新日期:2021-06-18 21:13
本实用新型专利技术涉及原料加工的技术领域,特别是涉及一种新型单晶炉,其通过设置此设备,可以有效的对设备运行时产生的震动进行减弱,提高了设备的使用寿命,而且也提高了炉盖的密封性,提高其实用性;包括单晶炉本体、固定架、控制器、温度表、炉盖、出料口、籽晶、单晶棒和第二底板,固定架安装在单晶炉本体前端,控制器安装在固定架上,温度表安装在单晶炉本体前端并与单晶炉本体相连通,炉盖外侧壁上设置有锁紧装置,出料口输出端与炉盖相连通,籽晶与外界的牵引装置连接,籽晶对单晶棒进行牵引,单晶炉本体底端设置有多组第一底板,多组第一底板底端均设置有弹簧,第二底板则安装在弹簧底端,控制器与单晶炉本体和温度表电连接。

【技术实现步骤摘要】
一种新型单晶炉
本技术涉及原料加工的
,特别是涉及一种新型单晶炉。
技术介绍
众所周知,单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉在运作过程中会产生震动,震动则会损坏设备,减少其实用寿命,而且现有的单晶炉盖子的密封性较差,导致实用性较低。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供一种可以有效的对设备运行时产生的震动进行减弱,提高了设备的使用寿命,而且也提高了炉盖的密封性,提高其实用性的新型单晶炉。本技术的一种新型单晶炉,包括单晶炉本体、固定架、控制器、温度表、炉盖、出料口、籽晶、单晶棒和第二底板,固定架安装在单晶炉本体前端,控制器安装在固定架上,温度表安装在单晶炉本体前端并与单晶炉本体相连通,炉盖外侧壁上设置有锁紧装置,炉盖通过多组锁紧装置固定在单晶炉本体顶端,出料口输出端与炉盖相连通,籽晶与外界的牵引装置连接,籽晶对单晶棒进行牵引,单晶炉本体底端设置有多组第一底板,多组第一底板底端均设置有弹簧,第二底板则安装在弹簧底端,控制器与单晶炉本体和温度表电连接。本技术的一种新型单晶炉,锁紧装置包括第一底座、锁扣、第二底座、扳手和锁环,第一底座安装在固定架外侧壁上,锁扣安装在第一底座上,第二底座安装在单晶炉本体外侧壁上部,扳手与第二底座配合连接,锁环与扳手配合可转动连接,并且锁环与锁扣配合连接。本技术的一种新型单晶炉,还包括多组伸缩管和多组伸缩杆,多组伸缩管分别安装在多组第二底板顶端,多组伸缩管分别安装在多组第一底板底端,并且多组伸缩杆在多组伸缩管上滑动。本技术的一种新型单晶炉,单晶炉本体外侧壁上设置有多组吊环。本技术的一种新型单晶炉,所述单晶炉本体中部设置有保温层。本技术的一种新型单晶炉,所述每组第二底板的底端均设置有橡胶防滑垫。本技术的一种新型单晶炉,所述单晶炉本体侧端设置有多组螺纹孔,多组吊环的内侧均设置有螺纹孔,螺杆与螺纹孔配合连接。本技术的一种新型单晶炉,所述弹簧设置有八组,均匀分布在单晶炉本体底端。与现有技术相比本技术的有益效果为:将原料投入至单晶炉本体当中,然后将炉盖盖装在单晶炉本体顶端,使其通过多组锁紧装置来固定在单晶炉本体上,然后通过控制器打开单晶炉本体,使单晶炉本体对其内的原料进行加热使其熔化,单晶炉本体在运作时会产生震动,多组第一底板则跟随单晶炉本体震动,多组弹簧则发生弹力变形从而达到减震的效果,之后将籽晶伸入至单晶炉本体内的原料中,然后外界的牵引装置带动籽晶向上运动,原料则跟随籽晶运动形成单晶棒,通过设置此设备,可以有效的对设备运行时产生的震动进行减弱,提高了设备的使用寿命,而且也提高了炉盖的密封性,提高其实用性。附图说明图1是本技术的结构示意图;图2是图1的俯视结构示意图;图3是图1中弹簧的放大结构示意图;图4是图1中A的放大结构示意图;附图中标记:1、单晶炉本体;2、固定架;3、控制器;4、温度表;5、炉盖;6、出料口;7、籽晶;8、单晶棒;9、第一底板;10、第二底板;11、弹簧;12、第一底座;13、锁扣;14、第二底座;15、扳手;16、锁环;17、伸缩管;18、伸缩杆;19、吊环。具体实施方式下面结合附图和实施例,对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术,但不用来限制本技术的范围。如图1至图4所示,本技术的一种新型单晶炉,包括单晶炉本体1、固定架2、控制器3、温度表4、炉盖5、出料口6、籽晶7、单晶棒8和第二底板10,固定架2安装在单晶炉本体1前端,控制器3安装在固定架2上,温度表4安装在单晶炉本体1前端并与单晶炉本体1相连通,炉盖5外侧壁上设置有锁紧装置,炉盖5通过多组锁紧装置固定在单晶炉本体1顶端,出料口6输出端与炉盖5相连通,籽晶7与外界的牵引装置连接,籽晶7对单晶棒8进行牵引,单晶炉本体1底端设置有多组第一底板9,多组第一底板9底端均设置有弹簧11,第二底板10则安装在弹簧11底端,控制器3与单晶炉本体1和温度表4电连接;将原料投入至单晶炉本体1当中,然后将炉盖5盖装在单晶炉本体1顶端,使其通过多组锁紧装置来固定在单晶炉本体1上,然后通过控制器3打开单晶炉本体1,使单晶炉本体1对其内的原料进行加热使其熔化,单晶炉本体1在运作时会产生震动,多组第一底板9则跟随单晶炉本体1震动,多组弹簧11则发生弹力变形从而达到减震的效果,之后将籽晶7伸入至单晶炉本体1内的原料中,然后外界的牵引装置带动籽晶7向上运动,原料则跟随籽晶7运动形成单晶棒8,通过设置此设备,可以有效的对设备运行时产生的震动进行减弱,提高了设备的使用寿命,而且也提高了炉盖5的密封性,提高其实用性。本技术的一种新型单晶炉,锁紧装置包括第一底座12、锁扣13、第二底座14、扳手15和锁环16,第一底座12安装在固定架2外侧壁上,锁扣13安装在第一底座12上,第二底座14安装在单晶炉本体1外侧壁上部,扳手15与第二底座14配合连接,锁环16与扳手15配合可转动连接,并且锁环16与锁扣13配合连接;将锁环16挂装在锁扣13上,然后扳动扳手15,使锁环16固定在锁扣13上,从而来对炉盖5进行固定,提高炉盖5的密封性。本技术的一种新型单晶炉,还包括多组伸缩管17和多组伸缩杆18,多组伸缩管17分别安装在多组第二底板10顶端,多组伸缩管17分别安装在多组第一底板9底端,并且多组伸缩杆18在多组伸缩管17上滑动;通过设置伸缩管17和伸缩杆18,可以起对弹簧11导向的作用。本技术的一种新型单晶炉,单晶炉本体1外侧壁上设置有多组吊环19;通过设置吊环19,便于对单晶炉本体1整体进行吊装就位。本技术的一种新型单晶炉,所述单晶炉本体1中部设置有保温层;可以起保温的作用。本技术的一种新型单晶炉,所述每组第二底板10的底端均设置有橡胶防滑垫;可以起防滑的作用。本技术的一种新型单晶炉,所述单晶炉本体1侧端设置有多组螺纹孔,多组吊环19的内侧均设置有螺纹孔,螺杆与螺纹孔配合连接;便于对单晶炉本体1进行吊装。本技术的一种新型单晶炉,所述弹簧11设置有八组,均匀分布在单晶炉本体1底端;提高其减震效果。本技术的一种新型单晶炉,其在工作时,首先将原料投入至单晶炉本体1当中,然后将炉盖5盖装在单晶炉本体1顶端,使多组锁紧装置中的锁环16挂装在锁扣13上,然后扳动扳手15,使锁环16固定在锁扣13上,从而来将炉盖5固定在单晶炉本体1上,然后通过控制器3打开单晶炉本体1,使单晶炉本体1对其内的原料进行加热使其熔化,单晶炉本体1在运作时会产生震动,多组第一底板9则跟随单晶炉本体1震动,多组弹簧11则发生弹力变形从而达到减震的效果,之后将籽晶7伸入至单晶炉本体1内的原料中,然后外界的牵引装置带动籽晶7向上运动,原料则跟随籽晶7运动形成单晶棒8并导出即可。本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型单晶炉,其特征在于,包括单晶炉本体(1)、固定架(2)、控制器(3)、温度表(4)、炉盖(5)、出料口(6)、籽晶(7)、单晶棒(8)和第二底板(10),固定架(2)安装在单晶炉本体(1)前端,控制器(3)安装在固定架(2)上,温度表(4)安装在单晶炉本体(1)前端并与单晶炉本体(1)相连通,炉盖(5)外侧壁上设置有锁紧装置,炉盖(5)通过多组锁紧装置固定在单晶炉本体(1)顶端,出料口(6)输出端与炉盖(5)相连通,籽晶(7)与外界的牵引装置连接,籽晶(7)对单晶棒(8)进行牵引,单晶炉本体(1)底端设置有多组第一底板(9),多组第一底板(9)底端均设置有弹簧(11),第二底板(10)则安装在弹簧(11)底端,控制器(3)与单晶炉本体(1)和温度表(4)电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型单晶炉,其特征在于,包括单晶炉本体(1)、固定架(2)、控制器(3)、温度表(4)、炉盖(5)、出料口(6)、籽晶(7)、单晶棒(8)和第二底板(10),固定架(2)安装在单晶炉本体(1)前端,控制器(3)安装在固定架(2)上,温度表(4)安装在单晶炉本体(1)前端并与单晶炉本体(1)相连通,炉盖(5)外侧壁上设置有锁紧装置,炉盖(5)通过多组锁紧装置固定在单晶炉本体(1)顶端,出料口(6)输出端与炉盖(5)相连通,籽晶(7)与外界的牵引装置连接,籽晶(7)对单晶棒(8)进行牵引,单晶炉本体(1)底端设置有多组第一底板(9),多组第一底板(9)底端均设置有弹簧(11),第二底板(10)则安装在弹簧(11)底端,控制器(3)与单晶炉本体(1)和温度表(4)电连接。


2.如权利要求1所述的一种新型单晶炉,其特征在于,锁紧装置包括第一底座(12)、锁扣(13)、第二底座(14)、扳手(15)和锁环(16),第一底座(12)安装在固定架(2)外侧壁上,锁扣(13)安装在第一底座(12)上,第二底座(14)安装在单晶炉本体(1)外侧壁上部,扳手(15)与第二底座(14)配合连接,锁环...

【专利技术属性】
技术研发人员:尹朝洁
申请(专利权)人:弘朗新材料上海股份有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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